基于PVD镀碳膜和PST钛氮共渗的摩擦磨损性能研究

为提升高频高负载工况下30CrMnSiA钢的摩擦磨损性能,在其表面分别采用PVD镀碳膜技术和PST钛氮共渗技术制备强化层,经表面处理后,硬度分别提高了110%和82%。200 N载荷工况时,镀碳膜试样与未进行表面处理试样和钛氮共渗试样相比,摩擦因数较小、磨痕深度较浅以及磨损速率较低。300 N载荷工况时,试验初期碳膜即失效,钛氮共渗试样与未进行表面处理试样相比,摩擦因数较小,一定时间后3种试样的摩擦因数趋于一致,并且钛氮共渗试样的磨痕深度相对较浅、磨损速率相对较低。分析可知:针对30CrMnSiA钢材料,PVD镀碳膜处理方法适用于载荷不超过200 N的工况,PST钛氮共渗处理方法适用于载荷超过300 N的工况。

基于位姿调整的晶圆传输机器人轨迹规划

为了提高晶圆传输机器人的运行效率和运动平稳性,课题组基于末端执行器的位姿调整对晶圆传输机器人进行了轨迹规划研究。首先,介绍了晶圆传输实验平台的机构组成,在此基础上采用了动静法对晶圆受力进行分析,得出加速度与位姿角度之间的内在关系;其次,提出了一种基于位姿调整的S曲线加减速控制算法,并基于该算法实现了对末端执行器的轨迹规划;最后,采用MATLAB软件编程,实现了关键参数的求解和算法仿真,得到了加速度、速度、位移随时间变化的曲线图。应用结果表明此轨迹规划可以在保证高度运动平稳的情况下提高晶圆传输机器人的工作效率。