国际半导体技术发展路线图(ITRS)2012版综述(4)

3．15提高成品率 根据2011年版路线图重新划定的章节范围，“提高成品率”一章目前包括“晶圆环境与污染控制”（WECC）和“鉴定、检测和分析”（CIA）两个子章节。因此，提高成品率的活动都集中在这两个方面。