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题名基于钽酸锂晶片的太赫兹热释电探测器
被引量:3
- 1
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作者
董航荣
曹乾涛
张鹏
路波
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机构
中电科仪器仪表有限公司
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出处
《红外》
CAS
2020年第4期14-19,共6页
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基金
国防科技重点实验室基金项目(6142001190308)。
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文摘
针对自由空间和波导传输太赫兹辐射功率兼容测试的需求,开展了光敏面直径为10 mm的多功能太赫兹热释电探测器的相关研究。通过有限元分析及热电耦合仿真设计,建立了敏感元件由100μm厚的钽酸锂(LiTaO3)晶片和碳纳米管吸收层组成的太赫兹热释电探测器模型;采用优化的精确减薄抛光和剥离等关键工艺,重点攻克了采用大晶片多阵列方式制作LiTaO3基太赫兹热释电探测器敏感元件的工艺难题,并完成了太赫兹热释电探测器的研制。在设定条件下,该探测器的响应度为371.8 V/W,噪声等效功率为0.34 nW/Hz^1/2。实验结果表明,设计并制作的太赫兹热释电探测器的集成度高、响应度良好、噪声等效功率低,能够有效解决大光斑太赫兹光束功率测试问题。
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关键词
钽酸锂
太赫兹探测器
大晶片多阵列
精确减薄
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Keywords
LiTaO3
terahertz detector
large wafer and multi-array
precise thinning
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分类号
TN744.41
[电子电信—电路与系统]
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题名大面元太赫兹热释电探测器
被引量:3
- 2
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作者
张鹏
曹乾涛
董航荣
赵鑫
孙佳文
吴斌
刘红元
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机构
中电科仪器仪表有限公司
中国电子科技集团公司第四十一研究所电子测试技术重点实验室
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2020年第5期225-230,共6页
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基金
电子测试技术重点实验室基金(6142001190308,614200103010117,6140003010102)
安徽省自然科学基金(1908085MF201)。
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文摘
针对太赫兹光束的光斑直径较大和传输途径不同的现状,提出大面元太赫兹热释电探测器和多用途探测器结构研究,用于自由空间和波导传输太赫兹光束功率的测试。首先使用有限元分析软件建立太赫兹热释电探测器模型,开展热电耦合仿真设计;其次使用精密研磨抛光工艺、平面集成电路微纳米加工技术、匀胶与剥离工艺、砂轮划片技术等工艺技术,开展太赫兹热释电探测器研制;最后创新设计装配在探测器结构上的套筒与波导适配器。理论分析和实验结果表明:该方法设计的太赫兹热释电探测器具有噪声等效功率低、重复性高特点,并且解决了自由空间与波导传输太赫兹辐射功率兼容测试问题。
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关键词
太赫兹探测器
有限元分析
自由空间
波导
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Keywords
THz detector
finite element analysis
free space
waveguide
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分类号
O434.3
[机械工程—光学工程]
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