期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
3
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
星间通信系统高精度分光镜的研制
1
作者
王振宇
付秀华
+6 位作者
林兆文
黄健山
魏雨君
吴桂青
潘永刚
董所涛
王奔
《中国光学(中英文)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第2期334-341,共8页
随着星间通信系统的迅速发展,数据传输的精度要求不断提高。分光镜作为系统的核心元件,其光谱特性和面形精度直接影响整个系统的传输精度。本文基于薄膜干涉理论,选取Ta_(2)O_(5)与SiO_(2)作为高低折射率膜层材料进行膜系设计,采用电子...
随着星间通信系统的迅速发展,数据传输的精度要求不断提高。分光镜作为系统的核心元件,其光谱特性和面形精度直接影响整个系统的传输精度。本文基于薄膜干涉理论,选取Ta_(2)O_(5)与SiO_(2)作为高低折射率膜层材料进行膜系设计,采用电子束蒸发的方式在石英基板上制备高精度分光镜。同时根据膜层应力补偿原理建立面形修正模型,修正分光镜面形。光谱分析仪检测结果显示,分光镜在入射角度为21.5°~23.5°内,1563 nm透过率大于98%,1540 nm反射率大于99%。激光干涉仪检测结果显示,分光镜反射面形精度RMS由λ/10修正至λ/90(λ=632.8 nm),透过面形精度RMS为λ/90。
展开更多
关键词
星间通信
分光镜
应力补偿
面形精度
下载PDF
职称材料
聚碳酸酯高强度超低反射率薄膜的研制
被引量:
3
2
作者
刘冬梅
魏博洋
+3 位作者
付秀华
张静
董所涛
李爽
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第12期216-225,共10页
为了降低杂散光导致光学系统成像质量下降的问题,以聚碳酸酯为基板,采用电子束离子辅助的方法制备了可见光波段超低减反射膜.采用真空退火法降低了由于镀膜过程中基板温度升高导致的热拉应力,并使用MATLAB软件拟合分析了材料的应力,通...
为了降低杂散光导致光学系统成像质量下降的问题,以聚碳酸酯为基板,采用电子束离子辅助的方法制备了可见光波段超低减反射膜.采用真空退火法降低了由于镀膜过程中基板温度升高导致的热拉应力,并使用MATLAB软件拟合分析了材料的应力,通过研究离子源沉积工艺,解决了膜裂的问题.通过MATLAB模拟调节比例-积分-微分控制器控制参数,稳定了成膜速率,解决了厚度误差导致光谱漂移的问题.测试结果表明:该膜层在430~700 nm,绝对反射率小于0.15%.
展开更多
关键词
光学薄膜
减反射膜
离子源沉积
应力
塑料
下载PDF
职称材料
深紫外高陡度滤光膜的研制
3
作者
蔡元浩
付秀华
+5 位作者
林兆文
王奔
黄卓彬
潘永刚
董所涛
付广元
《光学学报》
EI
CAS
2024年第7期252-260,共9页
为抑制非相干光产生的干扰,提高紫外单色仪的分辨率,本文选择Al2O3、AlF3分别作为高、低折射率材料,在熔融石英基底上设计并制备了深紫外全介质高陡度滤光膜。通过优化沉积工艺及膜层应力分析方法,解决了薄膜应力过大所导致的膜裂问题;...
为抑制非相干光产生的干扰,提高紫外单色仪的分辨率,本文选择Al2O3、AlF3分别作为高、低折射率材料,在熔融石英基底上设计并制备了深紫外全介质高陡度滤光膜。通过优化沉积工艺及膜层应力分析方法,解决了薄膜应力过大所导致的膜裂问题;并对实验结果进行反演分析,通过优化监控方法提高了膜厚控制精度。制备的深紫外高陡度滤光膜在232~400 nm平均透过率为97.67%,在115~228 nm平均透过率为0.61%,过渡区陡度为3.6 nm,满足紫外单色仪的使用需求。
展开更多
关键词
光学薄膜
紫外单色仪
深紫外滤光膜
高陡度
薄膜应力
原文传递
题名
星间通信系统高精度分光镜的研制
1
作者
王振宇
付秀华
林兆文
黄健山
魏雨君
吴桂青
潘永刚
董所涛
王奔
机构
长春理工大学光电工程学院
长春理工大学中山研究院
中山吉联光电科技有限公司
出处
《中国光学(中英文)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第2期334-341,共8页
基金
2022年度中山市第二批社会公益与基础研究项目(No.2022B2005)
长春市激光制造与检测装备科技创新中心资助项目(No.2014219)。
文摘
随着星间通信系统的迅速发展,数据传输的精度要求不断提高。分光镜作为系统的核心元件,其光谱特性和面形精度直接影响整个系统的传输精度。本文基于薄膜干涉理论,选取Ta_(2)O_(5)与SiO_(2)作为高低折射率膜层材料进行膜系设计,采用电子束蒸发的方式在石英基板上制备高精度分光镜。同时根据膜层应力补偿原理建立面形修正模型,修正分光镜面形。光谱分析仪检测结果显示,分光镜在入射角度为21.5°~23.5°内,1563 nm透过率大于98%,1540 nm反射率大于99%。激光干涉仪检测结果显示,分光镜反射面形精度RMS由λ/10修正至λ/90(λ=632.8 nm),透过面形精度RMS为λ/90。
关键词
星间通信
分光镜
应力补偿
面形精度
Keywords
inter-satellite communication
beam splitter
stress compensation
surface accuracy
分类号
O484 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
聚碳酸酯高强度超低反射率薄膜的研制
被引量:
3
2
作者
刘冬梅
魏博洋
付秀华
张静
董所涛
李爽
机构
长春理工大学光电工程学院
光驰科技(上海)有限公司
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第12期216-225,共10页
基金
十三五装备预研基金(No.414xxxx0202)。
文摘
为了降低杂散光导致光学系统成像质量下降的问题,以聚碳酸酯为基板,采用电子束离子辅助的方法制备了可见光波段超低减反射膜.采用真空退火法降低了由于镀膜过程中基板温度升高导致的热拉应力,并使用MATLAB软件拟合分析了材料的应力,通过研究离子源沉积工艺,解决了膜裂的问题.通过MATLAB模拟调节比例-积分-微分控制器控制参数,稳定了成膜速率,解决了厚度误差导致光谱漂移的问题.测试结果表明:该膜层在430~700 nm,绝对反射率小于0.15%.
关键词
光学薄膜
减反射膜
离子源沉积
应力
塑料
Keywords
Optical thin film
Anti-reflection film
Ion source deposition
Stress
Plastic
分类号
O484 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
深紫外高陡度滤光膜的研制
3
作者
蔡元浩
付秀华
林兆文
王奔
黄卓彬
潘永刚
董所涛
付广元
机构
长春理工大学光电工程学院
出处
《光学学报》
EI
CAS
2024年第7期252-260,共9页
基金
国家自然科学基金(11973040)
中山市社会公益科技研究项目(2022B2005)
长春市激光智造与检测装备科技创新中心长科技合项目(2014219)。
文摘
为抑制非相干光产生的干扰,提高紫外单色仪的分辨率,本文选择Al2O3、AlF3分别作为高、低折射率材料,在熔融石英基底上设计并制备了深紫外全介质高陡度滤光膜。通过优化沉积工艺及膜层应力分析方法,解决了薄膜应力过大所导致的膜裂问题;并对实验结果进行反演分析,通过优化监控方法提高了膜厚控制精度。制备的深紫外高陡度滤光膜在232~400 nm平均透过率为97.67%,在115~228 nm平均透过率为0.61%,过渡区陡度为3.6 nm,满足紫外单色仪的使用需求。
关键词
光学薄膜
紫外单色仪
深紫外滤光膜
高陡度
薄膜应力
Keywords
optical film
ultraviolet monochromator
deep ultraviolet filter film
high steepness
film stress
分类号
O484 [理学—固体物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
星间通信系统高精度分光镜的研制
王振宇
付秀华
林兆文
黄健山
魏雨君
吴桂青
潘永刚
董所涛
王奔
《中国光学(中英文)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
下载PDF
职称材料
2
聚碳酸酯高强度超低反射率薄膜的研制
刘冬梅
魏博洋
付秀华
张静
董所涛
李爽
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
3
下载PDF
职称材料
3
深紫外高陡度滤光膜的研制
蔡元浩
付秀华
林兆文
王奔
黄卓彬
潘永刚
董所涛
付广元
《光学学报》
EI
CAS
2024
原文传递
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部