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用溶胶-凝胶法制备SiO_2薄膜 被引量：7
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作者 张志波 王立久 +1 位作者 角田范义 上野晃史 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1993年第1期125-128,共4页
利用溶胶-凝胶法研制了 SiO_2 薄膜.研究了溶液中组成,即 H_2O/Si(OC_2H_5)_4摩尔比对薄膜形成的影响.在溶液中添加了干燥控制化学剂,研究了添加剂对成膜性的影响.结果表明,利用H_2O/Si(OC_2H_5)_4的摩尔比>15,并且添加适量的添加剂... 利用溶胶-凝胶法研制了 SiO_2 薄膜.研究了溶液中组成,即 H_2O/Si(OC_2H_5)_4摩尔比对薄膜形成的影响.在溶液中添加了干燥控制化学剂,研究了添加剂对成膜性的影响.结果表明,利用H_2O/Si(OC_2H_5)_4的摩尔比>15,并且添加适量的添加剂的溶液,能够制得结构均匀而不开裂的 SiO_2薄膜.用扫描电镜观察了薄膜的微观结构,并测定了薄膜的厚度. 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 薄膜 二氧化硅
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