基于Fuzzy-PID的MOCVD温度控制方法

针对MOCVD系统反应室温度的特性和对温度控制的要求,提出了一种基于Fuzzy-PID的温度控制方案,即利用模糊控制求得归一化的PID参数变化系数,从而实现PID参数的在线自调整.与Smith预估控制相比,Fuzzy-PID具有更好的控制效果,较好地解决了系统中存在的“非线性”、“大滞后”、“物理模型不精确”等问题,满足MOCVD控制系统温度控制要求.

基于分层模糊决策的航天电子产品模块寻优评价方法

针对航天电子产品模块多方案选择,提出了基于分层模糊决策的方案量化寻优评价方法;建立了分层寻优评价模型,并提出了技术指标、产品化指标和经济指标等多维度寻优评价指标、确定了各指标的寻优方向;针对航天产品评价指标不易量化的特点,采用量化计算和专家评价方式统计数据;结合航天产品关注重点分配评价指标不同权重,突出经济性、通用性等指标;应用该方法对工程中功能模块多方案量化寻优评价的结果与实际工程选择一致,该评价方法应用简单、结果清晰,符合认识、理解的过程,是一种有效的快速评价方法。

PLC的一种循环控制策略

针对MOCVD系统中,不同配方的生长工艺要求不同循环位置及次数的特点,移位控制步序与网络判断相结合的PLC循环控制策略,具有灵活、准确、可靠等特点,较好地满足了工艺的要求。