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一种新型深紫外正型光致抗蚀剂材料的研究 被引量:2
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作者 褚战星 程龙 +1 位作者 王文君 王力元 《感光科学与光化学》 EI CSCD 2006年第5期377-381,共5页
通过松香酸和丙烯酸的Diels-Alder反应得到了一种二酸———丙烯海松酸.丙烯海松酸有大的脂环结构和良好的成膜性,在固体膜层中,它可以和二乙烯基醚,如1,3-二乙烯氧基乙氧基苯,在加热条件下(80℃以上)发生反应,产物在稀碱水中难溶.这样... 通过松香酸和丙烯酸的Diels-Alder反应得到了一种二酸———丙烯海松酸.丙烯海松酸有大的脂环结构和良好的成膜性,在固体膜层中,它可以和二乙烯基醚,如1,3-二乙烯氧基乙氧基苯,在加热条件下(80℃以上)发生反应,产物在稀碱水中难溶.这样形成的产物在光产酸剂产生的强酸催化下,在温度高于100℃时,可以迅速分解,从而变成稀碱水易溶.因此,用此二酸、二乙烯基醚和产酸剂可组成一种正型的光致抗蚀剂,当用254 nm的低压汞灯曝光时,其感度在30 mJ/cm2以下. 展开更多
关键词 正型光致抗蚀剂 二乙烯基醚 丙烯海松酸 光产酸剂
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几种光产酸剂产酸效率的测定 被引量:1
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作者 褚战星 翟晓晓 +1 位作者 王力元 李敏 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期65-67,共3页
溴酚兰水溶液的紫外吸收会随着体系中含酸的量发生变化,在440 nm吸收峰处一定浓度范围内溴酚兰水溶液的吸光度与溶液中酸浓度成正比,可由此测定酸浓度.用这种方法测定了3种不同类型的光产酸剂在聚乙二醇膜层中在低压汞灯(254 nm)照射下... 溴酚兰水溶液的紫外吸收会随着体系中含酸的量发生变化,在440 nm吸收峰处一定浓度范围内溴酚兰水溶液的吸光度与溶液中酸浓度成正比,可由此测定酸浓度.用这种方法测定了3种不同类型的光产酸剂在聚乙二醇膜层中在低压汞灯(254 nm)照射下的产酸量.其中三嗪光产酸剂的光照产酸能力最强. 展开更多
关键词 光致抗蚀剂 光产酸剂 溴酚兰 指示剂
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水溶性光致抗蚀剂研究进展 被引量:2
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作者 翟晓晓 褚战星 王力元 《感光科学与光化学》 EI CSCD 2007年第1期69-79,共11页
本文按传统光化学反应型和化学增幅型两种类型对近10年水溶性光致抗蚀剂的发展状况做了分类总结,并重点介绍了成像反应原理和各体系的优缺点.
关键词 水溶性光致抗蚀剂 化学增幅 正型 负型
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