激光加工系统及其市场

激光加工是衡量一个国家工业生产效率及其发达程度的重要标志。在美、日、西欧发达国家已形成了激光加工产业,建成了激光加工业体系,每年都以一定速度增长。 据Arnold Mayer博士提供。

软X射线光刻研究现状和发展

新的一代光刻设备朝着两个方向发展 ,一是趋向于大数值孔径、短波长 ;另一方面国际上正在寻求适应二十一世纪、小于 0 .1 5微米线宽的软 X射线投影光刻技术 ,预计成为下世纪制造千兆位以上超大规模集成电路的主要设备。软 X射线光刻及其应用研究是目前国际上非常活跃的高技术领域。把软 X射线光刻列为重要发展项目。本文摘要综述德国、美国、日本、俄罗斯等国近年来在软 X射线光刻关键单元技术及整机研究和发展方面的概况、预计下世纪初美国和日本将有软

下一代光刻技术展望

介绍了下一代光刻技术的技术要点，国外研究概况和进展。重点讨论了极紫外（软Ｘ射线）光刻、电子束光刻和离子束光刻技术的进展，提出了我国开展下一代光刻技术研究的技术路线。

二十一世纪微电子光刻技术与设备的发展对策研究

微电子 ,集成电路的水平是国家地位和综合国力的重要标志。集成电路集成度的增长离不开生产和制作集成电路的光刻设备。本文重点介绍集成电路的制造技术的制作设备的最新发展状况 ,提出发展我国微电子光刻技术的建议。

美国研制的高能激光武器系统

综述了美国研制的机载、车载和舰载激光武器系统以及地基激光反卫星武器和未来的天基激光武器系统,并给出了武器的性能和有关的技术参数。

科技情报调研中的定题跟踪法

科技情报研究是对知识的整理、升华和再创造,并以新的知识形式对社会作贡献。中科院光电技术研究所的情报人员根据科技情报工作的广泛性、针对性、预测性、服务性和连续性的固有特性,在科技情报调研实践中创造了定题跟踪法,发挥了情报工作巨大的社会效益和经济效益。本文论述了科技情报调研中定题跟踪法的概念、做法、关系和效果。

科研院所情报工作的定题跟踪服务

介绍定题跟踪服务的选题原则,探讨定题跟踪服务的工作要求与方法,认为科研院所的定题跟踪服务有利于学科发展,有利于拓展研究视野,有利于开阔创新思路。提出通过加速科研进程、缩短研制周期和加快人才成长,达到科研情报"共赢"。分析信息内容的集成、服务手段的集成和个性化服务,认为此三方面是网络SDI服务未来的发展趋势。最后提出发展定题跟踪服务的若干想法。