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Si/SiO_(2)多层膜线宽关键参数精细化表征技术研究
1
作者
褚小要
沈瑶琼
+7 位作者
刘丽琴
邹文哲
管钰晴
郭创为
张玉杰
梁利杰
孔明
雷李华
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2024年第1期151-161,共11页
线边缘粗糙度(LER)和线宽粗糙度(LWR)是衡量线宽标准样片质量的重要指标。文中基于自溯源光栅标准物质的自溯源、高精密尺寸结构特性,提出了一种直接溯源型精确校准SEM放大倍率的方法,以实现SEM对线宽标准样片关键参数的测量与表征。利...
线边缘粗糙度(LER)和线宽粗糙度(LWR)是衡量线宽标准样片质量的重要指标。文中基于自溯源光栅标准物质的自溯源、高精密尺寸结构特性,提出了一种直接溯源型精确校准SEM放大倍率的方法,以实现SEM对线宽标准样片关键参数的测量与表征。利用校准后的SEM,对利用Si/SiO_(2)多层膜沉积技术制备的线宽名义值为500、200、100 nm样片进行关键参数的测量,采用幅值量化参数的均方根粗糙度RMS描述线边缘粗糙度与线宽粗糙度,并通过图像处理技术确定线边缘位置,对线宽边缘特性进行了精确表征。实验结果表明,名义值为500、200、100 nm对的线宽样片,其实测值分别为459.5、191.0、99.5 nm,σLER分别为2.70、2.35、2.30 nm,σLWR分别为3.90、3.30、2.80 nm,说明了多层膜线宽标准样片线边缘较为平整、线宽变化小、具有良好的均匀性与一致性。基于自溯源标准物质校准SEM的方法缩短了溯源链,提高了SEM的测量精度,实现了线宽及其边缘特性的精确表征,为高精度纳米尺度测量和微电子制造领域提供了计量支持。
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关键词
自溯源标准物质
SEM放大倍率
线边缘粗糙度
线宽粗糙度
多层膜线宽
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职称材料
自溯源光栅衍射效率的分析与研究
2
作者
梁利杰
刘丽琴
+7 位作者
管钰晴
孙佳媛
邹文哲
郭创为
张玉杰
褚小要
郭斌
雷李华
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2023年第11期291-299,共9页
基于矢量衍射理论并采用严格耦合波方法建立了一种新型的自溯源光栅正弦结构及入射条件与衍射效率的理论模型;通过控制变量法分析了自溯源光栅结构参数、激光入射条件对衍射效率的影响规律;搭建了光栅衍射效率测量系统;结合光栅方程,计...
基于矢量衍射理论并采用严格耦合波方法建立了一种新型的自溯源光栅正弦结构及入射条件与衍射效率的理论模型;通过控制变量法分析了自溯源光栅结构参数、激光入射条件对衍射效率的影响规律;搭建了光栅衍射效率测量系统;结合光栅方程,计算了不同Littrow角对应的衍射效率。仿真结果表明:入射波为TM偏振态、入射波长为420 nm、入射角为80°时,自溯源光栅-1级衍射效率处于峰值状态,为4.3%;在Littrow结构中,入射波为TM偏振态、入射波长为415.51 nm、Littrow角为77.5°时,自溯源光栅-1级衍射效率达到最大,且接近非Littrow角对应的自溯源光栅的峰值衍射效率。实验结果表明:入射波为TM偏振态、入射波长为405 nm、入射角从65°~85°改变时,自溯源光栅的衍射效率呈上升到平稳再下降的趋势,67°~80°改变时,其衍射效率达到平稳最大值,其结果为0.6%左右,其衍射效率变化趋势与理论计算结果一致。
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关键词
自溯源光栅
严格耦合波方法
衍射效率
Littrow角
测量
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职称材料
题名
Si/SiO_(2)多层膜线宽关键参数精细化表征技术研究
1
作者
褚小要
沈瑶琼
刘丽琴
邹文哲
管钰晴
郭创为
张玉杰
梁利杰
孔明
雷李华
机构
中国计量大学计量测试工程学院
上海市计量测试技术研究院
上海在线检测与控制技术重点实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2024年第1期151-161,共11页
基金
上海市优秀学术/技术带头人计划项目(21XD1425000)。
文摘
线边缘粗糙度(LER)和线宽粗糙度(LWR)是衡量线宽标准样片质量的重要指标。文中基于自溯源光栅标准物质的自溯源、高精密尺寸结构特性,提出了一种直接溯源型精确校准SEM放大倍率的方法,以实现SEM对线宽标准样片关键参数的测量与表征。利用校准后的SEM,对利用Si/SiO_(2)多层膜沉积技术制备的线宽名义值为500、200、100 nm样片进行关键参数的测量,采用幅值量化参数的均方根粗糙度RMS描述线边缘粗糙度与线宽粗糙度,并通过图像处理技术确定线边缘位置,对线宽边缘特性进行了精确表征。实验结果表明,名义值为500、200、100 nm对的线宽样片,其实测值分别为459.5、191.0、99.5 nm,σLER分别为2.70、2.35、2.30 nm,σLWR分别为3.90、3.30、2.80 nm,说明了多层膜线宽标准样片线边缘较为平整、线宽变化小、具有良好的均匀性与一致性。基于自溯源标准物质校准SEM的方法缩短了溯源链,提高了SEM的测量精度,实现了线宽及其边缘特性的精确表征,为高精度纳米尺度测量和微电子制造领域提供了计量支持。
关键词
自溯源标准物质
SEM放大倍率
线边缘粗糙度
线宽粗糙度
多层膜线宽
Keywords
self-traceable reference material
SEM magnification
line edge roughness
line width roughness
multilayer film line width
分类号
TN307 [电子电信—物理电子学]
TB921 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
自溯源光栅衍射效率的分析与研究
2
作者
梁利杰
刘丽琴
管钰晴
孙佳媛
邹文哲
郭创为
张玉杰
褚小要
郭斌
雷李华
机构
中国计量大学计量测试工程学院
上海市计量测试技术研究院
上海在线检测与控制技术重点实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2023年第11期291-299,共9页
基金
国家重点研发计划项目(2021YFF0603300)
上海市自然科学基金项目(21ZR1483100)
上海市在线检测与控制技术重点实验室基金项目(A04202223003)。
文摘
基于矢量衍射理论并采用严格耦合波方法建立了一种新型的自溯源光栅正弦结构及入射条件与衍射效率的理论模型;通过控制变量法分析了自溯源光栅结构参数、激光入射条件对衍射效率的影响规律;搭建了光栅衍射效率测量系统;结合光栅方程,计算了不同Littrow角对应的衍射效率。仿真结果表明:入射波为TM偏振态、入射波长为420 nm、入射角为80°时,自溯源光栅-1级衍射效率处于峰值状态,为4.3%;在Littrow结构中,入射波为TM偏振态、入射波长为415.51 nm、Littrow角为77.5°时,自溯源光栅-1级衍射效率达到最大,且接近非Littrow角对应的自溯源光栅的峰值衍射效率。实验结果表明:入射波为TM偏振态、入射波长为405 nm、入射角从65°~85°改变时,自溯源光栅的衍射效率呈上升到平稳再下降的趋势,67°~80°改变时,其衍射效率达到平稳最大值,其结果为0.6%左右,其衍射效率变化趋势与理论计算结果一致。
关键词
自溯源光栅
严格耦合波方法
衍射效率
Littrow角
测量
Keywords
s:elf-traceable grating
rigorous coupled-wave method
diffraction efficiency
Littrow angle
measurement
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Si/SiO_(2)多层膜线宽关键参数精细化表征技术研究
褚小要
沈瑶琼
刘丽琴
邹文哲
管钰晴
郭创为
张玉杰
梁利杰
孔明
雷李华
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2024
0
下载PDF
职称材料
2
自溯源光栅衍射效率的分析与研究
梁利杰
刘丽琴
管钰晴
孙佳媛
邹文哲
郭创为
张玉杰
褚小要
郭斌
雷李华
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2023
0
下载PDF
职称材料
已选择
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引证文献
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