铝栅自对准工艺

铝栅自对准电路具有集成度高和性能价格比高等优点。本文从离子注入与合金(退火)两方面着手,研究铝栅自对准工艺。成功地研制出可与国外样品互换的铝栅自对准电路。

125mm铝栅CMOS工艺技术开发及其应用

铝栅CMOSIC作为一种功能较简单，性能比较低，集成度不高的低挡IC产品，长期以来一直采用75～100mm图片材料进行图片加工。本文阐述了一种采用125mm图片，与3μm硅极CMOS大生产线完全兼容的铝栅CMOS工艺技术。详细地讨论了它的开发过程及其技术特点，以及在产品生产上的应用前景。