C波段宽带薄膜体声波滤波器设计及验证

介绍了一种适用于三维堆叠的凸点式晶圆级封装的小型化C波段宽带薄膜体声波滤波器的设计方法,并进行了工艺验证。通过对压电层薄膜进行钪掺杂、材料参数提取、结构模型优化实现了相对带宽大于5%的薄膜体声波滤波器设计。通过表面硅基微机电系统(MEMS)工艺制备与凸点式晶圆级封装实现滤波器制备。研制出标称频率5800 MHz、插入损耗小于2.8 dB、阻带抑制大于40 dBc、体积仅1.0 mm×1.0 mm×0.35 mm的C波段宽带薄膜体声波滤波器。

S波段低插损FBAR陷波器的研制

该文介绍了一种单端口、端口阻抗50Ω的S波段薄膜体声波谐振器(FBAR)陷波器,其采用了梯形拓扑结构与外围匹配电路相结合的方式。对FBAR陷波器芯片的设计过程、工艺实现进行了说明。测试制备的FBAR陷波器,其陷波频段为2399~2412 MHz,陷波抑制达35 dBc;通带频率分别为1800~2300 MHz和2500~2800 MHz,通带插损仅1 dB;3 dBc开口宽度为69 MHz。FBAR陷波器芯片尺寸为1.2 mm×1.2 mm×0.35 mm。结果表明,陷波器实测与仿真结果两者相吻合。

谐振式声表面波温度传感系统查询器设计

基于声表面波的温度传感器是无源无线的，可用于开关柜等电力设备的在线温度监测。系统中查询器部分由分离元器件组合而成。发射链路采用直接数字频率合成器与本振混频，可快速切换发射频率；接收链路采用二次变频技术，防止发射信号对接收通路影响；精确控制发射接收信号时序，提高测量精度及距离。对传感头在-40--90℃环境下测试数据进行了详细的分析，测温精度可达±1℃。在良好电磁环境下，最大测温距离可达1．5m。

太极拳运动过程中心率血乳酸和血糖浓度变化的研究

本文试图从生化角度,通过测定血乳酸、血糖浓度等指标的变化来研究太极拳运动。太极拳是有氧化谢项目,长期坚持太极拳运动,可提高心、肺功能,减少心血管和呼吸系统的疾病。同时,练太极拳后血糖浓度明显升高,这和练太极拳时要求全神贯注、不存杂念,使人的思维始终集中于机体各种动作的变化和协调上,大脑皮层中的运动中枢和交感神经兴奋,促使升血糖激素分泌增多,使血溏浓度升高。太极拳这种以“神为帅、身为躯使”的有氧代谢运动,通过中枢神经的调节,使大脑皮层的兴奋与抑制得到提高和调整,有效地解除因高度节奏感造成的疲劳,植物神经系统的稳定性也得到提高,这正是太极拳养身、健体、祛病的原因所在。

一款2.4 GHz WiFi频段FBAR带通滤波器设计

该文设计了一款2.4 GHz WiFi频段(2401~2483 MHz)薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器。采用一维Mason电路模型,在ADS中搭建了阶梯形滤波器电路;在HFSS中建立了封装结构和测试电路有限元电磁模型,并在ADS中完成了联合仿真设计。通过微机电系统(MEMS)工艺制备与测试,滤波器在2401~2483 MHz频段的插入损耗≤2.2 dB。在2520~2900 MHz处,带外抑制≥40 dB,滤波器体积仅1.1 mm×0.9 mm×0.65 mm。

低温漂薄膜体声波谐振器研究

该文介绍了一种基于空腔结构的温度补偿型薄膜体声波谐振器(TC-FBAR)。通过在压电层上方生长SiO_(2)温度补偿层,实现谐振器的低温漂。未采用温度补偿的薄膜体声波谐振器,其频率温度系数约为-25×10^(-6)/℃。通过适当的膜层结构设计,可使其频率温度系数在±3×10^(-6)/℃。结果表明,由于温度补偿层的增加,导致器件总体压电效应降低,使谐振器的有效机电耦合系数降低。低温漂谐振器的实现,为窄带低温漂滤波器的研制提供了有效的设计和工艺技术支撑。

空间转换:易地扶贫搬迁民众的文化适应性研究——基于贵州Q县田野调查

易地扶贫搬迁使得农民被迅速的转化为城市居民,搬迁民众不仅需要面对外在身份的转换,更需要内在文化的适应,文化适应影响着少数民族易地扶贫搬迁民众的后续发展与融入。基于对于Q县易地扶贫搬迁民众调查,当易地扶贫搬迁民众从世代居住的空间进入到政府重构的空间中,原本熟悉的生存环境、语言环境、生产方式、娱乐空间、身份等发生转变,面对新的生存空间,由于搬迁民众自身局限性、民族习惯、思维差异等因素,搬迁民众文化适应问题显现。因此,在易地扶贫搬迁后续扶持中,要重视搬迁民众传统的文化习俗、构建多民族互嵌型社区环境、增强民众群体的共同体意识等方面加快少数民族易地扶贫搬迁民众文化适应,使其更好地融入新的生存空间。

易地扶贫搬迁新市民劳动力转移与家庭生计转型——以Q县易地扶贫搬迁群众为例

易地扶贫搬迁政策的实施,对农村劳动力资源重新配置、转移、职业选择等产生较大的影响,而农村劳动力资源与家庭生计方式息息相关,劳动力的转移改变了家庭生计资本中资源禀赋、人力资本、就业机会等所占的比例。搬迁后,劳动力成为最主要的生产要素参与到社会分工中,一个家庭劳动力的数量与质量决定了家庭经济收入水平,而家庭经济收入结构是生计模式的一个表征,反映了家庭生计的变化特点。因此,在易地扶贫搬迁中,劳动力转移引发家庭生计转型成为必然。

声表面波压力传感器的仿真与设计

该文设计了一种基于声表面波(SAW)传感原理的无源无线压力传感器。阐述了SAW单端谐振器的原理,对SAW压力传感器的原理进行了分析。选择了基于类似两端固定梁的敏感结构并利用ANSYS软件对其敏感结构进行仿真、分析。利用Mathcad软件对SAW压力传感器进行建模、仿真。并根据仿真结果设计和制作了SAW压力传感器。测试结果表明,制作的传感器灵敏度较高,误差小,具备良好的压力频率特性。

C波段WLP薄膜体声波滤波器的研制

该文研制了一种晶圆级封装(WLP)的C波段薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器。采用一维Mason等效电路模型对谐振器进行设计,并使用HFSS对电磁封装模型进行优化,再在ADS中对滤波器进行仿真优化设计,得到阶梯型结构的FBAR滤波器。采用空腔型结构并制备出FBAR滤波器芯片,同时利用覆膜工艺对FBAR裸芯片进行覆膜和电镀等WLP工艺,得到WLP的FBAR器件。测试结果表明,滤波器的中心频率为6.09 GHz,中心插损为2.92 dB,通带插损为3.4 dB,带宽为112 MHz,带外抑制大于40 dB。

基于裸芯片覆膜的薄膜体声波滤波器

该文研制了一种空腔型的薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器裸芯片。利用FBAR一维Mason等效电路模型对谐振器进行设计,然后采用实际制作的谐振器模型形成阶梯型结构FBAR滤波器,利用ADS软件对FBAR滤波器裸芯片进行优化设计。仿真结果表明,FBAR滤波器裸芯片尺寸为1 mm×1 mm×0.4 mm,滤波器的中心频率为3 GHz,中心插损为1.3 dB。采用空腔型结构并制备出FBAR滤波器裸芯片,同时采用覆膜工艺对FBAR裸芯片表面进行覆膜保护,避免裸芯片在使用或运输等过程中被损坏。测试结果显示,覆膜前滤波器裸芯片的中心频率为2.993 GHz,中心插损为1.69 dB;覆膜后滤波器的中心频率为2.997 GHz,中心插损为1.51 dB。对覆膜的影响和覆膜前后的差异进行了分析。

基于掺杂压电薄膜的FBAR制备及研究

薄膜体声波谐振器(FBAR)具有体积小、工作频段高、性能强等优势,在滤波器领域有广泛的应用前景,其最核心的功能层为压电薄膜。本文采用磁控溅射方法,在6英寸硅片上制备了AlScN压电薄膜。对AlScN薄膜进行了分析表征,结果表明,AlScN压电薄膜具有良好的(002)面择优取向,摇摆曲线半峰宽为1.75°,膜厚均匀性优于0.6%,薄膜应力为10.63 MPa,薄膜应力可调。制作了基于AlScN压电薄膜的FBAR谐振器,其机电耦合系数为7.53%。在AlN中掺杂Sc能够有效提高压电薄膜的机电耦合系数,对研究FBAR滤波器的宽带化有重要意义。

小型化双通带声表滤波器设计研究

针对小型化双通带声表面波(SAW)滤波器的需求背景,对两端口、两通带的SAW滤波器的设计技术展开研究。通过搭建包含两组耦合模(COM)参数的双通带SAW滤波器声电协同仿真平台,分析优化滤波器性能,成功研制出CSP2520封装的双通带SAW滤波器,其中心频率分别为1995 MHz和2185 MHz,通带带宽均为40 MHz,插入损耗小于3 dB,通带间隔离度大于30 dB。测试与仿真结果基本一致。

薄膜体声波谐振器Mason模型参数的提取方法

为了正确分析和设计薄膜体声波谐振器(FBAR)器件,需要对谐振器Mason模型中的仿真参数(如机电耦合系数、介电常数及粘滞系数等)进行准确提取。通过简谐近似,在Mason模型中引入了厚度方向位移的横向分量,提高了参数提取的准确性。使用谐振器开路和短路图形的散射参数,提取了探针及测试焊盘的等效电路参数,对谐振器进行去嵌。根据拟合得到的模型参数,仿真了中心频率为5.43 GHz的滤波器。结果表明,采用该方法提取的模型参数仿真结果和滤波器探针测试曲线的通带形状吻合较好。

LiNbO3单晶薄膜体声波谐振器的研制

该文介绍了一种采用智能截割(Smart CutTM)技术制备的单晶铌酸锂(LiNbO3)薄膜体声波谐振器。采用COMSOL有限元仿真软件从材料和结构两方面对LiNbO3薄膜体声波谐振器进行优化设计,以实现高机电耦合系数,并通过Smart CutTM工艺方法制备了高性能Z切-LiNbO3单晶薄膜作为谐振器的压电层,最终得到LiNbO3薄膜体声波谐振器的谐振频率为3847.5MHz,反谐振频率为3986.25MHz,插入损耗为1.81dB,谐振器有效机电耦合系数达到8.3%。

一种基于声表单端谐振器调频电路的设计

分析了目前UHF频段调频电路的特点,设计了一种基于SAW单端谐振器UHF频段的调频电路,较为详细地阐述了设计思路:首先是声表面波单端谐振器的优化设计,其次是电路设计;该电路利用变容二极管直接调频,具有结构简单、中心频率稳定、调试方便等特点;适合于无线话筒、无线对讲、无线耳机、无线遥控、无线数据采集等各种中低档无线通信设备中。

晴隆县易地扶贫搬迁民众社会融入研究

晴隆县是国家级贫困县,贫困人口与少数民族分布区相互耦合,自然环境较差,基础设施落后,交通不便等原因相互交织,增加了扶贫难度。例如晴隆县L上寨组和下寨组,贫困发生率分别为96.8%和97.2%,两个村小组的共同点都是地处海拔高、生态环境恶劣的自然环境中,出行极为不便,并且两个小组的人都是少数民族。可见,晴隆县贫困的区域特征是少数民族与生态环境恶劣相互重叠,内外因相互交织,使得贫困复杂多样,扶贫成本高。易地搬迁不仅可以减少扶贫的成本,而且可打破贫困代际传递的困局,改变贫困人口原生的生存空间,打造新的生存环境,让个体获得新的发展。

浅析农村致富能人在贫困村庄经济发展中的效用--基于贵州Q县的田野调查

在新时期贫困村庄贫困治理中,贫困村庄内生动力的激发,村集体经济的稳定增长,贫困人口的劳动力价值提升都离不开村庄农村致富能人的带动。面对贫困人口多元的利益诉求,社会各种力量参与到治理贫困中来,国家不再是唯一治理贫困的主体,贫困也就成为国家、社会、个人等多元行为主体共同治理的对象。在多元行为主体参与的贫困治理中,农村致富能人是重要组成部分,他们通过自身努力,结合资源与政策的优势,个体的经济实力得到加强,成为农村经济发展的重要推动者。致富能人作为贫困治理的参与者,在村庄贫困治理中发挥积极的示范效应,充分发掘贫困村致富能人的潜能与优势,提高贫困人口的自我发展能力。

易地扶贫搬迁民众生存空间转换与社会文化变迁——基于贵州Q县的田野调查

易地扶贫搬迁是我国推进城镇化进程,解决贫困地区长期贫困的一种方式。贫困民众从世代生活的村落进入到政府所构建的居住空间,从个体的外在身份到内部文化生存的时空结构都发生了变迁,生存空间得以重塑,形成了独特的城市新群体。传统民族文化与原居地生存空间是共生的,生存空间的转变,生产生活空间的集约化和文化承载空间的消逝,都会引起易地扶贫搬迁民众的社会文化发生变迁。

用0.02ml全血同时测定血Hl和血尿素N的含量mg%

血尿素N是评定运动员机能状态、运动量大小以及对运动负荷适应性的一项灵敏指标。血Hl则是评定运动强度、无氧代谢和有氧代谢能力的常用指标。这两个生化指标,对科学地指导运动训练有着重要意义。但这两项指标,均要通过血液进行测定。在一次训练过程中,多次(运动前、后)采血,不但麻烦,且运动员惧怕,不愿合作。为此,我们试图一次采0.02 ml全血,同时测定这两个生化指标,作了以下实验。采用改良后的B方法和原始测定血尿素N的方法(简称A),以及测定血Hl的原有方法(C)分别同时测定了血尿素N和血Hl,进行对比。实验结果:用改良后的B方法。所测定的血尿素N或血Hl含量(mg%),与已经报道的原有方法所测定的数据基本一致。