二元光学位相板修正干涉仪误差

本文提出了采用Ｚｅｒｎｉｋｅ多项式拟合干涉条纹的一种新的算法；详细讨论了采用二元光学位相板修正球面干涉仪误差的原理和方法，并根据计算出的球面干涉仪的误差制作了蚀刻二元光学位相板所需的掩模片。