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基于PVD镀碳膜和PST钛氮共渗的摩擦磨损性能研究
1
作者
张训国
彭文博
+2 位作者
李佳黛
陈井刚
蔡昌宗
《机械设计与制造工程》
2024年第9期135-138,共4页
为提升高频高负载工况下30CrMnSiA钢的摩擦磨损性能,在其表面分别采用PVD镀碳膜技术和PST钛氮共渗技术制备强化层,经表面处理后,硬度分别提高了110%和82%。200 N载荷工况时,镀碳膜试样与未进行表面处理试样和钛氮共渗试样相比,摩擦因数...
为提升高频高负载工况下30CrMnSiA钢的摩擦磨损性能,在其表面分别采用PVD镀碳膜技术和PST钛氮共渗技术制备强化层,经表面处理后,硬度分别提高了110%和82%。200 N载荷工况时,镀碳膜试样与未进行表面处理试样和钛氮共渗试样相比,摩擦因数较小、磨痕深度较浅以及磨损速率较低。300 N载荷工况时,试验初期碳膜即失效,钛氮共渗试样与未进行表面处理试样相比,摩擦因数较小,一定时间后3种试样的摩擦因数趋于一致,并且钛氮共渗试样的磨痕深度相对较浅、磨损速率相对较低。分析可知:针对30CrMnSiA钢材料,PVD镀碳膜处理方法适用于载荷不超过200 N的工况,PST钛氮共渗处理方法适用于载荷超过300 N的工况。
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关键词
高频高负载
镀碳膜
钛氮共渗
摩擦磨损性能
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职称材料
基于位姿调整的晶圆传输机器人轨迹规划
被引量:
3
2
作者
蔡昌宗
宋芳
《轻工机械》
CAS
2019年第1期61-64,共4页
为了提高晶圆传输机器人的运行效率和运动平稳性,课题组基于末端执行器的位姿调整对晶圆传输机器人进行了轨迹规划研究。首先,介绍了晶圆传输实验平台的机构组成,在此基础上采用了动静法对晶圆受力进行分析,得出加速度与位姿角度之间的...
为了提高晶圆传输机器人的运行效率和运动平稳性,课题组基于末端执行器的位姿调整对晶圆传输机器人进行了轨迹规划研究。首先,介绍了晶圆传输实验平台的机构组成,在此基础上采用了动静法对晶圆受力进行分析,得出加速度与位姿角度之间的内在关系;其次,提出了一种基于位姿调整的S曲线加减速控制算法,并基于该算法实现了对末端执行器的轨迹规划;最后,采用MATLAB软件编程,实现了关键参数的求解和算法仿真,得到了加速度、速度、位移随时间变化的曲线图。应用结果表明此轨迹规划可以在保证高度运动平稳的情况下提高晶圆传输机器人的工作效率。
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关键词
晶圆传输机器人
末端执行器
轨迹规划
S曲线
算法仿真
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职称材料
题名
基于PVD镀碳膜和PST钛氮共渗的摩擦磨损性能研究
1
作者
张训国
彭文博
李佳黛
陈井刚
蔡昌宗
机构
上海航天动力技术研究所
出处
《机械设计与制造工程》
2024年第9期135-138,共4页
文摘
为提升高频高负载工况下30CrMnSiA钢的摩擦磨损性能,在其表面分别采用PVD镀碳膜技术和PST钛氮共渗技术制备强化层,经表面处理后,硬度分别提高了110%和82%。200 N载荷工况时,镀碳膜试样与未进行表面处理试样和钛氮共渗试样相比,摩擦因数较小、磨痕深度较浅以及磨损速率较低。300 N载荷工况时,试验初期碳膜即失效,钛氮共渗试样与未进行表面处理试样相比,摩擦因数较小,一定时间后3种试样的摩擦因数趋于一致,并且钛氮共渗试样的磨痕深度相对较浅、磨损速率相对较低。分析可知:针对30CrMnSiA钢材料,PVD镀碳膜处理方法适用于载荷不超过200 N的工况,PST钛氮共渗处理方法适用于载荷超过300 N的工况。
关键词
高频高负载
镀碳膜
钛氮共渗
摩擦磨损性能
Keywords
high frequency and high load conditions
carbon coating
titanium nitriding coating
friction and wear properties
分类号
TG115.58 [金属学及工艺—物理冶金]
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职称材料
题名
基于位姿调整的晶圆传输机器人轨迹规划
被引量:
3
2
作者
蔡昌宗
宋芳
机构
上海工程技术大学工程实训中心
出处
《轻工机械》
CAS
2019年第1期61-64,共4页
基金
国家青年科学基金项目"基于微结构阵列的高摩擦低粘附晶圆高效传输机理与主动控制方法的研究"(51505273)
文摘
为了提高晶圆传输机器人的运行效率和运动平稳性,课题组基于末端执行器的位姿调整对晶圆传输机器人进行了轨迹规划研究。首先,介绍了晶圆传输实验平台的机构组成,在此基础上采用了动静法对晶圆受力进行分析,得出加速度与位姿角度之间的内在关系;其次,提出了一种基于位姿调整的S曲线加减速控制算法,并基于该算法实现了对末端执行器的轨迹规划;最后,采用MATLAB软件编程,实现了关键参数的求解和算法仿真,得到了加速度、速度、位移随时间变化的曲线图。应用结果表明此轨迹规划可以在保证高度运动平稳的情况下提高晶圆传输机器人的工作效率。
关键词
晶圆传输机器人
末端执行器
轨迹规划
S曲线
算法仿真
Keywords
wafer transfer robot
end effector
trajectory planning
S-curve
algorithm simulation
分类号
TP242.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于PVD镀碳膜和PST钛氮共渗的摩擦磨损性能研究
张训国
彭文博
李佳黛
陈井刚
蔡昌宗
《机械设计与制造工程》
2024
0
下载PDF
职称材料
2
基于位姿调整的晶圆传输机器人轨迹规划
蔡昌宗
宋芳
《轻工机械》
CAS
2019
3
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职称材料
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