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基于HfO_(2)插层的Ga_(2)O_(3)基金属-绝缘体-半导体结构日盲紫外光电探测器
被引量:
1
1
作者
董典萌
汪成
+5 位作者
张清怡
张涛
杨永涛
夏翰驰
王月晖
吴真平
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第9期161-170,共10页
作为一种新兴的超宽带隙半导体, Ga_(2)O_(3)在开发高性能的日盲紫外光电探测器方面具有独特的优势.金属-半导体-金属结构因其制备方法简单、集光面积大等优点在Ga_(2)O_(3)日盲紫外光电探测器中得到了广泛的应用.本文在传统的金属-半导...
作为一种新兴的超宽带隙半导体, Ga_(2)O_(3)在开发高性能的日盲紫外光电探测器方面具有独特的优势.金属-半导体-金属结构因其制备方法简单、集光面积大等优点在Ga_(2)O_(3)日盲紫外光电探测器中得到了广泛的应用.本文在传统的金属-半导体-金属结构Ga_(2)O_(3)日盲紫外光电探测器的基础上,利用原子层沉积技术引入高介电性和绝缘性的氧化铪(HfO_(2))作为绝缘层和钝化层,制备出带有HfO_(2)插层的金属-绝缘体-半导体结构的Ga_(2)O_(3)日盲紫外光电探测器,显著降低了暗电流,提升了光暗电流比,同时提高了器件的比探测率和响应速度,为未来Ga_(2)O_(3)在高性能弱光探测器件制备提供了一种新通用策略.
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关键词
氧化镓
紫外探测
金属-绝缘体-半导体
表面钝化
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职称材料
题名
基于HfO_(2)插层的Ga_(2)O_(3)基金属-绝缘体-半导体结构日盲紫外光电探测器
被引量:
1
1
作者
董典萌
汪成
张清怡
张涛
杨永涛
夏翰驰
王月晖
吴真平
机构
北京邮电大学理学院
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第9期161-170,共10页
基金
国家自然科学基金(批准号:12074044)
信息光子学与光通信国家重点实验室开放基金(批准号:IPOC2021ZT05)资助的课题。
文摘
作为一种新兴的超宽带隙半导体, Ga_(2)O_(3)在开发高性能的日盲紫外光电探测器方面具有独特的优势.金属-半导体-金属结构因其制备方法简单、集光面积大等优点在Ga_(2)O_(3)日盲紫外光电探测器中得到了广泛的应用.本文在传统的金属-半导体-金属结构Ga_(2)O_(3)日盲紫外光电探测器的基础上,利用原子层沉积技术引入高介电性和绝缘性的氧化铪(HfO_(2))作为绝缘层和钝化层,制备出带有HfO_(2)插层的金属-绝缘体-半导体结构的Ga_(2)O_(3)日盲紫外光电探测器,显著降低了暗电流,提升了光暗电流比,同时提高了器件的比探测率和响应速度,为未来Ga_(2)O_(3)在高性能弱光探测器件制备提供了一种新通用策略.
关键词
氧化镓
紫外探测
金属-绝缘体-半导体
表面钝化
Keywords
gallium oxide
ultraviolet detection
metal-insulator-semiconductor
surface passivation
分类号
TN23 [电子电信—物理电子学]
TQ133.51 [化学工程—无机化工]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于HfO_(2)插层的Ga_(2)O_(3)基金属-绝缘体-半导体结构日盲紫外光电探测器
董典萌
汪成
张清怡
张涛
杨永涛
夏翰驰
王月晖
吴真平
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
1
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