开关电路在微机械加速度计中的应用

介绍了一种用于差分电容检测前置电路的开关电路,该电路使信号易于解调而能简化信号处理电路.阐述了电路的工作原理及相关特性,在250 kHz的载波频率下,给出了Hspice仿真结果及其具体在微机械加速度计中的应用.实际结果表明:样品的灵敏度为16～25 mV/gn,非线性为0.1 %～0.5 %,满足技术要求.

非晶态Se薄膜晶化过程中微裂纹产生的研究

薄膜在热处理过程中存在微观结构的变化。利用光学显微镜对非晶态Ｓｅ薄膜在晶化过程中微裂纹的产生做了详细的分析和研究；利用位形坐标解释了非晶薄膜室温下转变的原因。并对三层结构的ＳｉＯ／Ｓｅ／ＳｉＯ的晶化做了进一步研究。结果表明微裂纹的产生与晶化过程中原子重新排序、原子迁移导致晶界的产生和体积收缩产生的应力有关，裂纹的产生还同薄膜与衬底间的热失配有关。