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国产HVM3509硅高压整流堆的设计与制造
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作者 杭德生 葛望大 《半导体杂志》 1994年第3期12-15,共4页
本文报道了国产ＨＶＭ３５０９微波炉硅堆的设计、关键制造工艺和研制结果．
关键词 微波炉 硅堆 硅高压整流堆
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