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电容式MEMS加速度计电子辐照效应研究
1
作者
刘超铭
蒋礼达
+4 位作者
刘国文
马国亮
王天琦
孙凤云
霍明学
《黑龙江大学自然科学学报》
CAS
2021年第4期481-488,共8页
随着我国航天工程的技术发展,对航天器用惯性器件的小型化和轻量化的需求越来越高,研究微电子机械系统(Micro electromechanical system,MEMS)惯性器件的空间环境效应以保障其在轨长寿命和高可靠运行就显得尤为重要。针对国产电容式MEM...
随着我国航天工程的技术发展,对航天器用惯性器件的小型化和轻量化的需求越来越高,研究微电子机械系统(Micro electromechanical system,MEMS)惯性器件的空间环境效应以保障其在轨长寿命和高可靠运行就显得尤为重要。针对国产电容式MEMS加速度计,通过1 MeV电子辐射试验,研究了高能电子辐照对电容式MEMS加速度计电学性能的影响规律及相关退化机理。结果表明,电子辐照注量对电容式MEMS加速度计的表头电容影响较弱、阻抗与辐照注量呈负相关趋势;在低辐照注量下,电容式MEMS加速度计的ASIC电路正常工作,在高辐照注量下(3.0×10^(13) cm^(-2)以上)出现明显的性能退化;电容式MEMS加速度计整表在5.0×10^(12) cm^(-2)的电子辐照注量下发生功能失效。
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关键词
微电子机械系统
电容式加速度计
电子辐照
电压特性
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职称材料
新能源汽车前大灯光源选择
被引量:
3
2
作者
蒋礼达
关交柏
《光源与照明》
2018年第2期46-48,共3页
汽车前灯照明,不仅仅是照亮前方道路那么简单,其中涉及交规、近远光配比、光照强度和色温等诸多问题。尽管LED光源技术已日臻完善,但由于车灯光源特殊性,文章对应用在新能源汽车灯上的LED光源做一些探讨。
关键词
车前灯
LED模块
近远光配光
透镜
下载PDF
职称材料
题名
电容式MEMS加速度计电子辐照效应研究
1
作者
刘超铭
蒋礼达
刘国文
马国亮
王天琦
孙凤云
霍明学
机构
哈尔滨工业大学空间环境与物质科学研究院
哈尔滨工业大学材料科学与工程学院
黑龙江大学电子工程学院
浙江大学航空航天学院
北京航天控制仪器研究所
出处
《黑龙江大学自然科学学报》
CAS
2021年第4期481-488,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(11775061)。
文摘
随着我国航天工程的技术发展,对航天器用惯性器件的小型化和轻量化的需求越来越高,研究微电子机械系统(Micro electromechanical system,MEMS)惯性器件的空间环境效应以保障其在轨长寿命和高可靠运行就显得尤为重要。针对国产电容式MEMS加速度计,通过1 MeV电子辐射试验,研究了高能电子辐照对电容式MEMS加速度计电学性能的影响规律及相关退化机理。结果表明,电子辐照注量对电容式MEMS加速度计的表头电容影响较弱、阻抗与辐照注量呈负相关趋势;在低辐照注量下,电容式MEMS加速度计的ASIC电路正常工作,在高辐照注量下(3.0×10^(13) cm^(-2)以上)出现明显的性能退化;电容式MEMS加速度计整表在5.0×10^(12) cm^(-2)的电子辐照注量下发生功能失效。
关键词
微电子机械系统
电容式加速度计
电子辐照
电压特性
Keywords
MEMS
capacitive accelerometer
electron irradiation
voltage characteristic
分类号
TN42 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
新能源汽车前大灯光源选择
被引量:
3
2
作者
蒋礼达
关交柏
机构
上海雷鸥电气有限公司
出处
《光源与照明》
2018年第2期46-48,共3页
文摘
汽车前灯照明,不仅仅是照亮前方道路那么简单,其中涉及交规、近远光配比、光照强度和色温等诸多问题。尽管LED光源技术已日臻完善,但由于车灯光源特殊性,文章对应用在新能源汽车灯上的LED光源做一些探讨。
关键词
车前灯
LED模块
近远光配光
透镜
分类号
TM923.34 [电气工程—电力电子与电力传动]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电容式MEMS加速度计电子辐照效应研究
刘超铭
蒋礼达
刘国文
马国亮
王天琦
孙凤云
霍明学
《黑龙江大学自然科学学报》
CAS
2021
0
下载PDF
职称材料
2
新能源汽车前大灯光源选择
蒋礼达
关交柏
《光源与照明》
2018
3
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职称材料
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