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Mist CVD生长的雾滴迁移与早期沉积研究
1
作者
吴诗颖
陈琳
+2 位作者
蒋少清
郭方正
陶志阔
《电子元件与材料》
CAS
北大核心
2024年第4期454-460,467,共8页
第三代半导体材料α-Ga_(2)O_(3)因其超宽带隙(5.3 eV)和超高巴利加优值(6726)在制造高功率器件等电子器件方面更具优势。在α-Ga_(2)O_(3)的诸多生长方法中,Mist CVD简化了前体输运,是亚稳相薄膜较有前景的生长技术。针对早期雾滴分布...
第三代半导体材料α-Ga_(2)O_(3)因其超宽带隙(5.3 eV)和超高巴利加优值(6726)在制造高功率器件等电子器件方面更具优势。在α-Ga_(2)O_(3)的诸多生长方法中,Mist CVD简化了前体输运,是亚稳相薄膜较有前景的生长技术。针对早期雾滴分布会制约薄膜质量的问题,使用计算流体力学(CFD)对α-Ga_(2)O_(3)的水平热壁Mist CVD系统进行了多相流反应的瞬态数值仿真研究。基于雾滴迁移与气化模型,研究影响雾滴蒸发时间的因素,解释了雾滴迁移长度对初始外延质量和平均生长速率的作用。在影响α-Ga_(2)O_(3)薄膜生长分布的诸多变量中,对衬底温度、衬底位置及衬底角度等关键参数进行了优化。结果表明,26.5°的衬底角度、距离出口78 cm的衬底位置和550℃的衬底温度具有较好的雾滴迁移分布,是有利于薄膜成核生长的优化条件,为实际生长与制备提供生长参数。
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关键词
α-Ga_(2)O_(3)
Mist
CVD
雾滴
蒸发时间
平均生长速率
均匀性
下载PDF
职称材料
“路线图”会否变为一纸空文
2
作者
蒋少清
李骥志
《瞭望》
北大核心
2003年第26期58-58,共1页
6月21日至23日,世界经济论坛特别年会在约旦死海旅游胜地舒奈召开,会议集中讨论了“中东的未来”、“伊拉克重建”和“伊战后的世界经济”三个主要议题。
关键词
中东“路线图”计划
伊拉克重建
中东政策
以色列
巴勒斯坦
国际形势
原文传递
第十一届“汉语桥”世界大学生中文比赛约旦预选赛落幕
3
作者
蒋少清
程春香
《海外华文教育动态》
2012年第6期118-118,共1页
第十一届“汉语桥”世界大学生中文比赛约旦预选赛5月13日在约旦大学举行。约旦大学中文专业一年级学生林娜脱颖而出,将作为优胜选手代表约旦参加今年夏天在中国举行的“汉语桥”比赛决赛。此次比赛由中国驻约旦大使馆主办、约旦大学...
第十一届“汉语桥”世界大学生中文比赛约旦预选赛5月13日在约旦大学举行。约旦大学中文专业一年级学生林娜脱颖而出,将作为优胜选手代表约旦参加今年夏天在中国举行的“汉语桥”比赛决赛。此次比赛由中国驻约旦大使馆主办、约旦大学中文专业协办,并得到当地中资机构协助和支持。参赛的10名选手分别来自约旦大学中文专业和费城大学孔子学院。10名选手当天以“我的中国梦”为主题,通过相声、小品、书法、太极拳、歌舞及他们的亲身经历表达了对中国的向往与热爱。比赛分自拟题目演讲、中国文化知识问答、才艺展示3个环节,经过两个多小时的激烈角逐,林娜以流利的中文演讲和端庄的中国书法赢得96.1分的优异成绩,获得一等奖。
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关键词
“汉语桥”
中文专业
大学生
预选赛
约旦
比赛
世界
中国书法
原文传递
约旦“汉语桥”优胜者如梦的“中国梦”
4
作者
蒋少清
《海外华文教育动态》
2013年第6期178-179,共2页
“我能赢得参加在中国举行的“汉语桥”决赛机会,十分激动,我将以最佳状态迎接挑战,”曾参加今年“汉语桥”世界大学生中文比赛约旦赛区比赛的如梦日前对新华社记者说。5月15日,10名选手参加了在约旦大学语言中心举行的“汉语桥”...
“我能赢得参加在中国举行的“汉语桥”决赛机会,十分激动,我将以最佳状态迎接挑战,”曾参加今年“汉语桥”世界大学生中文比赛约旦赛区比赛的如梦日前对新华社记者说。5月15日,10名选手参加了在约旦大学语言中心举行的“汉语桥”中文比赛复赛。他们在演讲中分别讲述了各自的“中国梦”,并展示了中国书法、剪纸、服饰表演和中国歌舞等才艺。来自约旦大学、安曼TAG孔子学院、费城大学孔子学院的师生近200人到场观摩。
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关键词
高校
高等教育
华文教育
中华文化
办学水平
原文传递
题名
Mist CVD生长的雾滴迁移与早期沉积研究
1
作者
吴诗颖
陈琳
蒋少清
郭方正
陶志阔
机构
南京邮电大学电子与光学工程学院
出处
《电子元件与材料》
CAS
北大核心
2024年第4期454-460,467,共8页
基金
江苏省光电信息功能材料重点实验室开放课题(TK222018)
国家自然科学基金(61574079)。
文摘
第三代半导体材料α-Ga_(2)O_(3)因其超宽带隙(5.3 eV)和超高巴利加优值(6726)在制造高功率器件等电子器件方面更具优势。在α-Ga_(2)O_(3)的诸多生长方法中,Mist CVD简化了前体输运,是亚稳相薄膜较有前景的生长技术。针对早期雾滴分布会制约薄膜质量的问题,使用计算流体力学(CFD)对α-Ga_(2)O_(3)的水平热壁Mist CVD系统进行了多相流反应的瞬态数值仿真研究。基于雾滴迁移与气化模型,研究影响雾滴蒸发时间的因素,解释了雾滴迁移长度对初始外延质量和平均生长速率的作用。在影响α-Ga_(2)O_(3)薄膜生长分布的诸多变量中,对衬底温度、衬底位置及衬底角度等关键参数进行了优化。结果表明,26.5°的衬底角度、距离出口78 cm的衬底位置和550℃的衬底温度具有较好的雾滴迁移分布,是有利于薄膜成核生长的优化条件,为实际生长与制备提供生长参数。
关键词
α-Ga_(2)O_(3)
Mist
CVD
雾滴
蒸发时间
平均生长速率
均匀性
Keywords
α-Ga_(2)O_(3)
Mist CVD
droplet
evaporation time
average growth rate
uniformity
分类号
TN305.5 [电子电信—物理电子学]
TN304.2 [电子电信—物理电子学]
TN302 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
“路线图”会否变为一纸空文
2
作者
蒋少清
李骥志
机构
本刊驻安曼记者
出处
《瞭望》
北大核心
2003年第26期58-58,共1页
文摘
6月21日至23日,世界经济论坛特别年会在约旦死海旅游胜地舒奈召开,会议集中讨论了“中东的未来”、“伊拉克重建”和“伊战后的世界经济”三个主要议题。
关键词
中东“路线图”计划
伊拉克重建
中东政策
以色列
巴勒斯坦
国际形势
分类号
D815 [政治法律—国际关系]
原文传递
题名
第十一届“汉语桥”世界大学生中文比赛约旦预选赛落幕
3
作者
蒋少清
程春香
出处
《海外华文教育动态》
2012年第6期118-118,共1页
文摘
第十一届“汉语桥”世界大学生中文比赛约旦预选赛5月13日在约旦大学举行。约旦大学中文专业一年级学生林娜脱颖而出,将作为优胜选手代表约旦参加今年夏天在中国举行的“汉语桥”比赛决赛。此次比赛由中国驻约旦大使馆主办、约旦大学中文专业协办,并得到当地中资机构协助和支持。参赛的10名选手分别来自约旦大学中文专业和费城大学孔子学院。10名选手当天以“我的中国梦”为主题,通过相声、小品、书法、太极拳、歌舞及他们的亲身经历表达了对中国的向往与热爱。比赛分自拟题目演讲、中国文化知识问答、才艺展示3个环节,经过两个多小时的激烈角逐,林娜以流利的中文演讲和端庄的中国书法赢得96.1分的优异成绩,获得一等奖。
关键词
“汉语桥”
中文专业
大学生
预选赛
约旦
比赛
世界
中国书法
分类号
G652 [文化科学—教育学]
原文传递
题名
约旦“汉语桥”优胜者如梦的“中国梦”
4
作者
蒋少清
出处
《海外华文教育动态》
2013年第6期178-179,共2页
文摘
“我能赢得参加在中国举行的“汉语桥”决赛机会,十分激动,我将以最佳状态迎接挑战,”曾参加今年“汉语桥”世界大学生中文比赛约旦赛区比赛的如梦日前对新华社记者说。5月15日,10名选手参加了在约旦大学语言中心举行的“汉语桥”中文比赛复赛。他们在演讲中分别讲述了各自的“中国梦”,并展示了中国书法、剪纸、服饰表演和中国歌舞等才艺。来自约旦大学、安曼TAG孔子学院、费城大学孔子学院的师生近200人到场观摩。
关键词
高校
高等教育
华文教育
中华文化
办学水平
分类号
G64 [文化科学—高等教育学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Mist CVD生长的雾滴迁移与早期沉积研究
吴诗颖
陈琳
蒋少清
郭方正
陶志阔
《电子元件与材料》
CAS
北大核心
2024
0
下载PDF
职称材料
2
“路线图”会否变为一纸空文
蒋少清
李骥志
《瞭望》
北大核心
2003
0
原文传递
3
第十一届“汉语桥”世界大学生中文比赛约旦预选赛落幕
蒋少清
程春香
《海外华文教育动态》
2012
0
原文传递
4
约旦“汉语桥”优胜者如梦的“中国梦”
蒋少清
《海外华文教育动态》
2013
0
原文传递
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