使用AFM测量纳米尺度线宽的不确定度研究

针对NanoscopeIII型原子力显微镜,进行了纳米尺度线宽测量的不确定度分析。提出一个线宽测量的误差校正步骤,确定并分析了影响测量结果不确定度的4方面因素。根据实验和测量过程,分析和计算得到被测样品的线宽值、不确定度分量以及合成不确定度。

合肥城市生活垃圾量的关联分析与灰色预测研究

基于灰色系统理论,运用灰色关联度分析法定量分析了影响合肥城市生活垃圾产量的主要相关因素;建立了合肥城市生活垃圾年产量的预测GM(1,1)模型,并对合肥市未来五年的生活垃圾产量进行了预测。预测结果显示,"十一五"期间合肥城市生活垃圾产量的年平均增长率将达8.9%左右,而到2010年合肥生活垃圾产量更是将达到81.2万吨。研究表明,所建立的模型精度较高,预测值的验证性良好,运用灰色关联度分析和模型预测方法在城市生活垃圾研究中可以发挥良好的作用。

纳米尺度线宽的测量与Nano1国际关键比对

现代集成电路制造业、数据存储工业和微机电系统等行业的不断发展,对纳米尺度线宽的测量提出了越来越高的要求.目前的一些测量方法分别存在各自的缺点与不足,在缺少更高准确度计量标准的情况下,往往采用比对的方法使计量结果趋于一致.国际计量局在1998年把纳米尺度线宽计量确定为纳米尺度基本特征国际关键比对项目之一.文章对它的主要研究内容以及进展情况作了介绍.

纳米尺度表面形貌测量的双图像拼接法

与传统探针相比,使用碳纳米管探针能探测到更精细的样本表面形貌,为减小针尖形貌和尺寸造成的测量误差提供了一个良好途径。然而,在普通探针上黏贴碳纳米管时总是难以避免地出现一个倾斜角度,它使得对刻线样本进行测量时只能获得单侧较精确的边墙数据,而另外一侧失真较大。提出一种双图像拼接方法,样本在经过一次测量以后被旋转180°,然后重新测量,分别保留两次测量中较好的一侧边墙测量数据,并把它们拼接成一幅更接近真实样本的图像。采用基于ICP算法的图像配准技术匹配两次测量图像,消除两次测量的位置偏差, 并应用双线性插值和最小二乘拟合方法对配准后的图像进行处理,计算得到更准确的线宽和边墙角等单刻线样本的特征尺寸值。

基于最小二乘拟合的不同探针测量线宽的比较

AFM探针的形貌和尺寸对纳米尺度线宽的测量有较大影响.首先建立了一个基于最小二乘的应用于AFM测量技术的线宽计量模型,并使用三种不同探针在NanoScopeⅢa型AFM上对设计线宽尺寸为1000nm的样本进行了测量.应用该模型和算法对线宽进行计算,揭示出探针尺寸对线宽测量结果的影响以及该模型对探针尺寸的依赖性.

纳米尺度线宽测量技术的研究

纳米尺度线宽的测量在半导体集成电路制造业、数据存储工业以及微机电系统等领域广泛应用。随着制造技术的进步,线宽的临界尺寸也变得越来越小,目前已经缩小至100 nm左右。在这一尺度范围内,由于样本制造技术的限制和测量仪器的影响,很难得到精确的测量结果。针对目前纳米尺度线宽测量的研究状况,分析了这一领域的主要研究内容和面临的问题。

基于主成分分析的河流水环境质量评价研究

主成分分析是多元统计分析的一个分支,它能够在保证原始数据信息损失最小的情况下,以少数的综合变量取代原有的多维变量,简化数据结构,客观确定权重,是环境质量综合评价的一种简单易行的方法。基于主成分分析理论,建立了水质综合评价模型,以南淝河为例,选取南淝河五个监测断面的九项监测指标作为评价因子,对南淝河的水环境质量进行综合评价。结果表明,南淝河流域水环境质量总体较差,有机污染物是造成南淝河水质污染的主要原因。

基于计量学的线边缘粗糙度定义

对目前线边缘粗糙度(Line edge roughness,LER)的研究进行了分类,区分线宽变化率、线的边缘粗糙度和侧墙(边缘)粗糙度的物理本质。重新给出一个LER定义,定义LER是由加工工艺和材料本身结构引起的刻线侧墙的表面形貌微观不规则程度,并分析给出定义的合理性。给出该定义和ITRS定义间的换算关系。结合刻线的加工过程主要发生在刻线的边缘表面,且该加工过程发生于深纳米尺度,给出一种基于原子尺度的LER计量模型,在该模型中分离了材料本质粗糙度。

半导体工业中临界尺寸线边缘粗糙度的测量

详细论述了刻线边缘粗糙度问题的产生原因,线边缘粗糙度的定义以及目前采用的测量方法和分析方法,比较了线边缘粗糙度的测量工具,并讨论了测量线边缘粗糙度的技术障碍.

运动边界问题流场仿真技术的发展

在液压气动、航空航天等领域中,经常需要对可变几何区域内的流场进行仿真计算,即要处理运动边界流场仿真问题。这一问题是目前计算流体力学研究中的难点和热点,该文主要介绍了当前研究该问题的两个不同思路:网格法和无网格法,并对这两种方法的优缺点进行了比较。

安徽省生态环境质量评价

以安徽省为例,采用层次分析法构建生态环境质量评价指标体系,确定各指标的权重,利用环境质量综合指数模型对安徽省生态环境质量进行综合评价。结果表明,自开展生态省建设以来,安徽省生态环境质量有一定程度的提高。

基于AFM的纳米尺度线宽计量模型及其算法的研究

纳米尺度线宽的测量广泛应用于半导体制造、数据存储、微机电系统等领域。随着制造技术的进步,线宽的极限尺寸也变得越来越小,目前已经缩小至100 nm左右。在这一尺度范围内,由于样本制造技术的限制和测量仪器的影响,目前很难得到准确的测量结果。为了获得样本的真实几何尺寸信息,剔除测量方法和仪器本身对测量结果的影响,建立了一个基于AFM测量技术的线宽计量模型和相应算法。该模型将被测样本的截面轮廓用20个关键点分成5个部分共19段,用基于最小二乘的直线来拟合实际轮廓。应用该模型和算法可以分别得到单刻线轮廓拟合前后的顶部线宽b_T、b_(TF),中部线宽b_M、b_(MF),底部线宽b_B、b_(BF),左右边墙角A_L、A_R,以及高度h_。使用NanoScope Ⅲa型AFM对一个单晶硅(Si)线宽样本进行了测量,测量结果表明该模型和算法可以满足纳米尺度线宽计量的基本要求。

用于减小控制对测量影响的AFM新工作模式

原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)是纳米尺度线宽成像和测量的重要工具.但系统的非线性和控制器参数选择的多样性导致AFM控制的不确定性,影响了AFM测量结果的精确性和重复性.为克服这个缺点,分析了AFM的测量原理和工作模式的特点,在此基础上提出了一种新的工作模式——补偿模式.在这种工作模式中,结合了扫描器和悬臂梁的位置信息而得到被测试样表面的形貌图像.与恒力接触模式相比,在补偿模式下,AFM能够在高速度下以更好的精确性和重复性进行成像和测量.仿真和实验结果证明了这种新工作模式的可行性和适用性.实验结果说明该工作模式可以提高扫描速度16倍或减小均方根误差到约1/5.

基于平稳小波变换的纳米尺度线边缘粗糙度分析方法(英文)

为了解决微电子制造技术中纳米尺度半导体刻线边缘粗糙度(line edge roughness,LER)的测量问题,笔者提出了基于平稳小波变换的线边缘粗糙度分析方法.首先,使用原子力显微镜测量硅刻线形貌,通过图像处理与阈值方法提取出线边缘粗糙度特征.然后采用基于平稳小波变换的多尺度分析确定线边缘粗糙度特征的能量分布,给出了线边缘粗糙度的多尺度表征参数,包括特征长度和粗糙度指数.仿真出具有不同粗糙程度的线轮廓,计算出其粗糙度指数分别为0.72和6.05,表明该方法可以有效地反映出线边缘的不规则程度,并提供直观的LER空间频率信息.对一组硅刻线的测量数据进行处理,得到其特征长度和粗糙度指数分别为44.56nm和12.17.最后,采用该方法对使用3种不同探针和3组不同扫描间隔的测量数据分别进行分析,结果表明该方法可以有效地量化表征线边缘粗糙度.

腈纶叠丝装置的研究及系统设计

叠丝是成品腈纶丝包装的一道重要生产工序 ,它的质量直接影响长丝的打包质量或短丝的废品率。在现有设备的基础上 ,设计出一种新型叠丝机装置。介绍了该装置机械系统的设计思想 ,并分析了下落的腈纶丝与叠丝摆斗摆动的运动关系。根据这种关系且匹配各种运动速度设计了控制系统的软件及硬件。该系统具有机械结构简单、控制精确、低成本和高智能化等优点。

我国企业ERP实施的关键成功因素研究

时至今日国外企业ERP实施的成功率依然较低。国外学者对ERP实施的关键成功因素做出了深入研究。然而由于应用环境的差异,与国外企业相比,我国企业ERP实施的关键成功因素有所差别。企业实施关注的重点同样有所不同。为此,文章提出我国企业ERP实施的关键成功因素的体系架构,并从组织管理、业务应用、产品技术、人员团队、教育培训、项目管理、和文化冲突等多方面详细分析了ERP实施的重点及难点,为我国企业成功实施ERP提供了指南。

^(12)C^(6+)离子辐照人胃癌细胞系BGC823的氧效应研究

以体外培养的人类胃癌细胞系BGC823为材料,用兰州重离子加速器提供的能量为20MeV/u的12C6+离子,分别在富氧(95%O2+5%CO2)和自然条件下辐照细胞,测得这种离子的氧增比近似为1,说明在中等能量区12C6+离子有很低的氧效应。

基于AFM的刻线边缘粗糙度幅值与空间频率的表征方法

针对使用原子力显微镜测量纳米尺度半导体刻线边缘粗糙度的参数表征问题进行了研究．在对线边缘粗糙度的定义与现有测量方法进行分析的基础上，采用图像处理技术分析硅刻线的原子力显微镜测量图像的线边缘粗糙度特征，提出了线边缘粗糙度的幅值与空间频率的表征方法．其中幅值参数能够在一定意义上反映刻线边缘形貌的均匀性，而采用小波多分辨分析与功率谱密度函数（PSD）频谱分析相结合的空间频率表征方法，则有效地分析了侧墙轮廓边缘复杂的空间信息．实际测量结果表明，样本线边缘粗糙度的主要能量集中在低频区域，其主导空间频率为～0．04nm^-1，在低频部分约500nm特征波长上有最大的线边缘粗糙度分布．

基于表面形貌空间频率特征的AFM操作模式(英文)

恒力模式和恒高模式是原子力显微镜的两种主要操作模式.前一种模式通常用于成像在垂直方向变化大的表面,但仅对低空间频率表面有效.后一种模式仅对光滑表面在高分辨率高扫描速度下的成像有用.为克服这些缺点,提出了组合恒高和恒力的新操作模式.使用这个模式,表面形貌的低空间频率成分利用垂直压电扫描器及其控制信号跟踪并测量,高空间频率成分利用悬臂信号测量.然后,表面形貌图像利用组合低频和高频成分得到.仿真结果证明了这种新的操作模式具有高速和高分辨率的优点.

出入巢湖东湖河流水体环境单元模糊聚类分析

基于模糊数学基本原理,运用模糊聚类分析的方法研究了巢湖出入湖河流水体环境单元的分类问题,并对研究结果进行了初步的分析和讨论。研究结果表明,模糊聚类分析的方法可以客观、准确地反映水体环境单元污染程度的差异,是一种比较理想的聚类方法。