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CeN薄膜表面Cr和Ti抗氧化涂层的制备与性能研究
1
作者
罗凯
肖易
+4 位作者
蒋琬玉
贾永峰
蒋玉苹
曹林洪
符亚军
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第6期529-536,共8页
采用直流磁控溅射在单晶硅基底上制备了2μm厚的氮化铈(CeN)薄膜,并研究了CeN在大气环境中的氧化行为。鉴于CeN在大气环境中容易与氧气反应而劣化分解这一问题,在CeN上沉积了不同厚度的钛(Ti)或铬(Cr)抗氧化涂层以提高其抗氧化性能。实...
采用直流磁控溅射在单晶硅基底上制备了2μm厚的氮化铈(CeN)薄膜,并研究了CeN在大气环境中的氧化行为。鉴于CeN在大气环境中容易与氧气反应而劣化分解这一问题,在CeN上沉积了不同厚度的钛(Ti)或铬(Cr)抗氧化涂层以提高其抗氧化性能。实验结果表明,Ti/CeN复合薄膜在大气环境中暴露较短时间内就会起皮脱落;2.4μm Cr/2μm CeN复合薄膜可以有效地延长CeN在大气环境中的存放时间。最后,探讨了CeN与抗氧化层复合薄膜的氧化机理。
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关键词
磁控溅射
氮化铈
抗氧化涂层
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职称材料
题名
CeN薄膜表面Cr和Ti抗氧化涂层的制备与性能研究
1
作者
罗凯
肖易
蒋琬玉
贾永峰
蒋玉苹
曹林洪
符亚军
机构
西南科技大学材料与化学学院
出处
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第6期529-536,共8页
基金
四川省自然科学基金项目(23NSFTD0044)
中广核委托项目。
文摘
采用直流磁控溅射在单晶硅基底上制备了2μm厚的氮化铈(CeN)薄膜,并研究了CeN在大气环境中的氧化行为。鉴于CeN在大气环境中容易与氧气反应而劣化分解这一问题,在CeN上沉积了不同厚度的钛(Ti)或铬(Cr)抗氧化涂层以提高其抗氧化性能。实验结果表明,Ti/CeN复合薄膜在大气环境中暴露较短时间内就会起皮脱落;2.4μm Cr/2μm CeN复合薄膜可以有效地延长CeN在大气环境中的存放时间。最后,探讨了CeN与抗氧化层复合薄膜的氧化机理。
关键词
磁控溅射
氮化铈
抗氧化涂层
Keywords
Magnetron sputtering
Cerium nitride
Antioxidant coating
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
CeN薄膜表面Cr和Ti抗氧化涂层的制备与性能研究
罗凯
肖易
蒋琬玉
贾永峰
蒋玉苹
曹林洪
符亚军
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024
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