MEMS技术的崛起

1987年，随着人类对微观世界的操控能力越发深入，肉眼无法分辨的微电机出现了。美国加州大学伯克利分校做出了世界上第一个静电驱动的微电机，这台电机的直径与头发丝相当，却可以每分钟转动117万转，这便是MEMS技术的开端。