基于Ti_(3)C_(2)T_(x)薄膜的电容式超声换能器设计与测试

相比于传统的以硅、碳化硅为振膜的电容式超声换能器CMUT(capactive micro-machined ultrasonic transducer),Ti_(3)C_(2)T_(x)作为振膜对CMUT的性能有很好的提升。为研究此振膜的CMUT性能,设计了与传统换能器结构略有不同且谐振频率为28kHZ的CMUT,并进行了有限元仿真分析及实验。仿真结果表明,其在谐振频率下的接收灵敏度为-23.28 dB,对制作的实物进行实验测试,结果表明所设计换能器具有良好的发射与接收性能。