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非制冷红外焦平面CMOS读出电路设计 被引量:3
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作者 薛惠琼 焦斌斌 +3 位作者 何伟 欧毅 陈大鹏 叶甜春 《电子工业专用设备》 2008年第5期9-13,共5页
在过去的10年里红外焦平面阵列成像技术逐渐进入了成熟期,从红外焦平面的发展背景出发,简要介绍了一种新颖的非制冷焦平面成像技术,论述了读出电路在红外焦平面信号传输中的作用并介绍了其基本框图,分析了国内外焦平面读出电路的现状,... 在过去的10年里红外焦平面阵列成像技术逐渐进入了成熟期,从红外焦平面的发展背景出发,简要介绍了一种新颖的非制冷焦平面成像技术,论述了读出电路在红外焦平面信号传输中的作用并介绍了其基本框图,分析了国内外焦平面读出电路的现状,最后提出了一些在红外焦平面阵列读出电路设计中所需要注意的问题。 展开更多
关键词 非制冷 红外焦平面 读出电路
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基于SOI Si片的二极管红外探测器 被引量:4
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作者 何伟 陈大鹏 +4 位作者 明安杰 黄卓磊 欧毅 焦斌斌 薛惠琼 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第9期525-529,共5页
介绍了红外热成像技术的几种技术方案,重点介绍了以二极管作为红外探测器的非制冷红外热成像技术。通过理论分析和ISE-TCAD软件模拟、采用SOISi片流片和测试,分别得到了单晶Si二极管在固定偏置电流下的电压-温度响应特性,理论分析、模... 介绍了红外热成像技术的几种技术方案,重点介绍了以二极管作为红外探测器的非制冷红外热成像技术。通过理论分析和ISE-TCAD软件模拟、采用SOISi片流片和测试,分别得到了单晶Si二极管在固定偏置电流下的电压-温度响应特性,理论分析、模拟和实测结果三者吻合很好。在1μA的偏置电流下,单个二极管的温度灵敏度分别为1.40,1.35和1.52mV/K,三者的差别主要是由于理论分析和ISE-TCAD软件模拟中没有考虑欧姆接触电阻和引线电阻等串联电阻。 展开更多
关键词 红外热成像 红外探测器 二极管 SOI 温度灵敏度
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非制冷红外焦平面阵列进展 被引量:4
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作者 何伟 焦斌斌 +3 位作者 薛惠琼 欧毅 陈大鹏 叶甜春 《电子工业专用设备》 2008年第5期18-23,39,共7页
非制冷红外成像技术已广泛应用于军事和民用领域,一直是人们关注的焦点之一,其核心部件是非制冷红外焦平面阵列(IRFPA:Infrared Focal Plane Array)。综述了几种具有代表性的非制冷IRFPA的探测原理、发展历史和现状。它们是:热敏电阻型... 非制冷红外成像技术已广泛应用于军事和民用领域,一直是人们关注的焦点之一,其核心部件是非制冷红外焦平面阵列(IRFPA:Infrared Focal Plane Array)。综述了几种具有代表性的非制冷IRFPA的探测原理、发展历史和现状。它们是:热敏电阻型、热释电型、热电堆型、二极管型、热-电容型非制冷IRFPA和应用光力学效应的非制冷IRFPA、基于法布里-珀罗微腔阵列的非制冷IRFPA。 展开更多
关键词 投非制冷红外成像技术 非制冷红外焦平面阵列 热敏电阻 热释电 热电堆 热-电容 光力学 法布里-珀罗微腔阵列
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非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列电压温度系数的分析与优化(英文) 被引量:2
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作者 张强 刘瑞文 +6 位作者 吕文龙 侯影 魏德波 刘超 薛惠琼 傅剑宇 王玮冰 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第9期617-624,共8页
灵敏度是非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列(IRFPA)的一项重要性能指标。二极管结构的电压温度系数(VTC)对灵敏度有很大的影响。分析了二极管结构的设计参数和工艺参数对其电压温度系数的影响,仿真结果表明二极管的串联个数和pn结... 灵敏度是非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列(IRFPA)的一项重要性能指标。二极管结构的电压温度系数(VTC)对灵敏度有很大的影响。分析了二极管结构的设计参数和工艺参数对其电压温度系数的影响,仿真结果表明二极管的串联个数和pn结结面积是两项重要因素。因此,设计出6个串联"阱"形pn结的二极管结构,并对具有该结构的热敏二极管型红外焦平面阵列进行了流片。测试结果表明,在10μA正向偏置电流下,二极管结构的电压温度系数为8.2 mV/K,单个像素的灵敏度为19.1μV/K。不同结面积结构的测试结果表明,增加结面积能有效提升二极管结构的电压温度系数和灵敏度。 展开更多
关键词 电压温度系数(VTC) PN结二极管 红外焦平面阵列(IRFPA) 灵敏度 微电子机械系统(MEMS)
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