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Delta-V系统在多晶硅生产过程的应用 被引量:3
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作者 林青云 宴琦 +1 位作者 蒋坤荣 王建鑫 《化工自动化及仪表》 CAS 2012年第4期544-546,共3页
应用Delta-V系统中引入的相关控制系统和算法优化多晶硅生产过程,降低多晶硅生产过程中的电能消耗。
关键词 多晶硅 BATCH Delta-V 配方
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