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Al_(0.98)Ga_(0.02)As的湿法氧化规律 被引量:6
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作者 董立闽 郭霞 +6 位作者 渠红伟 杜金玉 邹德恕 廉鹏 邓军 徐遵图 沈光地 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期197-201,共5页
为实现精确控制VCSELs器件中氧化孔的大小 ,对Al0 .98Ga0 .0 2 As的湿法氧化规律进行了分析研究 .首先运用一维Deal Grove模型分析了Al0 .98Ga0 .0 2 As条形台面湿法氧化的一般规律 ,并在此基础上进一步分析推导 ,加以适当的简化 ,提出... 为实现精确控制VCSELs器件中氧化孔的大小 ,对Al0 .98Ga0 .0 2 As的湿法氧化规律进行了分析研究 .首先运用一维Deal Grove模型分析了Al0 .98Ga0 .0 2 As条形台面湿法氧化的一般规律 ,并在此基础上进一步分析推导 ,加以适当的简化 ,提出了适用于二维圆形台面的简单氧化模型 ,用此模型模拟得到的结果与实验数据十分吻合 .同时 ,实验中观察到氧化孔径很小时氧化速率突增的现象 .运用这些规律 ,将氧化长度的精度控制在 0 5 μm内 。 展开更多
关键词 VCSEL ALGAAS 湿法氧化
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AlGaAs湿法氧化的热稳定性研究 被引量:1
2
作者 董立闽 郭霞 +4 位作者 渠红伟 邹德恕 廉鹏 邓军 沈光地 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2006年第9期871-873,共3页
文中针对A lGaAs湿法氧化后器件热稳定性变差,导致性能下降的问题进行了研究。对不同氧化条件下样品的热稳定性进行了比较,证明采用降低炉温、延长氧化时间以及经过预加热处理等方法可以有效提高器件的热稳定性。利用拉曼谱分析了A lGaA... 文中针对A lGaAs湿法氧化后器件热稳定性变差,导致性能下降的问题进行了研究。对不同氧化条件下样品的热稳定性进行了比较,证明采用降低炉温、延长氧化时间以及经过预加热处理等方法可以有效提高器件的热稳定性。利用拉曼谱分析了A lGaAs湿法氧化技术中影响热稳定性的因素,认为器件的热稳定性在一定程度上取决于湿法氧化生成物中挥发性产物含量的多少。 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器 ALGAAS 湿法氧化 热稳定性
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圆形台面中的AlAs/AlGaAs湿法氧化动力学规律
3
作者 董立闽 郭霞 +4 位作者 渠红伟 邓军 杜金玉 邹德恕 沈光地 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期281-284,共4页
AlAs/AlGaAs湿法氧化技术是制备氧化物限制型VCSELs工艺中极为重要的一步,形成的氧化孔会直接影响到器件的各个特性参数,故有必要对氧化动力学规律进行深入地研究.首先根据大量氧化实验得到了一般氧化规律曲线,再通过结合一维Deal-Grov... AlAs/AlGaAs湿法氧化技术是制备氧化物限制型VCSELs工艺中极为重要的一步,形成的氧化孔会直接影响到器件的各个特性参数,故有必要对氧化动力学规律进行深入地研究.首先根据大量氧化实验得到了一般氧化规律曲线,再通过结合一维Deal-Grove氧化动力学模型,对比一维条形、二维圆形凸、凹台面的氧化规律,推导出了简单实用的二维圆形台面的氧化模型,所得模型曲线与实验数据均吻合较好,并成功地运用此模型实现了对氧化孔大小的精确控制. 展开更多
关键词 VCSEL ALGAAS 湿法氧化
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垂直腔面发射激光器温度特性的研究 被引量:7
4
作者 渠红伟 郭霞 +4 位作者 董立闽 邓军 达小丽 徐遵图 沈光地 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期83-86,共4页
借助于SV-32低温恒温器及LD2002C5 VCSEL测试系统,对内腔接触式氧化物限制型垂直腔面发射激光器进行了变温实验研究,测得在-10℃~70℃温度范围内,器件输出光功率、电压、斜率效率、发射波长和阈值电流随温度变化的实验曲线,并结合不同... 借助于SV-32低温恒温器及LD2002C5 VCSEL测试系统,对内腔接触式氧化物限制型垂直腔面发射激光器进行了变温实验研究,测得在-10℃~70℃温度范围内,器件输出光功率、电压、斜率效率、发射波长和阈值电流随温度变化的实验曲线,并结合不同温度下VCSEL反射谱和增益谱的模拟结果,对实验曲线进行了很好的分析和解释.估算了连续工作状态下研制的InGaAs/GaAs垂直腔面发射激光器内部温升值,而且还得到了现有工艺条件下满足最低室温工作阈值的谐振腔谐振波长与增益谱峰值波长. 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器 增益谱 谐振腔 反射谱 温度
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电流拥挤效应对GaN基发光二极管可靠性的影响 被引量:8
5
作者 艾伟伟 郭霞 +4 位作者 刘斌 董立闽 刘莹 宋颖娉 沈光地 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2006年第6期491-494,503,共5页
文中报道了绝缘蓝宝石衬底上的GaN基发光二极管(LEDs)中,由于横向电阻的存在造成了靠近n型电极台面边缘局部区域电流拥挤,为此从焦耳热和金属电迁移两方面研究了电流拥挤效应对器件可靠性的影响,加速寿命实验结果表明:电流均匀扩展可以... 文中报道了绝缘蓝宝石衬底上的GaN基发光二极管(LEDs)中,由于横向电阻的存在造成了靠近n型电极台面边缘局部区域电流拥挤,为此从焦耳热和金属电迁移两方面研究了电流拥挤效应对器件可靠性的影响,加速寿命实验结果表明:电流均匀扩展可以使可靠性得到有效改善。 展开更多
关键词 GAN 发光二极管 可靠性 电流拥挤
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Cl_2/BCl_3ICP刻蚀GaN基LED的规律研究 被引量:6
6
作者 宋颖娉 郭霞 +2 位作者 艾伟伟 董立闽 沈光地 《微纳电子技术》 CAS 2006年第3期125-129,共5页
研究了用Cl2/BCl3刻蚀GaN基LED中,工艺参数对GaN刻蚀速率、刻蚀侧壁和GaN与SiO2刻蚀选择比的影响。研究结果表明,刻蚀速率随着ICP功率和压强的增大先增大继而减小,随RF功率的增大单调增大;刻蚀选择比随ICP功率增大单调减小,随压强增大... 研究了用Cl2/BCl3刻蚀GaN基LED中,工艺参数对GaN刻蚀速率、刻蚀侧壁和GaN与SiO2刻蚀选择比的影响。研究结果表明,刻蚀速率随着ICP功率和压强的增大先增大继而减小,随RF功率的增大单调增大;刻蚀选择比随ICP功率增大单调减小,随压强增大而增大。还研究了刻蚀速率和选择比与气体比例变化的关系。刻蚀SEM图表明,压强和RF功率增大会使刻蚀垂直度增大。 展开更多
关键词 感应耦合等离子体刻蚀 GaN 刻蚀速率 选择比 垂直度
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Al_xGa_(1-x)As选择性湿法氧化技术的研究 被引量:4
7
作者 黄静 郭霞 +6 位作者 渠红伟 廉鹏 董立闽 朱文军 杜金玉 邹德恕 沈光地 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2003年第6期647-650,共4页
详细研究了温度和Al组分与AlxGa1-xAs横向氧化速率的关系,通过分析氧化机制和实验得到的氧化宽度与时间的线性关系,指出在较短时间内的氧化为受AlxGa1-xAs材料与水汽反应速率限制的过程。运用优化的氧化条件,成功制备了氧化孔径为8μm... 详细研究了温度和Al组分与AlxGa1-xAs横向氧化速率的关系,通过分析氧化机制和实验得到的氧化宽度与时间的线性关系,指出在较短时间内的氧化为受AlxGa1-xAs材料与水汽反应速率限制的过程。运用优化的氧化条件,成功制备了氧化孔径为8μm的垂直腔面发射激光器,最大直流光输出功率为3.2mW,激射波长为978nm,工作电流为15mA。 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器 ALXGA1-XAS 氧化
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应用高频激励源制备低应力氮化硅薄膜研究 被引量:3
8
作者 达小丽 郭霞 +2 位作者 关宝璐 董立闽 沈光地 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期138-142,共5页
研究了在等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法制备氮化硅薄膜时,射频功率和腔室压力对氮化硅薄膜应力的影响以及应力与沉积速率的关系。通常认为高频下制备得到的氮化硅膜呈现张应力,但是通过实验,表明即使应用高频(13.56MH z)作为激励... 研究了在等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法制备氮化硅薄膜时,射频功率和腔室压力对氮化硅薄膜应力的影响以及应力与沉积速率的关系。通常认为高频下制备得到的氮化硅膜呈现张应力,但是通过实验,表明即使应用高频(13.56MH z)作为激励源同样可以沉积出呈现压应力的氮化硅薄膜。并使用角度可变光谱型椭偏仪观察了薄膜的厚度和低应力氮化硅膜的m app ing图,利用傅立叶变换红外光谱仪(FT IR)对不同应力状态下的氮化硅膜的化学键结构进行了分析。 展开更多
关键词 氮化硅 应力 等离子体增强化学气相沉积 腔室压力 射频功率
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Cl_2/BCl_3ICP刻蚀蓝宝石研究 被引量:1
9
作者 宋颖娉 郭霞 +2 位作者 艾伟伟 董立闽 沈光地 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期243-246,共4页
由于GaN单晶制备比较困难,通常氮化物光电子器件都是制备在蓝宝石衬底上的,而氮化物和蓝宝石大的晶格失配和热膨胀系数的差别,使得在衬底上生长的氮化物材料位错和缺陷密度较大,影响了器件的发光效率和寿命。PSS技术可以有效地减少外延... 由于GaN单晶制备比较困难,通常氮化物光电子器件都是制备在蓝宝石衬底上的,而氮化物和蓝宝石大的晶格失配和热膨胀系数的差别,使得在衬底上生长的氮化物材料位错和缺陷密度较大,影响了器件的发光效率和寿命。PSS技术可以有效地减少外延材料的位错和缺陷,在氮化物器件制备中得到了广泛的应用。但是由于蓝宝石很高的硬度和化学稳定性,使其刻蚀难度较大。本文研究了ICP刻蚀蓝宝石中工艺参数对蓝宝石刻蚀速率的影响规律,所用气体为Cl2/BCl3,研究结果表明,蓝宝石的刻蚀速率随着ICP功率、RF功率和气体总流量的增大单调增大;随着压强的减小首先增大,继而减小。当BCl3比例为80%时,刻蚀速率最大。在BCl3流量为80 sccm,Cl2流量为20 sccm,ICP功率为2 500 W,RF功率为500 W,压强为0.9 Pa,温度为60℃时刻蚀速率达到最大值217 nm/min。 展开更多
关键词 ICP 刻蚀 蓝宝石 刻蚀速率
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980nm氧化物限制的垂直腔面发射激光器(英文) 被引量:1
10
作者 渠红伟 郭霞 +6 位作者 黄静 董立闽 廉鹏 邓军 朱文军 邹德恕 沈光地 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期262-265,共4页
采用低压金属有机化合物气相外延 (L P- MOCVD) ,制备了顶端发射氧化物限制、内腔接触结构 980 nm的垂直腔面发射激光器 .应用了选择氧化和自对准工艺来实现电流限制 .在 2 8m A脉冲电流驱动下 ,器件的输出功率为10 .1m W,斜率效率为 0 ... 采用低压金属有机化合物气相外延 (L P- MOCVD) ,制备了顶端发射氧化物限制、内腔接触结构 980 nm的垂直腔面发射激光器 .应用了选择氧化和自对准工艺来实现电流限制 .在 2 8m A脉冲电流驱动下 ,器件的输出功率为10 .1m W,斜率效率为 0 .4 6 2 m W/ m A.脉冲工作下 ,最高输出功率为 13.1m W.室温连续工作下 ,输出功率为7.1m W,发射波长为 974 nm ,光谱半宽为 0 .6 nm.研究了氧化孔径对阈值电流和微分电阻的影响 ,结果表明较小的氧化孔径可以获得低的阈值电流 . 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器 氧化孔径 自对准工艺
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980nm垂直腔面发射激光器的研制
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作者 郭霞 董立闽 +4 位作者 渠红伟 达小丽 杜金玉 邓军 沈光地 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期129-131,共3页
采用低压金属有机化合物气相外延生长技术,应用AlAs/AlGaAs选择性湿氮氧化工艺实现光、电限制,制备出具有一定性能的980nm内腔接触式氧化物限制型顶发射980nm垂直腔面发射激光器(VCSEL).通过制备不同氧化孔径尺寸的VCSEL,分析了氧化孔... 采用低压金属有机化合物气相外延生长技术,应用AlAs/AlGaAs选择性湿氮氧化工艺实现光、电限制,制备出具有一定性能的980nm内腔接触式氧化物限制型顶发射980nm垂直腔面发射激光器(VCSEL).通过制备不同氧化孔径尺寸的VCSEL,分析了氧化孔径尺寸大小对器件的阈值电流和串联电阻的影响.获得的最小阈值电流为0.8mA,最大光输出功率达8mW. 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器 内腔接触 湿氮氧化
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隧道再生多有源区垂直腔面发射激光器光学特性研究
12
作者 渠红伟 郭霞 +4 位作者 邓军 董立闽 廉鹏 邹德恕 沈光地 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期246-249,共4页
文章对隧道再生两个有源区内腔接触式垂直腔面发射激光器(VCSEL)光学特进行了研究。主要包括:通过纵向光场分布模拟分析了驻波效应;测量得到了VCSEL外延片量子阱增益谱峰值波长、谐振腔谐振波长、分布布喇格反射器(DBR)反射谱中心波长... 文章对隧道再生两个有源区内腔接触式垂直腔面发射激光器(VCSEL)光学特进行了研究。主要包括:通过纵向光场分布模拟分析了驻波效应;测量得到了VCSEL外延片量子阱增益谱峰值波长、谐振腔谐振波长、分布布喇格反射器(DBR)反射谱中心波长及材料的生长厚度偏差等重要信息,并结合增益谱,对该外延片制备的器件不激射的原因进行了分析解释。此外,对该外延片边发射模式特性进行模拟计算,由于DBR结构的存在,此结构的光场强度分布明显不同于普通的边发射激光器,模拟得到的远场发散角与测量结果相吻合。 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器 边发射 模式 增益谱
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隧道再生结构的垂直腔面发射激光器激射特性研究
13
作者 渠红伟 郭霞 +4 位作者 邓军 董立闽 廉鹏 邹德恕 沈光地 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期499-502,530,共5页
对隧道再生多有源区内腔接触式垂直腔面发射激光器(VCSEL)材料特性进行了实验研究,得到了VCSEL外延片量子阱增益谱峰值波长、谐振腔谐振波长、DBR反射谱中心波长及材料的生长厚度偏差等重要信息。如果谐振腔谐振波长比增益谱峰值波长长2... 对隧道再生多有源区内腔接触式垂直腔面发射激光器(VCSEL)材料特性进行了实验研究,得到了VCSEL外延片量子阱增益谱峰值波长、谐振腔谐振波长、DBR反射谱中心波长及材料的生长厚度偏差等重要信息。如果谐振腔谐振波长比增益谱峰值波长长20nm以上,阈值条件很难得到满足,器件很难实现激射。符合模拟参数生长的双有源区隧道再生VCSEL实现了室温激射。氧化孔径8.3μm器件,在11mA注入电流下,获得5mW的输出功率,斜率效率0.702mW/mA,激射波长970nm。 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器 隧道再生 边发射 增益谱
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低电阻p-DBR结构的模拟分析 被引量:2
14
作者 马丽娜 郭霞 +5 位作者 盖红星 渠红伟 董立闽 邓军 廉鹏 沈光地 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期56-59,共4页
设计了低电阻的渐变型分布布拉格反射器(DBR)结构,模拟分析了采用渐变p-DBR结构对价带能带的影响,并详细讨论了渐变形状、渐变区宽度、掺杂浓度等参数对低电阻渐变DBR结构的价带势垒的影响。利用MOCVD技术制备了实验样品,模拟结果与实... 设计了低电阻的渐变型分布布拉格反射器(DBR)结构,模拟分析了采用渐变p-DBR结构对价带能带的影响,并详细讨论了渐变形状、渐变区宽度、掺杂浓度等参数对低电阻渐变DBR结构的价带势垒的影响。利用MOCVD技术制备了实验样品,模拟结果与实验数据基本吻合。 展开更多
关键词 渐变布拉格反射器 渐变形状 价带势垒
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渐变分布布拉格反射镜特性分析与测试 被引量:1
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作者 马丽娜 郭霞 +4 位作者 盖红星 渠红伟 董立闽 邓军 廉鹏 《传感器世界》 2005年第6期15-18,共4页
垂直腔面发射激光器(VCSELs)是一种新型半导体激光器,可以广泛应用于光通信和光互连。本文模拟分析了垂直腔面发射激光器中的分布布拉格反射镜(DBRs)对价带势垒的影响,并对几种不同结构的反射镜的电阻进行了测试,测试结果表明采用抛物... 垂直腔面发射激光器(VCSELs)是一种新型半导体激光器,可以广泛应用于光通信和光互连。本文模拟分析了垂直腔面发射激光器中的分布布拉格反射镜(DBRs)对价带势垒的影响,并对几种不同结构的反射镜的电阻进行了测试,测试结果表明采用抛物线渐变结构的分布布拉格反射镜的串联电阻最低。 展开更多
关键词 分布布拉格反射镜 价带势垒 渐变结构
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GaN基LED电流扩展对其器件特性的影响
16
作者 孙重清 邹德恕 +6 位作者 顾晓玲 张剑铭 董立闽 宋颖娉 郭霞 高国 沈光地 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第6期872-875,共4页
GaN基LED的表面电流扩展对于器件的特性起着很重要的作用。制作环状N电极的器件在正向电压、总辐射功率、器件老化等特性方面较普通的电极都有很大的提高。通过一系列的实验对环状N电极和普通电极进行了比较,在外加正向电流为20 mA时,... GaN基LED的表面电流扩展对于器件的特性起着很重要的作用。制作环状N电极的器件在正向电压、总辐射功率、器件老化等特性方面较普通的电极都有很大的提高。通过一系列的实验对环状N电极和普通电极进行了比较,在外加正向电流为20 mA时,正向电压减小了6%,总辐射功率也略有提高,工作50小时后,总辐射功率相差8%,验证了环状N电极结构有利于器件电流扩展,减少器件串联电阻,减少了焦耳热的产生,提高了LED电光特性和可靠性。 展开更多
关键词 光电子学 固态照明 环状N电极 总辐射功率 电流扩展
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微机械可调谐垂直腔面发射激光器调谐范围分析与设计
17
作者 王红航 郭霞 +2 位作者 渠红伟 董立闽 沈光地 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期180-183,共4页
介绍了可调谐激光器的意义和它的基本调谐方法及调谐原理.对影响微机械可调谐垂直腔面发射激光器调谐范围的因素做了重点分析,计算了空气隙的最大变化范围和由此引起的激射波长的调谐范围.
关键词 可调谐 垂直腔面发射激光器 调谐范围
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Low-Threshold and High-Power Oxide-Confined 850 nm AlInGaAs Strained Quantum-Well Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers Based on Intra-Cavity Contacted Structure
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作者 陈敏 郭霞 +6 位作者 邓军 盖红星 董立闽 渠红伟 关宝璐 高国 沈光地 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2005年第12期3074-3076,共3页
The low-threshold and high-power oxide-confined 850 nm AlInGaAs strained quantum-well (QW) vertical-cavity surface-emitting lasers (VCSELs) based on the intra-cavity contacted structure are fabricated. The thresho... The low-threshold and high-power oxide-confined 850 nm AlInGaAs strained quantum-well (QW) vertical-cavity surface-emitting lasers (VCSELs) based on the intra-cavity contacted structure are fabricated. The threshold current of 0.1 mA for a 10-μm oxide-aperture device is obtained with the threshold current density of 0.127kA/cm^2. For a 22-μm oxide-aperture device, the peak optical output power reaches to 14.6mW at the current injection of 25 mA under the room temperature and pulsed operation with a threshold current of 2mA, which corresponds to the threshold current density of 0.526kA/cm^2. The lasing wavelength is 855.4nm. The full wave at half maximum is 2.2 nm. The analysis of the characteristics and the fabrication of VCSELs are also described. 展开更多
关键词 ACTIVE LAYERS ALLNGAAS/ALGAAS IMPROVEMENT
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不同形状台面的AlGaAs湿氮氧化规律研究 被引量:1
19
作者 董立闽 郭霞 +6 位作者 渠红伟 杜金玉 邹德恕 廉鹏 邓军 徐遵图 沈光地 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第8期941-945,共5页
详细研究了凸形、凹形与条形台面的AlGaAs湿氮氧化规律。对三种形状的台面分别进行氧化长度的观察测试,发现凸形、条形及凹形台面的氧化速率顺次下降,且随氧化时间的加长,差距明显增大。运用氧化动力学方法分析,是由于不同形状台面内的... 详细研究了凸形、凹形与条形台面的AlGaAs湿氮氧化规律。对三种形状的台面分别进行氧化长度的观察测试,发现凸形、条形及凹形台面的氧化速率顺次下降,且随氧化时间的加长,差距明显增大。运用氧化动力学方法分析,是由于不同形状台面内的氧化剂浓度及氧化剂扩散速率不同引起;并推导得出台面形状、尺寸与氧化速率的对应关系。所推导的氧化规律模拟曲线与实验数据基本吻合。进一步指出当台尺寸较小时,由于氧化剂在气相传送中也受到了限制,凹形台面氧化速率的实验值与理论值会出现较大偏差。 展开更多
关键词 氧化剂浓度 凹形 氧化速率 扩散速率 气相 氧化动力学 模拟 大偏差 推导 形状
原文传递
MOCVD原位监测垂直腔面发射激光器材料生长 被引量:5
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作者 邓军 李建军 +5 位作者 廉鹏 韩军 渠红伟 董立闽 郭霞 沈光地 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第7期827-830,共4页
利用MOCVD的原位监测控制生长垂直腔面发射激光器材料。通过GaAs/AlGaAsDBR结构生长表明系统的原位监测结果与实际结果间存在2%的偏差。修正原位监测的参数,可实现利用原位监测进行实时控制生长,从而有效地减少系统漂移对材料生长的影响... 利用MOCVD的原位监测控制生长垂直腔面发射激光器材料。通过GaAs/AlGaAsDBR结构生长表明系统的原位监测结果与实际结果间存在2%的偏差。修正原位监测的参数,可实现利用原位监测进行实时控制生长,从而有效地减少系统漂移对材料生长的影响,提高系统的控制精度。用于垂直腔面发射激光器(VCSEL)的外延生长中,可以有效减少生长次数并得到高质量的外延材料,制作的VCSEL器件在室温下得到10.1mW的脉冲功率和7.1mW的直流功率。 展开更多
关键词 MOCVD 原位监测 垂直腔面发射激光器 外延生长
原文传递
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