用电容传感器测量微小振幅时的间距补偿

用电容传感器测量振动体振幅,其灵敏度随设定的间距值变化,影响精度.作者以电路技术简捷地克服了这一不足,很有参考价值,今节载,以飨同行.本文系林明邦教授征得笔者同意后,请孔合平翻译,经审核,推荐给本刊.为节约篇幅,编辑部作了部分改编.

用电容式传感器测量微小振幅时的距离补偿

用电容式传感器测量振幅有一个缺点,就是测量灵敏度会随着传感器探头与振动体之间的距离(lift-off)而变化。本文描述一种适用于工业测量、振幅范围为1～l00mμ的测量装置。为使灵敏度不随距离变化,对振动体和传感器探头提供了串联的两种电源。一种是直流电源,另一种是交流(高频)电源。通过低通和高通滤波器把最后合成信号分离成两个信号。低频成分(eoL)与振幅成正比,而与距离的平方成反比;高频成分(eoH)与距离成反比。通过在电路上进行的运算,就可实现距离补偿。当传感器探头有效面积为4.11mm^2时,对距离从0.2mm到2.0mm进行补偿后可以使误差小于5％。