微机电系统发展动向

微机电系统（MEMS）自1988年迄今，已从初期的探索、研究和创新阶段转向了生产与应用的成熟阶段．与此同时开辟了很多新领域．对于在今后5—10年中MEMS研究和发展的动向，专家们因其背景不同而看法各异，笔者选用现有实例来说明．从现在的趋势看，传统微机电系统的未来动向可以概括为4个方面．①把“传统”的、成型的MEMS元件或系统改进后，推向大规模应用，以支持持久的研究和开发；②传感器和微系统网络，当单一效能的系统在应用上建立后，可以开拓大型系统的应用；③新的材料，使用硅或半导体以外的许多材料制作特殊的微系统；④发展新的应用领域将是“非传统”的MEMS的主要动向，这些新的领域有生物研究和医药用仪器设备，微能源无线通讯和光通讯，环境保护和监测，以及纳米系统等．笔者根据一些从事MEMS教育和研究的人员的看法．对其发展动向作一简要报告，为MEMS计划工作者提供一些参考．

传感器技术的现状与发展(二)

二、对我国传感器行业的看法及建议 1.现状 我1973年开始回国,前后七次。第一次回国到过广州、厦门、福州、上海和北京。当时我跟一些大学里的人谈过传感器的发展问题,当时,除了已经有的结构型传感器以外,在发展方面还没有计划。