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Si(001)衬底上闪锌矿ZnO的制备与分析 被引量:4
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作者 詹华瀚 黄斌旺 +3 位作者 吴雅苹 陈晓航 李书平 康俊勇 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期209-213,共5页
采用分子束外延方法在室温下于Si(001)表面上生长ZnO材料。实验发现:样品为闪锌矿和六角结构的ZnO混合多晶薄膜,其表面分布着一系列具一定取向的近似长方形的纳米台柱结构。在不同参数的高温退火后,这些梯形台柱将变小,形成梯形纳米环,... 采用分子束外延方法在室温下于Si(001)表面上生长ZnO材料。实验发现:样品为闪锌矿和六角结构的ZnO混合多晶薄膜,其表面分布着一系列具一定取向的近似长方形的纳米台柱结构。在不同参数的高温退火后,这些梯形台柱将变小,形成梯形纳米环,或分解为较小的纳米柱及其团簇结构等。分析表明:ZnO混合多晶薄膜的形成,以及表面纳米台柱的演变,与Si(001)衬底、较低温的生长温度及热效应等因素相关联。 展开更多
关键词 闪锌矿结构 氧化锌 分子束外延生长 硅(001)
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Laplace缺陷谱方法研究 被引量:1
2
作者 詹华瀚 康俊勇 黄启圣 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第7期492-496,共5页
本文讨论了研究半导体缺陷深能级瞬态谱中遇到的多指数分解问题,并使用共轭梯度计算法对瞬态谱进行数值Laplace逆变换处理来实现多指数瞬态的分解.结果表明,此方法具有较高的分辨率,而且存储和计算量较小,适用于进行常规的深能级... 本文讨论了研究半导体缺陷深能级瞬态谱中遇到的多指数分解问题,并使用共轭梯度计算法对瞬态谱进行数值Laplace逆变换处理来实现多指数瞬态的分解.结果表明,此方法具有较高的分辨率,而且存储和计算量较小,适用于进行常规的深能级瞬态精细结构测量. 展开更多
关键词 半导体缺陷 深能级 瞬态谱
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用共轭梯度法分解多指数瞬态
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作者 詹华瀚 康俊勇 黄启圣 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1997年第1期42-46,共5页
采用共轭梯度法处理半导体深能级研究中遇到的多指数瞬态分解问题,数值计算表明这种方法具有较高的分辨率,可应用于多指数函数分解和电子发射过程的精细结构研究.
关键词 多指数瞬态 共轭梯度法 半导体 杂质 缺陷
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半导体光电结构材料及其应用 被引量:1
4
作者 李书平 李成 +9 位作者 陈松岩 方志来 张保平 吴正云 吴志明 詹华瀚 陈朝 余金中 王启明 康俊勇 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期203-209,共7页
半导体光电结构材料广泛应用于信息、照明、交通、能源、医疗、军事等领域.介绍了厦门大学近年来在半导体光电结构材料研究的进展,着重介绍高Al组分AlGaN、高In组分InGaN、GaN基半导体、Si基半导体、ZnO基半导体等结构材料研发中所取得... 半导体光电结构材料广泛应用于信息、照明、交通、能源、医疗、军事等领域.介绍了厦门大学近年来在半导体光电结构材料研究的进展,着重介绍高Al组分AlGaN、高In组分InGaN、GaN基半导体、Si基半导体、ZnO基半导体等结构材料研发中所取得的进展及其在大功率LED、紫外LED、激光器、探测器、太阳能电池等光电器件中的应用. 展开更多
关键词 GAN SI LED 探测器 太阳能电池
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Ⅱ-Ⅵ比对分子束外延生长的ZnO/ZnMgO超晶格的相结构调控 被引量:1
5
作者 王浩 詹华瀚 +3 位作者 陈晓航 周颖慧 王惠琼 康俊勇 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期526-530,共5页
在Zn1-xMgxO中,x=0.4 ~0.6仍为一个岩盐矿和纤锌矿共存的结构,影响了其晶格质量.本文利用等离子体辅助的分子束外延设备在c面蓝宝石衬底上外延生长了ZnO/ZnMgO超晶格,并改变其生长过程中的Ⅱ-Ⅵ比,利用原子力显微镜、X射线衍射、透射谱... 在Zn1-xMgxO中,x=0.4 ~0.6仍为一个岩盐矿和纤锌矿共存的结构,影响了其晶格质量.本文利用等离子体辅助的分子束外延设备在c面蓝宝石衬底上外延生长了ZnO/ZnMgO超晶格,并改变其生长过程中的Ⅱ-Ⅵ比,利用原子力显微镜、X射线衍射、透射谱和X射线光电子能谱对样品进行了表征分析.发现在较低氧分压下制备的样品结构以岩盐矿为主导,而在较高氧分压下两相共存并以纤锌矿为主.这种相分离现象与裂解氧原子的密度有关. 展开更多
关键词 MGZNO ZNO 超晶格 Ⅱ-Ⅵ比 相分离
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ZnO(0001)Zn极性面上不同单体生长动力学特性
6
作者 江保锋 张纯淼 +4 位作者 陈晓航 詹华瀚 周颖慧 王惠琼 康俊勇 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期666-670,共5页
通过第一性原理和密度泛函方法,计算了在富锌和富氧条件下形成的Zn原子、ZnO分子、Zn3O1和Zn1O3团簇等不同单体在ZnO(0001)Zn极性面上典型的纤锌矿和闪锌矿结构沉积位的系统总能及其扩散势垒和相互作用能.结果表明,Zn1O3和Zn3O1团簇以... 通过第一性原理和密度泛函方法,计算了在富锌和富氧条件下形成的Zn原子、ZnO分子、Zn3O1和Zn1O3团簇等不同单体在ZnO(0001)Zn极性面上典型的纤锌矿和闪锌矿结构沉积位的系统总能及其扩散势垒和相互作用能.结果表明,Zn1O3和Zn3O1团簇以及Zn原子单体易于获得纤锌矿结构的ZnO,而ZnO分子的稳定性较弱且易于沉积于闪锌矿位;富锌条件形成的Zn3O1团簇单体或Zn原子单体,有利于在较低温度下获得均匀结构的晶体;Zn3O1团簇单体则会形成具有一定孔洞的单一相晶体,而Zn1O3单体易形成致密的晶体;以Zn原子、Zn3O1和Zn1O3团簇为单体的沉积更易于聚集,而ZnO分子则不利于成核. 展开更多
关键词 第一性原理 ZNO 沉积单体 生长动力学
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ZnO薄膜的椭圆偏振光谱研究
7
作者 张斌恩 李书平 +4 位作者 黄斌旺 姜伟 詹华瀚 李孔翌 康俊勇 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期971-974,共4页
采用椭圆偏振光谱法,在1.50~4.50eV光谱范围内,研究了在蓝宝石衬底上使用分子束外延方法制备的纤锌矿结构ZnO薄膜的光学性质.对椭圆偏振光谱拟合结果表明,坦吉扩展(Tanguy extend)色散公式能更准确、方便地描述ZnO薄膜带边附近的折射... 采用椭圆偏振光谱法,在1.50~4.50eV光谱范围内,研究了在蓝宝石衬底上使用分子束外延方法制备的纤锌矿结构ZnO薄膜的光学性质.对椭圆偏振光谱拟合结果表明,坦吉扩展(Tanguy extend)色散公式能更准确、方便地描述ZnO薄膜带边附近的折射率和消光系数的色散关系.提供了ZnO薄膜在1.50~4.50eV光谱范围内的寻常光(o光)和非常光(e光)折射率和消光系数色散关系,为定量分析ZnO薄膜带边附近各向异性的光学性质提供了依据. 展开更多
关键词 椭圆偏振光谱 ZNO薄膜 光学常数 色散模型
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用Laplace谱研究缺陷深能级精细结构
8
作者 余辛 詹华瀚 +1 位作者 康俊勇 黄启圣 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期362-364,共3页
用Laplace缺陷谱仪 (LDS)实验研究了GaAsP中Fe深受主上空穴发射和AlGaAs中SnDX中心上电子发射引起的非指数瞬态 ,发现它们起因于混晶无序效应。与DLTS的单一谱峰比较 ,LDS谱呈现出多峰结构。由深能级上空穴与电子热发射率随温度关系的... 用Laplace缺陷谱仪 (LDS)实验研究了GaAsP中Fe深受主上空穴发射和AlGaAs中SnDX中心上电子发射引起的非指数瞬态 ,发现它们起因于混晶无序效应。与DLTS的单一谱峰比较 ,LDS谱呈现出多峰结构。由深能级上空穴与电子热发射率随温度关系的直线拟合 ,得到多峰结构各峰谱的激活能 ,认为它们反映杂质深中心与其近邻原子的不同结构。研究表明 ,LDS适用于深能级精细结构的研究。 展开更多
关键词 杂质缺陷 深能级 LAPLACE谱
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ZnO/MgO(011)的异质外延与特性
9
作者 耿伟 王惠琼 +6 位作者 周华 杜达敏 杨闻操 陈嘉琪 陈晓航 詹华瀚 康俊勇 《现代物理》 2013年第3期79-83,共5页
本文着重研究ZnO薄膜在MgO(011)衬底上的生长行为。利用分子束外延法(MBE)在MgO(110)衬底上生长ZnO薄膜,通过原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)表征了其表面形貌,利用X射线光电子能谱学(XPS)对薄膜的组分进行深度分层剥析,并采用... 本文着重研究ZnO薄膜在MgO(011)衬底上的生长行为。利用分子束外延法(MBE)在MgO(110)衬底上生长ZnO薄膜,通过原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)表征了其表面形貌,利用X射线光电子能谱学(XPS)对薄膜的组分进行深度分层剥析,并采用透射谱(XL)研究了其光学性质。结果显示,薄膜以三维模式生长,而且薄膜表面平整度受到衬底温度的影响;而所生长的薄膜均显示了ZnO透射谱的特征峰,特征峰的位置几乎不受衬底温度的影响。不同生长时间段的薄膜结构的演变过程也通过原位的反射高能电子衍射(RHEED)和原子力显微镜进行了考察。XPS分层组分分析发现,在ZnO薄膜生长过程中,Zn离子会扩散到MgO(110)衬底之中。 展开更多
关键词 氧化镁 氧化锌 AFM SEM XPS
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用分子束外延法生长的立方相ZnxMg1-xO薄膜的性质研究
10
作者 王小丹 周华 +6 位作者 耿伟 康煜堃 陈晓航 王惠琼 周颖慧 詹华瀚 康俊勇 《材料科学》 2015年第3期79-84,共6页
通过分子束外延(MBE)的技术, 在富镁条件下于立方结构的MgO(100)衬底上外延生长立方相的ZnxMg1?xO薄膜。用反射高能电子衍射(RHEED)和X射线衍射(XRD)的方法研究了薄膜的晶体结构,结果表明,薄膜结构为四方相。用硬X射线吸收谱(XAS)的方... 通过分子束外延(MBE)的技术, 在富镁条件下于立方结构的MgO(100)衬底上外延生长立方相的ZnxMg1?xO薄膜。用反射高能电子衍射(RHEED)和X射线衍射(XRD)的方法研究了薄膜的晶体结构,结果表明,薄膜结构为四方相。用硬X射线吸收谱(XAS)的方法研究薄膜的电子结构,用透射谱的方法研究了薄膜的带隙结构;研究表明,ZnxMg1?xO薄膜中x的值约为0.58。 展开更多
关键词 ZnxMg1-xO薄膜 MgO衬底 立方结构
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Fine Structure in the Electron Emission Process for Two DX-Like Centers in Sn-Doped AlGaAs
11
作者 詹华瀚 康俊勇 黄启圣 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 1998年第1期60-61,共2页
Fine structure in the electron emission process for DX(Sn)centers in AlGaAs has been studied with high resolution Laplace defect spectroscopy.The influence of the different local configuration of Al and Ga atoms aroun... Fine structure in the electron emission process for DX(Sn)centers in AlGaAs has been studied with high resolution Laplace defect spectroscopy.The influence of the different local configuration of Al and Ga atoms around the centers on the electron thermal emissions was observed.An experimental evidence for the microscopic structure of two DX-like centers in Sn-doped AlGaAs is provided. 展开更多
关键词 ALGAAS CENTERS DX
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Influence of nitrogen and magnesium doping on the properties of ZnO films 被引量:1
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作者 李东华 王惠琼 +10 位作者 周华 李亚平 黄政 郑金成 王嘉鸥 钱海杰 奎热西 陈晓航 詹华瀚 周颖慧 康俊勇 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第7期331-335,共5页
Undoped ZnO and doped ZnO films were deposited on the MgO(111) substrates using oxygen plasma-assisted molecular beam expitaxy. The orientations of the grown ZnO thin film were investigated by in situ reflection hig... Undoped ZnO and doped ZnO films were deposited on the MgO(111) substrates using oxygen plasma-assisted molecular beam expitaxy. The orientations of the grown ZnO thin film were investigated by in situ reflection high-energy electron diffraction and ex situ x-ray diffraction(XRD). The film roughness was measured by atomic force microscopy, which was correlated with the grain sizes determined by XRD. Synchrotron-based x-ray absorption spectroscopy was performed to study the doping effect on the electronic properties of the ZnO films, compared with density functional theory calculations.It is found that, nitrogen doping would hinder the growth of thin film, and generate the NOdefect, while magnesium doping promotes the quality of nitrogen-doped ZnO films, inhibiting(N_2)Oproduction and increasing nitrogen content. 展开更多
关键词 ZnO nitrogen magnesium x-ray absorption spectra
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Hg_(1-x)Cd_xTe近红外光伏探测器的深能级
13
作者 康俊勇 黄启圣 +1 位作者 詹华瀚 余辛 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1996年第3期360-363,共4页
用深能级瞬态谱及光电容谱方法,研究了1.55μm近红外波段的Hg1-xCdxTe光伏探测器的深能级缺陷.结果表明,探测器中存在位于禁带中央附近的两个施主深能级.它们可能来源于HgCdTe材料中的本征缺陷,例如Hg间隙... 用深能级瞬态谱及光电容谱方法,研究了1.55μm近红外波段的Hg1-xCdxTe光伏探测器的深能级缺陷.结果表明,探测器中存在位于禁带中央附近的两个施主深能级.它们可能来源于HgCdTe材料中的本征缺陷,例如Hg间隙缺陷Hg1及Te反位缺陷TeHg. 展开更多
关键词 深能级 半导体 红外探测器
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Cubic ZnO films obtained at low pressure by molecular beam epitaxy
14
作者 王小丹 周华 +5 位作者 王惠琼 任飞 陈晓航 詹华瀚 周颖慧 康俊勇 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第9期454-458,共5页
A zinc oxide thin film in cubic crystalline phase, which is usually prepared under high pressure, has been grown on the Mg O(001) substrate by a three-step growth using plasma-assisted molecular beam epitaxy. The cu... A zinc oxide thin film in cubic crystalline phase, which is usually prepared under high pressure, has been grown on the Mg O(001) substrate by a three-step growth using plasma-assisted molecular beam epitaxy. The cubic structure is confirmed by in-situ reflection high energy electron diffraction measurements and simulations. The x-ray photoelectron spectroscopy reveals that the outer-layer surface of the film(less than 5 nm thick) is of ZnO phase while the buffer layer above the substrate is of ZnMgO phase, which is further confirmed by the band edge transmissions at the wavelengths of about 390 nm and 280 nm, respectively. The x-ray diffraction exhibits no peaks related to wurtzite ZnO phase in the film. The cubic ZnO film is presumably considered to be of the rock-salt phase. This work suggests that the metastable cubic ZnO films, which are of applicational interest for p-type doping, can be epitaxially grown on the rock-salt substrates without the usually needed high pressure conditions. 展开更多
关键词 ZnO film rock-salt structure molecular beam epitaxy reflection high energy electron diffraction
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