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在微重力下生长的GaAs:Si单晶结构缺陷的X射线研究 被引量:1
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作者 蒋四南 林兰英 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第3期167-169,共3页
本文对空间生长GaAS:Si单晶,沿着生长方向用X射线形貌和双晶衍射方法进行了研究,X射线形貌观测到了在空间生长区域有一个扇形高完整区.双晶衍射表明,在这个扇形区回摆曲线最窄、强度较高.
关键词 砷化镓:硅 单晶生长 结构缺陷 X射线 微重力 半导体材料
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太空生长掺Te-GaAs单晶的结构缺陷观测
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作者 蒋四南 范缇文 +1 位作者 李成基 林兰英 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第1期76-84,共9页
本文用X射线、电子显微镜和电子束阴极荧光方法,对在太空中生长的掺Te-GaAs单晶材料的结构完整性进行了实验研究.在地面生长的掺Te-GaAs有明显的杂质条纹,而在太空生长的晶体杂质条纹消失;在太空和地面生长的交界处于空间材料一侧的中... 本文用X射线、电子显微镜和电子束阴极荧光方法,对在太空中生长的掺Te-GaAs单晶材料的结构完整性进行了实验研究.在地面生长的掺Te-GaAs有明显的杂质条纹,而在太空生长的晶体杂质条纹消失;在太空和地面生长的交界处于空间材料一侧的中心部位,存在一个大约5μm宽的高完整区.远离中心部位,空间材料的完整性降低,出现了大量位错并伴有微缺陷.实验结果表明:在微重力条件下生长化合物半导体GaAs对在其中的杂质均匀分布有利.在太生长时出现的大量位错和微缺陷,并不是在生长时由于失重所致,而是在太空生长时温度失控所引起的. 展开更多
关键词 GAAS 太空生长 位错 微缺陷
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黄昆X射线漫散射的实验研究
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作者 蒋四南 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第2期75-83,共9页
本文描述了黄昆X射线漫散射的实验方法及其所需的实验条件,并利用它研究了离子注入CaAs中点缺陷所引起的黄昆散射,在同一GaAs晶片上的不同部分分别注入Mo和Er,浓度均为1×10^(15)cm^(-2),注入电压为500keV,经850℃退火30分钟后分别... 本文描述了黄昆X射线漫散射的实验方法及其所需的实验条件,并利用它研究了离子注入CaAs中点缺陷所引起的黄昆散射,在同一GaAs晶片上的不同部分分别注入Mo和Er,浓度均为1×10^(15)cm^(-2),注入电压为500keV,经850℃退火30分钟后分别在77K的条件下进行黄昆散射测量,实验观测到注入Er元素比Mo元素引起的黄昆散射要强,这一结果表明Er元素在GaAs中大多处于间隙状态,而Mo元素在GaAs中大多处于替换状态. 展开更多
关键词 黄昆X射线 半导体晶体 漫散射 实验
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