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纳米加工技术在机械制造领域的研究现状
1
作者
郭佑彪
董雯侠
+2 位作者
李满华
丁为甫
刘国平
《安徽化工》
CAS
2005年第3期5-8,共4页
纳米技术是当代科技发展的一个新兴领域。简要介绍了与机械制造有关的纳米加工技术,讨论了纳米加工技术的物理实质,介绍了与之相关的关键技术及其元器件等。
关键词
纳米加工技术
研究现状
制造领域
科技发展
纳米技术
机械制造
物理实质
关键技术
元器件
下载PDF
职称材料
题名
纳米加工技术在机械制造领域的研究现状
1
作者
郭佑彪
董雯侠
李满华
丁为甫
刘国平
机构
安徽阜阳农机培训班
安徽阜阳颍州区农机推广站
安徽省阜阳农机学校
出处
《安徽化工》
CAS
2005年第3期5-8,共4页
文摘
纳米技术是当代科技发展的一个新兴领域。简要介绍了与机械制造有关的纳米加工技术,讨论了纳米加工技术的物理实质,介绍了与之相关的关键技术及其元器件等。
关键词
纳米加工技术
研究现状
制造领域
科技发展
纳米技术
机械制造
物理实质
关键技术
元器件
Keywords
nanometer processing, AFM probe, microelectronics, etch
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
TP391.72 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
纳米加工技术在机械制造领域的研究现状
郭佑彪
董雯侠
李满华
丁为甫
刘国平
《安徽化工》
CAS
2005
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