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醋酸对绒面AZO薄膜表面织构均匀性的影响研究
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作者 薛进奎 王海燕 +5 位作者 王新星 张家朝 穆慧慧 姚宁 李双阳 王星雨 《真空》 CAS 北大核心 2011年第2期33-36,共4页
以0.5%的稀盐酸中加入一定量醋酸后的溶液为腐蚀液,对利用直流磁控溅射方法制备的平面掺铝氧化锌(AZO)薄膜进行表面织构,并对加入醋酸后的AZO薄膜表面织构均匀性和反应机理进行研究。结果表明:在0.5%稀盐酸中所加醋酸量与盐酸体积比为0.... 以0.5%的稀盐酸中加入一定量醋酸后的溶液为腐蚀液,对利用直流磁控溅射方法制备的平面掺铝氧化锌(AZO)薄膜进行表面织构,并对加入醋酸后的AZO薄膜表面织构均匀性和反应机理进行研究。结果表明:在0.5%稀盐酸中所加醋酸量与盐酸体积比为0.5:1时,对平面AZO薄膜腐蚀45 s能获得更均匀"陨石坑"状绒面结构,且有较高绒度;腐蚀液中较水分子大得多的醋酸分子的空间位阻作用在一定程度上能减缓腐蚀速率,使得比加醋酸前获得的AZO薄膜绒面更均匀。 展开更多
关键词 直流磁控溅射 绒面AZO薄膜 表面织构 绒度 均匀性
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提拉法制备聚苯胺/碳纳米管复合薄膜及性能研究
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作者 王新星 王海燕 +4 位作者 陈瑞灿 王星雨 韩永刚 薛进奎 张家朝 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2011年第7期65-68,共4页
采用原位聚合法制备了聚苯胺/碳纳米管复合材料,用提拉法使分散于N,N-二甲基甲酰胺(DMF)中的复合材料在玻璃基底上成膜。通过SEM研究了薄膜的表面与截面形貌,其中复合管的直径为70~80nm,聚苯胺包覆层的厚度在30~40nm之间,薄膜厚度在1... 采用原位聚合法制备了聚苯胺/碳纳米管复合材料,用提拉法使分散于N,N-二甲基甲酰胺(DMF)中的复合材料在玻璃基底上成膜。通过SEM研究了薄膜的表面与截面形貌,其中复合管的直径为70~80nm,聚苯胺包覆层的厚度在30~40nm之间,薄膜厚度在1μm左右,复合材料分布比较均匀;经Raman光谱、UV-Vis吸收光谱分析表明聚苯胺与碳纳米管之间存在相互作用。使用繁用表和自制的接触装置对光照前后薄膜的电导率进行了测试,结果显示无光照时随着碳纳米管含量的增加复合薄膜的电导率从1.6×10-2s/cm增加到了120×10-2s/cm;光照前后的电导率测试表明,复合薄膜在光照条件下发生了光诱导电荷分离现象,光照使复合薄膜的电导率略有提高。 展开更多
关键词 碳纳米管 聚苯胺 复合薄膜 光诱导 电导率
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化学浴沉积法在氧化锌衬底上制备氧化锌微/纳米棒阵列 被引量:1
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作者 张家朝 王海燕 +4 位作者 韩永刚 王星雨 薛进奎 王新星 陈瑞灿 《陶瓷》 CAS 2011年第9期44-46,共3页
用磁控溅射在玻璃上制备一层氧化锌作为衬底,采用化学浴沉积法在衬底上制备出排列整齐的氧化锌微/纳米棒阵列,并用扫描电子显微镜对样品形貌进行了表征。分析了不同前驱液浓度、pH值对样品形貌的影响。分析发现:前驱物浓度越大,长出的... 用磁控溅射在玻璃上制备一层氧化锌作为衬底,采用化学浴沉积法在衬底上制备出排列整齐的氧化锌微/纳米棒阵列,并用扫描电子显微镜对样品形貌进行了表征。分析了不同前驱液浓度、pH值对样品形貌的影响。分析发现:前驱物浓度越大,长出的氧化锌微/纳米棒直径越大;溶液初始pH值对样品的形貌有很大影响;在合适的pH值环境下,氧化锌微/纳米棒生长速度明显快于其他样品,且对生长条件要求不高,非常适合用于氧化锌微/纳米棒大面积制备,笔者采用此方法制备出形貌均匀的,面积达15cm×15cm的氧化锌微/纳米棒。 展开更多
关键词 氧化锌 化学浴沉积 浓度 PH值
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不同铝掺杂量ZnO薄膜性能的研究
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作者 穆慧慧 王海燕 +3 位作者 赵会仙 姚宁 邢宏伟 薛进奎 《真空》 CAS 北大核心 2010年第1期39-42,共4页
以铝掺杂质量分数为1%、2%、3%的Zn/Al合金为靶材,采用直流反应磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了不同铝含量ZnO:Al(AZO)透明导电薄膜。研究了衬底温度对AZO薄膜电学性能的影响;同时,研究铝掺杂量不同、电阻率相同的AZO薄膜的载流子浓度... 以铝掺杂质量分数为1%、2%、3%的Zn/Al合金为靶材,采用直流反应磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了不同铝含量ZnO:Al(AZO)透明导电薄膜。研究了衬底温度对AZO薄膜电学性能的影响;同时,研究铝掺杂量不同、电阻率相同的AZO薄膜的载流子浓度与迁移率的关系。结果表明:随着Al掺杂量的增加,薄膜最佳性能(透过率90%,电阻率6×10-4Ω·cm左右)时的衬底温度值会降低;电阻率相同的样品,1%铝掺杂的薄膜迁移率和透光率均高于2%铝掺杂薄膜的。 展开更多
关键词 铝掺杂量 ZNO薄膜 载流子浓度 载流子迁移率 直流反应磁控溅射
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