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表面等离子共振法测量纳米级金属薄膜厚度数值分析(英文) 被引量:2
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作者 刘庆纲 解娴 +1 位作者 秦自瑞 郎垚璞 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2018年第1期16-22,共7页
针对纳米级金属薄膜厚度测量的需求,建立了基于表面等离子共振(SPR)法膜厚测量的数学模型,并以K9棱镜-金膜-空气组成的Kretschmann结构为耦合装置,对SPR方法的光强、相位、波长、角度4种调制模式进行数值分析,介绍了这4种调制模式的原理... 针对纳米级金属薄膜厚度测量的需求,建立了基于表面等离子共振(SPR)法膜厚测量的数学模型,并以K9棱镜-金膜-空气组成的Kretschmann结构为耦合装置,对SPR方法的光强、相位、波长、角度4种调制模式进行数值分析,介绍了这4种调制模式的原理,并对其传感器的测量范围、灵敏度等参数进行了分析.结果表明:光强型SPR装置的测量范围最大,相位型SPR装置的灵敏度最高.在实际金属薄膜厚度测量的应用中,除了传感器的测量范围和灵敏度外,还需考虑其后续处理装置、算法的复杂性及性价比,结合诸多因素选择合适的SPR传感器. 展开更多
关键词 SPR效应 金属薄膜 厚度 测量模型 数值分析
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基于泰伯-莫尔效应的滚转角测量方法及其图像处理 被引量:6
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作者 于雪 刘庆纲 +2 位作者 刘超 解娴 郎垚璞 《纳米技术与精密工程》 CSCD 北大核心 2017年第3期217-221,共5页
针对同一物体首尾或不同位置的滚转角测量,提出了一种基于泰伯-莫尔效应的测量方法,其主要原理是利用Ronchi光栅形成的泰伯像与第2块Ronchi光栅形成莫尔条纹,两个光栅的夹角即为滚转角,泰伯-莫尔条纹的宽度和倾角会随滚转角的变化而变化... 针对同一物体首尾或不同位置的滚转角测量,提出了一种基于泰伯-莫尔效应的测量方法,其主要原理是利用Ronchi光栅形成的泰伯像与第2块Ronchi光栅形成莫尔条纹,两个光栅的夹角即为滚转角,泰伯-莫尔条纹的宽度和倾角会随滚转角的变化而变化,通过对泰伯-莫尔条纹宽度和倾角的计算可获得光栅副滚转角的大小.基于以上方法,建立了一种滚转角测量系统,并对条纹图像进行处理与分析.理论分析和实验结果表明该方法可以实现±5 400 arcsec范围内滚转角的测量,并且最小分辨力为0.78 arcsec. 展开更多
关键词 角度测量 滚转角 泰伯效应 莫尔条纹 图像处理 光栅
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一种无人侦察车设计 被引量:1
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作者 刘乙霏 解娴 +1 位作者 贺艳花 吴迪 《科技传播》 2013年第13期223-224,共2页
在无人车开发的基础上,设计一种无人侦察车。侦察车设计采用单片机为控制核心,采用全方位摄像头,通过WIFI网络,使用上位机控制平台完成信息的实时获取及侦察车全自主运行的功能。本设计响应速度快,结构简单,具有系统性,并可对其进行功... 在无人车开发的基础上,设计一种无人侦察车。侦察车设计采用单片机为控制核心,采用全方位摄像头,通过WIFI网络,使用上位机控制平台完成信息的实时获取及侦察车全自主运行的功能。本设计响应速度快,结构简单,具有系统性,并可对其进行功能扩展,具有较强的实用性。 展开更多
关键词 全方位摄像头 WIFI网络 侦察小车 STC89C52单片机
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