现行多晶硅生产流程中如何增效降耗问题的探讨

现行多晶硅生产流程中如何增效降耗问题的探讨□中国四佳半导体材料公司莫运筹□国内现行的常规西门子法生产多晶硅的工艺中，减少工艺物料消耗的重点部位是在ＳｉＨＣｌ３合成工序中如何提高硅烷中ＳｉＨＣｌ３含量和减少氯硅烷气的冷凝损失；在氯硅烷的氢还原工序中如何...

大搞综合回收,不断提高多晶硅生产技术水平——洛阳单晶硅厂多晶硅生产变迁及其探讨之一

一、前言洛阳单晶砖厂是1966年从日本窒素公司引进的成套硅材料生产厂,当时建厂规模是多晶硅3吨/年及相应的硅单晶和硅片加工装备能力。多晶硅生产是采用西门子法,即将沸腾氯化法生产的三氯氢硅,经二个塔连续粗馏后,再经二个塔连续精馏,所得三氯氢硅精馏液和高纯氢气中的主路氢,分别进入与每台还原炉匹配的混合器。