CeN薄膜表面Cr和Ti抗氧化涂层的制备与性能研究

采用直流磁控溅射在单晶硅基底上制备了2μm厚的氮化铈(CeN)薄膜,并研究了CeN在大气环境中的氧化行为。鉴于CeN在大气环境中容易与氧气反应而劣化分解这一问题,在CeN上沉积了不同厚度的钛(Ti)或铬(Cr)抗氧化涂层以提高其抗氧化性能。实验结果表明,Ti/CeN复合薄膜在大气环境中暴露较短时间内就会起皮脱落;2.4μm Cr/2μm CeN复合薄膜可以有效地延长CeN在大气环境中的存放时间。最后,探讨了CeN与抗氧化层复合薄膜的氧化机理。