一种硅基MEMS电离式气体传感器

在室内环境控制领域,对作为信号转换反馈节点的气体传感器提出了2大挑战:一是气体浓度变化范围大;二是许多具有相似化学性质的不同气体混合物难于快速辨识。为解决上述难题,文中提出了一种兼容微电子机械系统(micro-electromechanical systems,MEMS)制造工艺的、带有微纳米功能结构硅材料的电离式气体传感器,并且在含有乙醇和丙酮等挥发性有机化合物(volatile organic compounds,VOC)的环境下进行了传感器响应特性测试。实验结果表明,该传感器在接近饱和蒸气压的极端环境下依然表现出快速恢复的能力。

基于化学掺杂的碳纳米管二极管

本文制备了一种基于局部化学掺杂的单壁碳纳米管(SWCNT) p-i-n结二极管。在此器件中,单根SWCNT沟道的两端分别被掺杂成p型和n型,沟道中段保留为本征状态,从而在SWCNT中形成具有较强内建电场的p-i-n结,表现出二极管特性。所制二极管器件具有高的器件性能,其整流比可达10~3数量级、反向饱和电流仅为23 p A。此外,简要探讨了该结构二极管的工作原理。