数字微镜器件衍射模型建立及其在激光直写机台中的应用

数字微镜器件(DMD)是激光直写光刻设备(LDI)的核心光学器件。基于LDI实际生产条件建立相关衍射模型,仿真和分析不同参数下DMD频谱面衍射光斑分布和像平面成像质量的对应关系,解释同一型号的DMD投影图形对比度差异原因。首次通过改变光线入射角来调控DMD的衍射光斑分布,从而提升激光直写设备图形解析效果,解决了工艺批次带来的DMD投影图形对比度不佳问题,降低了直写光刻设备的物料成本。