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直线加速器控制网测量跟踪仪测角误差标定
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作者 张翼飞 董晓浩 +2 位作者 陈家华 孙小沛 刘芳芳 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2024年第7期54-61,共8页
根据关键设备在直线加速器隧道内的布局,控制网布设在隧道地面和墙面。跟踪仪是直线加速器控制网测量的主要仪器,跟踪仪的测角误差是影响设备精度的关键因素。根据隧道墙面和地面网点的布局以及跟踪仪测量方案,对跟踪仪所有测量状态下... 根据关键设备在直线加速器隧道内的布局,控制网布设在隧道地面和墙面。跟踪仪是直线加速器控制网测量的主要仪器,跟踪仪的测角误差是影响设备精度的关键因素。根据隧道墙面和地面网点的布局以及跟踪仪测量方案,对跟踪仪所有测量状态下的水平角和垂直角进行分解;然后通过高精度三坐标测量仪和跟踪仪联动测试,对分解后的角度进行高精度求解,解算值用于修正跟踪仪的实测角度。结果表明,不管是哪种测量状态,跟踪仪实测角度值均大于解算值;地面网点垂直角和水平角的偏差与跟踪仪的标称精度基本相当;墙面点水平角超过15°时,测角误差随着角度的增加而增大,在隧道控制网测量时需要对墙面点水平角进行修正。 展开更多
关键词 直线型粒子加速器 控制网 跟踪仪 三坐标测量仪 测角误差
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NSRL-U7C双晶单色器热载影响与计算分析 被引量:4
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作者 董晓浩 凤良杰 徐朝银 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期6-10,共5页
在测试合肥国家同步辐射实验室(NSRL)U7CX射线吸收精细结构(XAFS)光束线双晶单色器(DCM)热载影响基础上,进行了单色器在无水冷却、辐射散热条件下热平衡动态过程分析,并运用有限元方法对第一晶体作了热-结构耦合计算,得到晶体热平衡所... 在测试合肥国家同步辐射实验室(NSRL)U7CX射线吸收精细结构(XAFS)光束线双晶单色器(DCM)热载影响基础上,进行了单色器在无水冷却、辐射散热条件下热平衡动态过程分析,并运用有限元方法对第一晶体作了热-结构耦合计算,得到晶体热平衡所需时间、温度梯度分布及由此产生的热应力形变与面形误差等;同时对拟增设的普通底面水冷方式作了比较分析。 展开更多
关键词 双晶单色器 X射线 热载 有限元分析 光束线 同步辐射
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条形射频源大口径离子束刻蚀机性能(英文) 被引量:2
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作者 董晓浩 刘颖 +8 位作者 赵飞云 徐德权 徐向东 周银贵 汪啸 姚传荣 洪义麟 付绍军 徐朝银 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期530-535,共6页
针对大尺寸基底往复扫描条形离子束来实现大面积刻蚀的特点,实验测试了基于射频感应耦合等离子体离子源大型离子束刻蚀机的性能.利用法拉第筒扫描探测系统在线测量束流密度,通过控制气体流量、调节加速电压等,得到了纵向束流密度±5... 针对大尺寸基底往复扫描条形离子束来实现大面积刻蚀的特点,实验测试了基于射频感应耦合等离子体离子源大型离子束刻蚀机的性能.利用法拉第筒扫描探测系统在线测量束流密度,通过控制气体流量、调节加速电压等,得到了纵向束流密度±5.3%均匀性的较好结果.刻蚀实验表明40 cm长度范围刻蚀深度均匀性为±5.4%,同时具有较好的束流稳定性.添加束阑,并结合掩模修正束流,会得到更好的束流密度与刻蚀深度均匀性. 展开更多
关键词 离子束刻蚀机 条形射频离子源 束流密度均匀性 束阑 大口径衍射光学元件
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同步辐射X射线双晶单色器联动机构 被引量:2
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作者 董晓浩 凤良杰 +1 位作者 康乐 徐朝银 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期224-229,共6页
提出了一种实现固定空间输出位置同步辐射双晶单色器的方法及联动机构。分析了基于Bragg衍射原理的此类X射线双晶单色器发展状况,尤其是在能量扫描过程中,通过运动补偿实现出射光束方向与位置固定的方法,总结了各种机械联动机构。在综... 提出了一种实现固定空间输出位置同步辐射双晶单色器的方法及联动机构。分析了基于Bragg衍射原理的此类X射线双晶单色器发展状况,尤其是在能量扫描过程中,通过运动补偿实现出射光束方向与位置固定的方法,总结了各种机械联动机构。在综合凸轮耦合运动机构及直角联动机构运动特点基础上,详细描述了国家同步辐射实验室成功研制的X射线双晶单色器L型联动机构特征,其融合了二者的优点,简化了结构与运动,重点分析了其结构原理与运动关系,以及机构运动的实现与第二晶体自身微调,并对其性能做了进一步的讨论。测试结果表明,L型联动机构完全适用于实现3.1-12.4 keV整个能量范围的全谱扫描实验研究。 展开更多
关键词 联动机构 运动分析 双晶单色器 X射线 同步辐射
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X射线衍射和散射光束线环面聚焦镜的面形精度与像差分析 被引量:15
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作者 黄志刚 董晓浩 +1 位作者 高飞 徐朝银 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2004年第1期26-30,共5页
介绍了用于NSRL的X射线衍射和散射光束线中环面聚焦镜的成像原理和基本结构,分析计算了各种像差和面形精度对成像质量的影响,重点描述了镜子因受力弯曲在子午方向的曲率变化与理论值的误差以及反射表面受同步辐射光照射而产生的热载变形... 介绍了用于NSRL的X射线衍射和散射光束线中环面聚焦镜的成像原理和基本结构,分析计算了各种像差和面形精度对成像质量的影响,重点描述了镜子因受力弯曲在子午方向的曲率变化与理论值的误差以及反射表面受同步辐射光照射而产生的热载变形,进而求得实验样品上束斑成像的高度。最后用CCD探测实际光斑的尺寸,结果表明:理论计算与实测数据非常吻合。 展开更多
关键词 环面聚焦镜 面形误差 像差 同步辐射 X射线衍射 面形精度
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基于保偏镜组的外差干涉测量几何误差分析
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作者 李斌 董晓浩 吕丽军 《光学仪器》 2023年第3期23-29,共7页
角锥棱镜由于本身缺陷会导致失偏效应。在平面镜外差干涉仪中,使用一种保偏反射镜组替代角锥棱镜,以减小外差干涉仪的非线性误差。根据这个平面镜外差干涉仪的基本光路图,基于偏振分光棱镜和角锥棱镜的基本光学特性,分析了平面镜外差干... 角锥棱镜由于本身缺陷会导致失偏效应。在平面镜外差干涉仪中,使用一种保偏反射镜组替代角锥棱镜,以减小外差干涉仪的非线性误差。根据这个平面镜外差干涉仪的基本光路图,基于偏振分光棱镜和角锥棱镜的基本光学特性,分析了平面镜外差干涉仪中3个偏振分光棱镜偏摆角、仰俯角和滚动角,保偏反射镜组中2个偏振分光棱镜之间的间距和角度,以及角锥棱镜的偏摆角和仰俯角等误差对干涉仪的影响。推导出外差干涉仪中各个光学元件的最大安装误差,并规定好其加工精度,确保外差干涉仪性能。 展开更多
关键词 偏振分光棱镜 角锥棱镜 非线性误差 激光干涉 误差分析
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NSRL-XAFS光束线弧矢聚焦双晶单色器设计 被引量:3
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作者 凤良杰 董晓浩 +3 位作者 高飞 康乐 赵飞云 徐朝银 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第7期761-766,共6页
针对XAFS光束线能量动态扫描的实验特点,介绍了弧矢聚焦双晶单色器的物理设计:包括晶体光学结构、性能参数计算、晶体热载分析和弧矢弯曲原理.弧矢缩比选择为1∶4.88,水平接收角由原来的1 mrad拓宽到3 mrad,在不改变基本配置的情况下,... 针对XAFS光束线能量动态扫描的实验特点,介绍了弧矢聚焦双晶单色器的物理设计:包括晶体光学结构、性能参数计算、晶体热载分析和弧矢弯曲原理.弧矢缩比选择为1∶4.88,水平接收角由原来的1 mrad拓宽到3 mrad,在不改变基本配置的情况下,获得了样品上束斑缩小、光子通量高达半个量级以上的增益. 展开更多
关键词 光束线 弧矢聚焦晶体单色器 光子通量 能量分辨率 柔性铰链压弯机构
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弧矢压弯晶体的力学性能与形位误差分析 被引量:3
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作者 凤良杰 董晓浩 +1 位作者 康乐 徐朝银 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期362-367,共6页
介绍了利用柔性铰链机构对弧矢聚焦双晶单色器中第二晶体进行动态压弯的工作原理,优化了压弯机构和晶体的几何参数,然后应用有限元方法模拟分析压弯装置与晶体的力学性质,最后分析了弯晶的形位误差并计算因此造成的弯晶光束入射角的... 介绍了利用柔性铰链机构对弧矢聚焦双晶单色器中第二晶体进行动态压弯的工作原理,优化了压弯机构和晶体的几何参数,然后应用有限元方法模拟分析压弯装置与晶体的力学性质,最后分析了弯晶的形位误差并计算因此造成的弯晶光束入射角的变化。分析结果表明:替换后单色器的水平接收角由1mrad增加到3mrad,样品上光斑的水平半高宽由12.5mm减小到2.5mm。优化后晶体因压弯产生的鞍形曲率半径约为弧矢曲率半径的1700倍,造成的入射角误差为2.2μrad;压弯装置上的最大平均应力约为800MPa,并由此确定了以铍青铜作为压弯机构的材料,晶体的曲率半径为0.57~1.72m和驱动力为8~2.67N时的线性关系。分析结果表明:该单色器的设计完全达到了设计指标,在提高光子通量和光子密度的同时又能满足XAFS光束线测量过程中需要频繁快速扫描的要求。 展开更多
关键词 弧矢聚焦 双晶单色器 柔性铰链 压弯机构 形位误差
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NSRL衍射和散射线站硬X射线参数测量 被引量:3
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作者 范荣 徐朝银 +2 位作者 潘国强 黄志刚 董晓浩 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第10期732-735,共4页
描述了NSRL新建X射线衍射和散射光束线站的主要指标测试及其结果,包括X射线单色光斑的CCD成像(4mm×0.5mm)、波长标定和光子通量(0.4×10~9—2.1×10~9 photons·s^(-1)·(100mA)^(-1))的测量;已在该线站上应用同... 描述了NSRL新建X射线衍射和散射光束线站的主要指标测试及其结果,包括X射线单色光斑的CCD成像(4mm×0.5mm)、波长标定和光子通量(0.4×10~9—2.1×10~9 photons·s^(-1)·(100mA)^(-1))的测量;已在该线站上应用同步辐射X射线成功地收集了5组700余幅磷脂酶A2和神经毒蛋白晶体的衍射数据,处理结果良好。 展开更多
关键词 波长 光子通量 X射线衍射
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KZ-400离子束刻蚀装置设计中的若干真空问题 被引量:2
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作者 高飞 董晓浩 +2 位作者 赵飞云 凤良杰 徐朝银 《真空》 CAS 北大核心 2005年第3期45-48,共4页
本文解决了KZ-400离子束刻蚀装置设计中遇到的若干真空问题。通过抽速计算选择了合理的真空配置;用有限元分析软件ANSYS计算了真空室的受压形变,优化了真空室的结构,采取了合理的误差补偿措施;并通过摩擦润滑试验和质谱分析检测了二硫... 本文解决了KZ-400离子束刻蚀装置设计中遇到的若干真空问题。通过抽速计算选择了合理的真空配置;用有限元分析软件ANSYS计算了真空室的受压形变,优化了真空室的结构,采取了合理的误差补偿措施;并通过摩擦润滑试验和质谱分析检测了二硫化钼润滑剂的真空润滑性能,解决了工作台扫描运动的有效润滑。 展开更多
关键词 真空配置 有限元分析 润滑剂 质谱分析
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曲面切槽晶体单色器设计 被引量:1
11
作者 康乐 董晓浩 +3 位作者 凤良杰 李中亮 赵飞云 徐朝银 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期525-529,535,共6页
讨论了曲面切槽单色器的工作原理,并依据合肥光源上的XAFS光学参数,设计加工出晶体的切槽曲面,测量了曲面的形位误差,进而分析了曲面加工、定位误差以及入射光的束宽对单色器分光性能的影响.在测量所得的加工误差下,考虑由于束流宽束给... 讨论了曲面切槽单色器的工作原理,并依据合肥光源上的XAFS光学参数,设计加工出晶体的切槽曲面,测量了曲面的形位误差,进而分析了曲面加工、定位误差以及入射光的束宽对单色器分光性能的影响.在测量所得的加工误差下,考虑由于束流宽束给衍射性能造成的影响,计算了实际晶体相对于理想晶体的理论衍射效率.计算结果证明该晶体单色器完全适用于合肥光源的XAFS光学系统. 展开更多
关键词 曲面切槽 晶体单色器 非对称系数 能量扫描
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同步辐射用36单元压电变形镜研制及其面形调控研究 被引量:1
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作者 袁德波 许亮 +4 位作者 张文斌 周志勇 董晓浩 刘正坤 张国斌 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第6期1362-1367,共6页
第4代同步辐射光源及自由电子激光装置中束线光学系统对光学元件性能提出了苛刻的要求。使用压电变形镜是实现超高面形精度调控和实施波前补偿的有效途径,也是目前亟需突破的国产化技术瓶颈。针对这一问题,研制了长度为200 mm、含36个... 第4代同步辐射光源及自由电子激光装置中束线光学系统对光学元件性能提出了苛刻的要求。使用压电变形镜是实现超高面形精度调控和实施波前补偿的有效途径,也是目前亟需突破的国产化技术瓶颈。针对这一问题,研制了长度为200 mm、含36个单元压电促动器的压电变形镜。通过数值模拟优化了变形镜结构参数,利用国产工艺完成了变形镜样机的制作,并对其面形调控能力进行初步探究。测试结果表明:所研制变形镜样机的平面面形误差可降低至1.38 nm(rms),斜率误差降低至240 nrad(rms),实现了平面面形的nm级调控。 展开更多
关键词 压电变形镜 面形误差 同步辐射 自适应光学
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上海光源线站ps精度定时系统设计 被引量:1
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作者 何健 董晓浩 +4 位作者 殷重先 赵丽颖 贾文红 王劼 张招红 《核电子学与探测技术》 CAS 北大核心 2022年第2期225-231,共7页
为满足上海光源线站工程ps时间分辨科学研究需求,设计了ps精度定时系统.定时系统采用事件定时原理产生与射频时钟信号共相位的时钟信号、光纤传输网络用于时钟信号传输,并在EPICS软件控制架构下,产生高精度可控时钟同步信号序列,根据不... 为满足上海光源线站工程ps时间分辨科学研究需求,设计了ps精度定时系统.定时系统采用事件定时原理产生与射频时钟信号共相位的时钟信号、光纤传输网络用于时钟信号传输,并在EPICS软件控制架构下,产生高精度可控时钟同步信号序列,根据不同的同步控制需求,为激光器、探测器等被同步设备提供触发信号.研究结果表明:定时系统的硬件同步触发抖动为3.360 ps、延迟步长精度为3.703 ps,可实现10 ps时间分辨实验的同步控制. 展开更多
关键词 同步 延时 抖动 事件定时
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促进学生思维素养提升的数学模型构建研究
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作者 董晓浩 《文理导航》 2019年第32期36-36,共1页
在数学学习中,构建数学模型可以提升学生的学习效率,帮助学生获得知识、发展技能,可让他们顺利解决问题。在此过程中,教师要关注学生思维能力的提升,完善学生的思维结构,推动学生的思维素养。结合这样的目标,教师在教学中要将学生推向... 在数学学习中,构建数学模型可以提升学生的学习效率,帮助学生获得知识、发展技能,可让他们顺利解决问题。在此过程中,教师要关注学生思维能力的提升,完善学生的思维结构,推动学生的思维素养。结合这样的目标,教师在教学中要将学生推向探索的前沿,并让学生将不同的问题联系起来,举一反三。 展开更多
关键词 数学模型 思维素养 联系 举一反三
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KZ-400离子束刻蚀装置的研制 被引量:7
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作者 徐朝银 董晓浩 +5 位作者 赵飞云 高飞 徐德权 凤良杰 阎佐健 孙继武 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期48-53,共6页
日前我室为制作大口径(400 mm×400 mm)衍射光学元件需要,成功研制了一台KZ-400离子束刻蚀装置。它是基于物理溅射效应,将基底匀速扫描条形离子束,连续铣削材料的原子层来实现大面积刻蚀。通过对关键部位的有限元计算,分析影响装置... 日前我室为制作大口径(400 mm×400 mm)衍射光学元件需要,成功研制了一台KZ-400离子束刻蚀装置。它是基于物理溅射效应,将基底匀速扫描条形离子束,连续铣削材料的原子层来实现大面积刻蚀。通过对关键部位的有限元计算,分析影响装置性能的主要因素,优化工艺结构,使各项指标达到了设计要求,现已投入运行。 展开更多
关键词 离子束刻蚀 有限元分析 扫描运动 束流密度均匀性 优化设计
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基于单次旋转法的X射线平面镜绝对检测 被引量:1
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作者 张梦然 周广 +1 位作者 类维政 董晓浩 《激光杂志》 CAS 北大核心 2022年第8期43-48,共6页
针对X射线长条形反射镜的高精度检测需求,发展了基于单次旋转法的矩形平面绝对检测方法。采用四步组合相对干涉测量,将所得面形函数分解为对称项与非对称项,利用绕光轴单次旋转前后的测量数据求出非对称项进而消除,通过计算获得待测平... 针对X射线长条形反射镜的高精度检测需求,发展了基于单次旋转法的矩形平面绝对检测方法。采用四步组合相对干涉测量,将所得面形函数分解为对称项与非对称项,利用绕光轴单次旋转前后的测量数据求出非对称项进而消除,通过计算获得待测平面的绝对面形。详细推导了矩形平面绝对检测的理论公式,并通过仿真验证分析最优旋转角度。利用该方法设计和实现了140 mm×50 mm的矩形平面镜绝对检测实验,同时对测量结果进行闭环自检验,实验结果显示,测量得到的矩形平面镜绝对面形与闭环自检所得面形中心线高度误差小于3.4×10^(-3)λ(λ=632.8 nm),检验结果符合较好,验证了矩形平面绝对检测方法的有效性。结果表明该方法可实现矩形平面反射镜的绝对测量。 展开更多
关键词 光学测量 绝对检测 单次旋转 闭环自检
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基于ANSYS Workbench的上海光源纳米探针线站多层膜有限元热分析
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作者 梁柯林 李爱国 +2 位作者 董晓浩 徐中民 吕丽军 《工业控制计算机》 2022年第5期60-63,共4页
上海光源建立的同步辐射硬X射线纳米探针线站配置了一台多层膜单色器以满足纳米尺度的研究需求。为了了解高热负载作用下多层膜单色器中膜的温度情况,需要对其进行有限元热分析。由于使用目前的方法存在诸多不便,提出一种基于ANSYS Work... 上海光源建立的同步辐射硬X射线纳米探针线站配置了一台多层膜单色器以满足纳米尺度的研究需求。为了了解高热负载作用下多层膜单色器中膜的温度情况,需要对其进行有限元热分析。由于使用目前的方法存在诸多不便,提出一种基于ANSYS Workbench的多层膜热分析方法。首先在Workbench DM中建立多层膜模型,使用多套Shell132单元模拟多层膜结构;其次给每层子膜赋予厚度和材料属性,通过单元类型控制,面控制和尺寸控制密化热载区域并使多层膜和基底之间网格节点对应;最后引入表面效应单元SURF152施加非均匀热流密度,再用约束方程连接表面效应单元,多层膜和基底上表面的温度通过求解,就能得到任一膜层的温度分布数据。还进行了方法验证,证明其可靠性,然后使用该方法完成了纳米探针线站非均匀热载作用下200个周期Ru/C多层膜的热分析。结果表明这种基于ANSYS Workbench的纳米探针多层膜热分析方法具有操作简便、交互性好、处理效率高的优点。 展开更多
关键词 多层膜 有限元热分析 纳米探针线站 表面效应单元 壳单元
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基于单向多次平移的矩形平面反射镜绝对检测 被引量:2
18
作者 周广 类维政 +1 位作者 董晓浩 王劼 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2023年第23期137-144,共8页
随着相干光源的发展,对大尺寸高精度反射镜的表面光滑度要求不断提高。针对X射线使用的高长宽比矩形平面反射镜,发展了一种基于激光干涉平移剪切法的二维绝对检测方法,以单方向多次平移测量取代正交方向的平移测量,推导出多矩阵增广区... 随着相干光源的发展,对大尺寸高精度反射镜的表面光滑度要求不断提高。针对X射线使用的高长宽比矩形平面反射镜,发展了一种基于激光干涉平移剪切法的二维绝对检测方法,以单方向多次平移测量取代正交方向的平移测量,推导出多矩阵增广区域法重构算法,获得了高精度矩形平面镜的绝对面形。经过仿真模拟,在不考虑噪声时,得到的绝对面形与初始面形的残差均方根(RMS)为0.03 nm(~λ/20000);在考虑随机高斯噪声时,重点模拟分析了不同平移次数和平移距离下的面形恢复情况。对120 mm×40 mm的矩形平面镜进行了实验验证,测量恢复的绝对面形与三平板法得到的绝对面形RMS为1.07 nm(λ/591)。模拟和实验结果均表明:所提方法可有效地获得高精度矩形平面反射镜的二维绝对面形,且单方向平移也为发展基于绝对检测的多孔径拼接测量奠定了基础。 展开更多
关键词 光学测量 矩形平面镜 绝对检测 单向多次平移法 区域法重构
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硬X射线自由电子激光分束延迟光学系统
19
作者 吴宸 张志远 +3 位作者 徐以会 宋丽 董晓浩 刘志 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2023年第1期335-341,共7页
为解决硬X射线自由电子激光装置难以提供皮秒至纳秒区间时间分辨的问题,提出了面向目前在建的上海硬X射线自由电子激光装置分束延迟的系统设计。采用基于晶体衍射的延迟方法设计分束延迟光学系统,计算了延迟时间范围,模拟了系统光通量,... 为解决硬X射线自由电子激光装置难以提供皮秒至纳秒区间时间分辨的问题,提出了面向目前在建的上海硬X射线自由电子激光装置分束延迟的系统设计。采用基于晶体衍射的延迟方法设计分束延迟光学系统,计算了延迟时间范围,模拟了系统光通量,搭建了一台样机并进行了光路对准实验。该设计采用空间分光方式,将入射脉冲分为两个部分,并通过路程差在二者之间引入时间延迟,具体的原理样机设计适用于光子能量在7~11 keV范围,最多能实现-15.4~503.3 ps的时间延迟。使用Shadow模拟了样机设计的光通量,两个分支光通量分别为33.54%和33.64%,符合1∶1的设计目标。使用绿光激光进行了样机的光路对准实验,证明该样机能使空间分光后的两束光重新复合,为后续X射线验证实验提供基础。该设计具有空间尺寸小、延迟范围大、入射能量和延迟时间连续可调的优点,为上海硬X射线自由电子激光装置的分束延迟系统研制提供参考。 展开更多
关键词 光学设计与制造 分束器 X射线光学 自由电子激光 超快光学 时间延迟
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双压电片反射镜面形精度补偿的仿真分析 被引量:1
20
作者 李桐 王楠 +4 位作者 祝万钱 徐中民 金利民 董晓浩 薛松 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第7期283-287,共5页
针对硬X射线自由电子激光(HXFEL)对偏移镜组提出的初步要求(压弯前、夹持后子午面形误差小于0.5μrad),传统机械压弯难以满足且实时修正,因此采用压电片侧放式双压电片反射镜(PBM)结构。反射镜水平放置,通过奇异值分解(SVD)法计算修正... 针对硬X射线自由电子激光(HXFEL)对偏移镜组提出的初步要求(压弯前、夹持后子午面形误差小于0.5μrad),传统机械压弯难以满足且实时修正,因此采用压电片侧放式双压电片反射镜(PBM)结构。反射镜水平放置,通过奇异值分解(SVD)法计算修正自重所引起的低频面形误差所需的电压值,并辅以有限元分析法验证方案的可行性;针对不同的压弯面形进行求解分析,然后加入热分析法解决由局部辐射引起的面形突变。仿真结果表明,在自重的情况下,反射镜的初始斜率误差为242.43 nrad(均方根,RMS),在压电压弯修正后其斜率误差可以大幅降低至7.743 nrad(RMS);对目标面形进行调节,实际压弯面形与目标面形间的斜率误差仅为0.0024 nrad(RMS)。 展开更多
关键词 表面光学 双压电片反射镜 有限元分析 自适应 奇异值分解
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