超光滑表面轮廓的绝对测量

本文提出了一种测量超光滑表面轮廓的绝对测量方法。采用微分干涉显微镜直接测量表面轮廓的差分，从而无需使用标准参考反射镜，并能有效地抑制机械振动等环境干扰对测量结果的影响。在不采取隔振和恒温等环境控制措施的一般实验室场合下，就可达到优于０．１ｎｍ的垂直分辨率和０．１５ｎｍ的表面轮廓重复测量精度。