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静态真空液氮管道运用于芯片低温测试领域的改进方案分析
被引量:
1
1
作者
蒋晨瑜
《集成电路应用》
2023年第4期38-40,共3页
阐述通过对静态真空液氮管道系统的改进,避免管道夹层漏放气速率增加导致表面结露、结冰后产生的凝结水滴落,造成低温测试机器损坏的风险,解决排气不通畅造成低温不稳定的问题,对芯片低温测试领域液氮输送系统提供有效方案。
关键词
集成电路测试
存储芯片
低温测试
液氮输送
真空管道
静态真空
排气
下载PDF
职称材料
晶圆测试产品表面悬浮粒子沉积问题研究
2
作者
蒋晨瑜
《现代制造技术与装备》
2023年第5期15-18,共4页
通过研究分析既有晶圆探针测试设备的运行过程,查找晶圆产品表面空气悬浮粒子的沉积原因,进一步探究粒子的来源和传播路径,从而发现晶圆测试工艺中生产设备在设计或车间布局方面的不足,以便针对性地进行改进。
关键词
晶圆测试
悬浮粒子
沉积
下载PDF
职称材料
小桥
3
作者
蒋晨瑜
《中学生读写(考试版)》
2004年第6期29-29,共1页
乡村的一座小桥断了,路人行走很不方便。一位数学家到这里来,看着这座断桥,写下了几道需要修桥材料的比例公式,走了。
关键词
指导教师
原文传递
题名
静态真空液氮管道运用于芯片低温测试领域的改进方案分析
被引量:
1
1
作者
蒋晨瑜
机构
宏茂微电子(上海)有限公司
出处
《集成电路应用》
2023年第4期38-40,共3页
文摘
阐述通过对静态真空液氮管道系统的改进,避免管道夹层漏放气速率增加导致表面结露、结冰后产生的凝结水滴落,造成低温测试机器损坏的风险,解决排气不通畅造成低温不稳定的问题,对芯片低温测试领域液氮输送系统提供有效方案。
关键词
集成电路测试
存储芯片
低温测试
液氮输送
真空管道
静态真空
排气
Keywords
integrated circuit testing
storage chip
low-temperature testing
liquid nitrogen delivery
vacuum pipeline
static vacuum
exhaust
分类号
TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
晶圆测试产品表面悬浮粒子沉积问题研究
2
作者
蒋晨瑜
机构
宏茂微电子(上海)有限公司
出处
《现代制造技术与装备》
2023年第5期15-18,共4页
文摘
通过研究分析既有晶圆探针测试设备的运行过程,查找晶圆产品表面空气悬浮粒子的沉积原因,进一步探究粒子的来源和传播路径,从而发现晶圆测试工艺中生产设备在设计或车间布局方面的不足,以便针对性地进行改进。
关键词
晶圆测试
悬浮粒子
沉积
Keywords
wafer testing
suspended particles
deposition
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
小桥
3
作者
蒋晨瑜
机构
江苏如东高级中学初一(
出处
《中学生读写(考试版)》
2004年第6期29-29,共1页
文摘
乡村的一座小桥断了,路人行走很不方便。一位数学家到这里来,看着这座断桥,写下了几道需要修桥材料的比例公式,走了。
关键词
指导教师
分类号
G634.3 [文化科学—教育学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
静态真空液氮管道运用于芯片低温测试领域的改进方案分析
蒋晨瑜
《集成电路应用》
2023
1
下载PDF
职称材料
2
晶圆测试产品表面悬浮粒子沉积问题研究
蒋晨瑜
《现代制造技术与装备》
2023
0
下载PDF
职称材料
3
小桥
蒋晨瑜
《中学生读写(考试版)》
2004
0
原文传递
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