MOS 光 电 开 关 集 成 电 路

采用电荷积累检测原理构成了ＭＯＳ型单片式光电开关集成电路。该器件具有低功耗、低成本、多功能的特点。文章还对器件的应用情况作了介绍。

离子注入机的接受相图分析

束流光学系统中各个元件的接受相图变换到同一地点,得到整个系统的接受相图。束流光学设计的任务就是使束流的发射相图与系统的接受相图相匹配。从它们的匹配情况可以估计束流的传输效率。本文以LC-2B型离子注入机为例说明了这个方法的应用。

轴对称离子束和带形离子束的相互转换

本文讨论轴对称离子束与带形离子束的相互转换问题,并以偏转磁铁为例子,说明其应用。

各种形状的静电扫描器灵敏度分析

本文用经典物理方法论述了各种形式的静电扫描器的灵敏度。

LC—2B型离子注入机的束流光学验算与分析

近年来,束流光学方法已被广泛应用于离子注入机的光路设计中。LC-2B型离子注入机是十多年前基于成象光学方法设计的。我们准备用束流光学方法从两方面对它进行验算与分析。

双离子注入增强退火效应的研究

本文介绍氩、硼离子注入的增强退火效应.四探针测试显示在500℃左右有低的薄层电阻R值,SEM观察和拉曼谱观察表明,注入区的晶格损伤得到了很好的恢复.

光阈值可调光电开关集成电路的研制

光阈值可调光电开关集成电路是MOS单片集成电路。它是由光电二极管和P-MOS电路构成,通过外接RC网络,在辐照度(0.025～10)mW/cm^2范围内连续调节光电开关电路的光阈值,均能实现开关性能,文中介绍了电荷积累检测技术,电路框图、版图、工艺设计考虑以及性能指标等。

ELCO透镜

本文讨论了一种新型的离子透镜,它是由分别加不同电位的一个圆筒和一根沿轴芯线所组成的静电同轴圆简透镜。文中利用数值计算的方法研究了它的场分布,轨迹及光学特性。

单向扫描磁铁边界形状对性能的影响

本文研究单向扫描磁铁出口边界形状对扫描性能的影响.适当改变出口边界形状可以改善磁铁的扫描均匀度,并减少不利的磁铁聚焦作用.