3ω法测试聚酰亚胺膜热导率

为准确测量聚酰亚胺薄膜的热导率,建立了一套基于3ω法的测试系统,系统由锁相放大器、信号发生器、运算放大器等部分组成。采用掩膜版方法制备金属电极,测得PI膜的热导率为0. 212 W/(m·K),测试结果与文献结果一致,证明了测试方法的可靠性。考察了不同电流条件下三倍频电压随电流频率变化规律,PI膜的热导率随温度变化的特性,在不同温度下测得的热导率值与文献结果一致。