电容式压力传感器的厚膜集成化研究

采用厚膜传感技术研制电容式感压元件 ,并通过厚膜混合集成技术将信号处理电路集成在感压元件上成为一体 ,进行电容式压力传感器的厚膜集成化研究。结果表明 :研制成的新型厚膜电容式集成压力传感器 ,线性达到 0 .5 % ,迟滞小于 0 .5 % ,具有重复性好、受分布电容、寄生电容影响小、精度高、抗过载、耐腐蚀等特点。对厚膜感压元件、信号处理电路的设计与平面化加工以及集成化等进行了介绍 ,并对集成化中相关工艺、兼容性及性能进行了讨论。

厚膜电容式集成压力传感器感压元件研究

采用厚膜技术研制新型电容式集成压力传感器用感压元件。具有抗干扰能力强 ,灵敏度高 ,受分布电容、寄生电容影响小 ,耐腐蚀 ,耐高温的特点。文中主要介绍其电容式感压元件的原理、设计 ,并对非线性等相关技术及工艺问题进行了探讨。

基子厚膜技术的电容式集成压力传感器的感压元件研究

采用厚膜技术研制新型电容式集成压力传感器用感压元件,具有抗干扰能力强,灵敏度高,受分布电容、寄生电容影响小,耐腐蚀,耐高温的特点。本文主要介绍其原理、感压元件设计,并对非线性等相关技术及工艺问题进行了探讨。