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纳米晶SnO2薄膜的结晶特性 被引量:2
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作者 王占和 吴海霞 +2 位作者 蒋煜婧 邢懋腾 詹杰 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第B05期110-113,共4页
采用磁控溅射技术,使用混合气体Ar和O2,在衬底温度为150-400℃的耐热玻璃基片上制备了纳米晶SnO2:Sb透明导电薄膜,通过测定X射线衍射谱,表明薄膜择优取向为[110]和[211]方向,测量了SnO2:Sb薄膜的结晶特性随衬底温度变化以及纳米... 采用磁控溅射技术,使用混合气体Ar和O2,在衬底温度为150-400℃的耐热玻璃基片上制备了纳米晶SnO2:Sb透明导电薄膜,通过测定X射线衍射谱,表明薄膜择优取向为[110]和[211]方向,测量了SnO2:Sb薄膜的结晶特性随衬底温度变化以及纳米晶SnO2薄膜FE—SEM表面及断面形貌。 展开更多
关键词 磁控溅射 纳米晶 SNO2薄膜 结晶特性 FE—SEM
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纳米晶氧化锡薄膜的接触特性 被引量:2
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作者 王占和 郝群 +1 位作者 祝侃 蒋煜婧 《光学技术》 CAS CSCD 2001年第4期346-347,共2页
在 Ar和 O2 气体中 ,基片温度在 15 0~ 40 0℃的条件下 ,用直流磁控溅射的方法可以制备纳米晶透明导电薄膜。实验利用 TL M模型测试了纳米晶 Sn O2 透明导电薄膜的方块电阻。
关键词 氧化锡薄膜 纳米晶 电极 传输线模型 接触特性
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FinFET技术专利分析
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作者 蒋煜婧 张莉 《通讯世界》 2021年第10期170-172,共3页
本文对FinFET技术领域的全球和国内专利申请进行梳理和统计分析,通过数据全面系统地分析该领域国内外专利布局情况和重点专利,有利于相关企业和研究院所有效地规划专利布局,避免产生专利纠纷,降低研发过程中的专利侵权风险。
关键词 FinFET技术 专利申请 专利分析
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ASIC功能验证方法浅析
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作者 蒋煜婧 杨军 《集成电路应用》 2004年第11期21-24,共4页
随着芯片设计中集成内容的增加和设计规模的扩大,验证复杂性处于飚升状态。验证工程师必须在现有的工具和语言的基础上,找出适合设计的最优的验证方案。验证环境的最基本元素包括测试激励、BFM(Bus Functional Model)、检查机制和覆盖... 随着芯片设计中集成内容的增加和设计规模的扩大,验证复杂性处于飚升状态。验证工程师必须在现有的工具和语言的基础上,找出适合设计的最优的验证方案。验证环境的最基本元素包括测试激励、BFM(Bus Functional Model)、检查机制和覆盖率统计。目前这几方面都提出了新的方法和概念,有利于提高验证的效率、精度和完备性。 展开更多
关键词 增加 扩大 Model) 统计 激励 效率 检查机制 功能验证 ASIC 芯片设计
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