在大尺寸液晶显示器的薄膜晶体管(Thin Film Transistor,简称TFT)TFT工艺技术中,Cu正逐步取代Al作为电极材料。与Al电极制程相比,在进行栅极(Gate)制程时Cu容易发生腐蚀,这会降低产品良率。本文结合ADS(Advanced Super Demension Switch...在大尺寸液晶显示器的薄膜晶体管(Thin Film Transistor,简称TFT)TFT工艺技术中,Cu正逐步取代Al作为电极材料。与Al电极制程相比,在进行栅极(Gate)制程时Cu容易发生腐蚀,这会降低产品良率。本文结合ADS(Advanced Super Demension Switch)显示模式下0+4掩膜板(mask)技术的Gate刻蚀制程和1+4掩膜版技术Gate光刻胶(Photo Resist,简称PR)剥离制程的Cu腐蚀现象进行分析,结合实验验证,确定Cu腐蚀原因,最终提出改善方案。实验结果表明:0+4mask技术的Gate制程中,ITO刻蚀液所含的HNO3会使MoNb/Cu结构电极的Cu发生电化学腐蚀;将电极结构更改为单Cu层则可以避免电化学腐蚀。在1+4mask技术的PR剥离(Strip)制程中,基板经历的剥离时间长或进行多次剥离或在剥离设备中停留,均会引起Cu腐蚀;增加剥离区间与水区间空气帘(Air Curtain)吹气量、增加TFT基板在过渡区间(H2O与剥离液接触的区间)的传输速度,管控剥离液使用时间等措施可以缓解Cu腐蚀。展开更多
目的介绍一种基于美容单位的自由式穿支皮瓣在面部肿瘤切除后缺损修复中的应用。方法2013年12月至2017年1月苏州大学附属第二医院整形美容科收治72例面部肿瘤切除后缺损患者,男31例,女41例,年龄45-101岁。依据术前多普勒血流探测仪对创...目的介绍一种基于美容单位的自由式穿支皮瓣在面部肿瘤切除后缺损修复中的应用。方法2013年12月至2017年1月苏州大学附属第二医院整形美容科收治72例面部肿瘤切除后缺损患者,男31例,女41例,年龄45-101岁。依据术前多普勒血流探测仪对创面周围穿支血管的探测信号,结合面部美容单位,不拘泥于传统的面部解剖学标志及解剖变异限制,更“自由”地设计以穿支血管为蒂的V・Y推进皮瓣、旋转皮瓣、螺旋桨皮瓣等多种形式皮瓣,修复创面。皮瓣最大面积12.0 cm x6.0 cm,最小面积1.5 cm x 1.0 cm,蒂部穿支血管直径0.3~3.0 mm,部分蒂部为穿支血管束。结果本组72例,68例一期愈合,术后外形良好;1例术后出血,皮瓣张力较大,切口愈合不良,予换药处理,2周后愈合;3例静脉回流不畅,皮瓣淤血,针刺放血处理后,延迟愈合。结论对于肿瘤扩大切除后面部缺损的修复,基于面部美容单位及术前多普勒探查的穿支血管设计自由式穿支皮瓣,是一种安全、可靠、多形的皮瓣,既可在皮瓣的选择方面提供更大的自由度,又可取得更好的美容效果。展开更多
文摘在大尺寸液晶显示器的薄膜晶体管(Thin Film Transistor,简称TFT)TFT工艺技术中,Cu正逐步取代Al作为电极材料。与Al电极制程相比,在进行栅极(Gate)制程时Cu容易发生腐蚀,这会降低产品良率。本文结合ADS(Advanced Super Demension Switch)显示模式下0+4掩膜板(mask)技术的Gate刻蚀制程和1+4掩膜版技术Gate光刻胶(Photo Resist,简称PR)剥离制程的Cu腐蚀现象进行分析,结合实验验证,确定Cu腐蚀原因,最终提出改善方案。实验结果表明:0+4mask技术的Gate制程中,ITO刻蚀液所含的HNO3会使MoNb/Cu结构电极的Cu发生电化学腐蚀;将电极结构更改为单Cu层则可以避免电化学腐蚀。在1+4mask技术的PR剥离(Strip)制程中,基板经历的剥离时间长或进行多次剥离或在剥离设备中停留,均会引起Cu腐蚀;增加剥离区间与水区间空气帘(Air Curtain)吹气量、增加TFT基板在过渡区间(H2O与剥离液接触的区间)的传输速度,管控剥离液使用时间等措施可以缓解Cu腐蚀。
文摘目的介绍一种基于美容单位的自由式穿支皮瓣在面部肿瘤切除后缺损修复中的应用。方法2013年12月至2017年1月苏州大学附属第二医院整形美容科收治72例面部肿瘤切除后缺损患者,男31例,女41例,年龄45-101岁。依据术前多普勒血流探测仪对创面周围穿支血管的探测信号,结合面部美容单位,不拘泥于传统的面部解剖学标志及解剖变异限制,更“自由”地设计以穿支血管为蒂的V・Y推进皮瓣、旋转皮瓣、螺旋桨皮瓣等多种形式皮瓣,修复创面。皮瓣最大面积12.0 cm x6.0 cm,最小面积1.5 cm x 1.0 cm,蒂部穿支血管直径0.3~3.0 mm,部分蒂部为穿支血管束。结果本组72例,68例一期愈合,术后外形良好;1例术后出血,皮瓣张力较大,切口愈合不良,予换药处理,2周后愈合;3例静脉回流不畅,皮瓣淤血,针刺放血处理后,延迟愈合。结论对于肿瘤扩大切除后面部缺损的修复,基于面部美容单位及术前多普勒探查的穿支血管设计自由式穿支皮瓣,是一种安全、可靠、多形的皮瓣,既可在皮瓣的选择方面提供更大的自由度,又可取得更好的美容效果。