SiC/W 纳米多层膜的微结构和微观力学性能

用磁控溅射法在硅基底上制备了不同调制波长Λ的ＳｉＣ／Ｗ纳米多层膜，利用小角度衍射技术（ＬＸＤ）研究了各样品子层界面的调制周期性，并用上限为２０ｍＮ的超显微硬度计ＵＭＨＴ－３，对上述纳米薄膜进行了多载荷微观力学性能测试．结果表明：纳米ＳｉＣ／Ｗ调制多层膜的超显微硬度随测试负荷Ｆ和调制波长Λ的改变而变化，在负荷为５ｍＮ时峰值硬度为１９．９ＧＰａ，与均匀混合的纳米薄膜相比，超显微硬度值提高了约１倍，显示出明显的硬度异常效应．结合实验结果对硬度值随调制波长Λ出现的峰值效应作了初步探讨．

显微硬度负荷依存性现象及其本质

涂层的超显微硬度值不仅取决于涂层材料，还与测试负荷和膜层的厚度密切相关．论述了显微硬度在微小负荷范围内因测试负荷变化而发生明显变化的现象，即所谓的压痕尺寸效应，并讨论了显微硬度试验时测试负荷的正确选择和压痕尺寸效应的若干解释．