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脯氨酰-4-羟化酶1及CD44在卵巢高级别浆液性癌中的表达及意义
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作者 于海云 支文雪 +4 位作者 王志强 何春燕 詹阳 韩一丁 金玉兰 《中国医刊》 CAS 2024年第5期560-563,共4页
目的 检测脯氨酰-4-羟化酶1(P4HA1)和CD44在卵巢高级别浆液性癌中的表达情况并分析其与卵巢高级别浆液性癌临床病理特征的关系。方法 本研究为回顾性分析。选取2020年6月至2022年6月首都医科大学附属北京妇产医院收治的经病理学检查诊... 目的 检测脯氨酰-4-羟化酶1(P4HA1)和CD44在卵巢高级别浆液性癌中的表达情况并分析其与卵巢高级别浆液性癌临床病理特征的关系。方法 本研究为回顾性分析。选取2020年6月至2022年6月首都医科大学附属北京妇产医院收治的经病理学检查诊断为卵巢高级别浆液性癌的34例患者作为观察组,另选择同期医院诊断为卵巢良性浆液性肿瘤(卵巢浆液性囊腺瘤)的20例患者作为对照组。采用免疫组织化学法检测两组肿瘤组织中P4HA1及CD44的表达情况,分析其与卵巢高级别浆液性癌临床病理特征的关系,并分析P4HA1与CD44的表达有无相关性。结果 观察组患者年龄、肿瘤直径、P4HA1阳性率及CD44阳性率均高于对照组,差异有统计学意义(P<0.05)。与P4HA1表达阴性的卵巢高级别浆液性癌患者相比,P4HA1表达阳性的卵巢高级别浆液性癌患者中腹腔冲洗液/腹水细胞学检查阳性比例更高,差异有统计学意义(P<0.05)。与CD44表达阴性的卵巢高级别浆液性癌患者相比,CD44表达阳性的卵巢高级别浆液性癌患者中网膜/腹膜、腹腔冲洗液/腹水细胞学检查阳性比例更高,差异有统计学意义(P<0.05)。Pearson相关系数分析显示,在卵巢高级别浆液性癌中,P4HA1与CD44的表达呈正相关(r=0.539,P<0.001)。结论 P4HA1及CD44在卵巢高级别浆液性癌肿瘤组织内呈高表达,且与网膜/腹膜、腹腔冲洗液/腹水细胞学检查阳性有关。 展开更多
关键词 卵巢高级别浆液性癌 肿瘤干细胞 脯氨酰-4-羟化酶 病理学检查
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不同稳态工况对同步调相机单相短路后暂态温升的影响
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作者 许国瑞 胡沛东 +2 位作者 李志强 詹阳 赵海森 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第4期1587-1596,I0028,共11页
同步调相机可在系统故障时为特高压直流换流站提供暂态无功支持,以保持系统电压稳定,防止直流换相失败,但调相机的高无功输出也会导致其温升增加,运行能力受限。系统故障前同步调相机的初始工况是影响其暂态温升和运行能力的一个重要因... 同步调相机可在系统故障时为特高压直流换流站提供暂态无功支持,以保持系统电压稳定,防止直流换相失败,但调相机的高无功输出也会导致其温升增加,运行能力受限。系统故障前同步调相机的初始工况是影响其暂态温升和运行能力的一个重要因素,为研究系统低电压时调相机暂态温升与初始工况之间的关系,该文将调相机的电磁场、温度场与电网模型耦合,计算调相机不同稳态工况下的定转子损耗和温度分布;以线路单相短路故障引起的系统低电压为例,研究调相机初始工况对暂态温升的影响。在考虑各结构件最大容许温度的条件下,揭示调相机单相短路持续时间随初始工况的变化规律。研究结果为提升调相机在系统低电压下的暂态运行能力提供技术支持。 展开更多
关键词 同步调相机 稳态运行 单相短路故障 损耗计算 温度场
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腹膜细胞学阳性在高级别子宫内膜样癌中的预后价值
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作者 支文雪 田澄 +4 位作者 詹阳 何春燕 王志强 于海云 金玉兰 《中国医刊》 CAS 2023年第6期684-688,共5页
目的 探讨腹膜细胞学阳性与高级别子宫内膜样癌各临床病理参数的关系及其预后价值。方法 选取2010年1月至2020年12月在首都医科大学附属北京妇产医院诊断为高级别子宫内膜样癌、接受分期手术并进行腹膜细胞学检查的患者131例,收集其临... 目的 探讨腹膜细胞学阳性与高级别子宫内膜样癌各临床病理参数的关系及其预后价值。方法 选取2010年1月至2020年12月在首都医科大学附属北京妇产医院诊断为高级别子宫内膜样癌、接受分期手术并进行腹膜细胞学检查的患者131例,收集其临床病理资料并进行随访分析。结果 131例高级别子宫内膜样癌患者中25例(19.1%)腹膜细胞学检查阳性。腹膜细胞学阳性与国际妇产科联盟(International Federation of Gynecology and Obstetrics,FIGO)分期、风险分层、宫颈间质浸润、肌层浸润深度、附件受累、淋巴结转移及孕激素受体表达有关(P<0.05),而与年龄、脉管癌栓、雌激素受体(estrogen receptor,ER)表达、p53表达及错配修复蛋白(mismatch repair,MMR)表达无关(P>0.05)。单因素生存分析显示FIGO分期、风险分层、宫颈间质浸润、肌层浸润、脉管癌栓、附件受累、淋巴结转移与总生存期及无进展生存期均显著相关(P<0.05),腹膜细胞学阳性患者的无进展生存期低于阴性患者(P=0.043),但总生存期二者差异无显著性(P=0.052)。多因素生存分析显示,FIGOⅢ期及Ⅳ期[HR(95%CI)分别为2.649(0.273~25.695)、2.919(1.903~4.480),P=0.000]、疾病进展[HR(95%CI):67.003(14.786~303.630),P=0.000]、p53表达[HR(95%CI):0.034(0.134~0.878),P=0.026]以及ER表达[HR(95%CI):3.068(1.222~7.700),P=0.017]为影响患者总生存期的独立危险因素;高危组及进展转移组[HR(95%CI)分别为2.134(0.890~4.734)、2.969(1.720~5.124),P=0.000]、脉管癌栓[HR(95%CI):3.853(1.128~13.164),P=0.031]、p53表达[HR(95%CI):0.297(0.134~0.878),P=0.011]为影响患者无进展生存期的独立危险因素。结论 尽管腹膜细胞学阳性并非影响高级别子宫内膜样癌患者预后的独立危险因素,但腹膜细胞学阳性患者仍显示出更短的无进展生存期,且与侵袭性因素相关,因此需关注高级别子宫内膜样癌患者的腹膜细胞学检查结果。 展开更多
关键词 腹膜细胞学阳性 高级别子宫内膜样癌 预后
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交流电机转子导条间横向漏电流研究综述与展望 被引量:6
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作者 詹阳 孔伉伉 +2 位作者 许国瑞 赵海森 刘晓芳 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第7期2132-2143,共12页
斜槽鼠笼式异步电机和凸极同步电机的转子导条之间由于没有足够的绝缘处理存在经过铁心的横向漏电流,而且它使导条和铁心中的电流沿轴向发生变化,从而影响到损耗、转矩、轴向振动、温升等一系列电磁和机械行为。从产生机理、横向接触电... 斜槽鼠笼式异步电机和凸极同步电机的转子导条之间由于没有足够的绝缘处理存在经过铁心的横向漏电流,而且它使导条和铁心中的电流沿轴向发生变化,从而影响到损耗、转矩、轴向振动、温升等一系列电磁和机械行为。从产生机理、横向接触电阻及其测量方法、电磁分析模型及算法、对电机性能的影响等方面总结了鼠笼式异步电机横向漏电流的研究成果。介绍凸极同步电机中横向漏电流的形成原因和相关的一些案例。在此基础上,建议对横向漏电流相关的转子温升、阻尼绕组电磁行为和设计改进展开深入的研究。 展开更多
关键词 鼠笼式异步电机 凸极同步电机 导条间横向漏电流 杂散损耗 转矩 温升 可靠性
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胎盘间叶发育不良5例临床病理分析 被引量:6
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作者 詹阳 郑兴征 +2 位作者 阴赪宏 谷玉春 朱力 《临床与实验病理学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2018年第1期55-59,共5页
目的探讨胎盘间叶发育不良(placental mesenchymal dysplasia,PMD)的临床病理学特征、诊断、鉴别诊断及预后。方法对5例PMD的临床、病理进行回顾性分析,并复习相关文献。结果 5例患者因自觉胎动消失或妊娠期常规超声检查时发现异常而就... 目的探讨胎盘间叶发育不良(placental mesenchymal dysplasia,PMD)的临床病理学特征、诊断、鉴别诊断及预后。方法对5例PMD的临床、病理进行回顾性分析,并复习相关文献。结果 5例患者因自觉胎动消失或妊娠期常规超声检查时发现异常而就诊,可见患者胎盘增大,不同范围水肿、呈葡萄状。组织学表现为胎盘绒毛间质不同程度水肿,伴异常的厚壁小血管;绒毛膜板血管扩张并充血,部分绒毛间质成纤维细胞过度增生,无滋养细胞增生。免疫组化标记p57呈阳性,Ki-67增殖指数低。PMD需与葡萄胎进行鉴别诊断。2例伴有胎死宫内。结论 PMD确诊需经病理学检查,当超声检查发现囊性胎盘时,应在鉴别诊断中考虑PMD的可能。 展开更多
关键词 胎盘间叶发育不良 绒毛水肿 非葡萄胎妊娠 鉴别诊断
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MMP2、MMP9、Galectin-3、CK19、及Ret在甲状腺滤泡型肿瘤中的表达 被引量:7
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作者 詹阳 崔全才 +2 位作者 师杰 罗玉凤 曹金伶 《诊断病理学杂志》 CSCD 2005年第2期126-128,i012,共4页
目的 探讨MMP2、MMP9、Galectin 3、CK19和Ret在甲状腺良、恶性滤泡型肿瘤中的表达情况 ,以及其在病理诊断中的价值。方法 运用免疫组化方法检测 35例甲状腺滤泡癌、36例甲状腺腺瘤MMP2、MMP9、Galectin 3、CK19和Ret的表达情况。结果... 目的 探讨MMP2、MMP9、Galectin 3、CK19和Ret在甲状腺良、恶性滤泡型肿瘤中的表达情况 ,以及其在病理诊断中的价值。方法 运用免疫组化方法检测 35例甲状腺滤泡癌、36例甲状腺腺瘤MMP2、MMP9、Galectin 3、CK19和Ret的表达情况。结果 MMP2和MMP9在甲状腺滤泡癌表达阳性率为 10 0 % ,而在甲状腺腺瘤中表达分别为 2 7.8%及 4 7.2 % ,二者在良、恶性肿瘤的表达差异极显著 (P <0 .0 1)。Galectin 3表达阳性率分别为 4 8.6 %及13.9% (P <0.0 5 )。CK19在甲状腺滤泡癌中阳性有所增高 ,但与腺瘤比较表达无差异。Ret几乎不在甲状腺滤泡型肿瘤中表达。同时观察 15例甲状腺滤泡癌癌旁组织 ,5种蛋白均不表达或表达甚少。结论 MMP2、MMP9及Galectin-3在恶性甲状腺滤泡型肿瘤中的表达高于良性 ,可能三者与促进甲状腺滤泡型肿瘤的浸润机制有关 ,其免疫组化染色虽无绝对特异性 。 展开更多
关键词 甲状腺滤泡型肿瘤 MMP2 MMP9 Galeetin-3 CK19 RET 免疫组化
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高分化上皮-肌上皮癌1例 被引量:5
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作者 詹阳 崔全才 王玉岳 《临床与实验病理学杂志》 CAS CSCD 2003年第3期341-341,共1页
关键词 高分化上皮-肌上皮癌 病理诊断 恶性涎腺肿瘤 组织形态
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基于身份的无密钥托管的变色龙hash函数和签名 被引量:2
8
作者 詹阳 田海博 +1 位作者 陈晓峰 王育民 《北京工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期685-688,共4页
提出了一个基于身份的无密钥托管的变色龙hash函数.它在保持基于身份的变色龙hash函数的原有性质的同时,解决了基于身份体制中固有的密钥托管问题:即在该方案中,私钥产生中心(PKG)无法计算变色龙hash函数的碰撞.在此基础上,进一步使用... 提出了一个基于身份的无密钥托管的变色龙hash函数.它在保持基于身份的变色龙hash函数的原有性质的同时,解决了基于身份体制中固有的密钥托管问题:即在该方案中,私钥产生中心(PKG)无法计算变色龙hash函数的碰撞.在此基础上,进一步使用基于身份的无密钥托管的加密方案和签名方案,实现了基于身份的无密钥托管的变色龙签名,保证了PKG无法伪造对应的变色龙签名.最后,证明了该方案满足抗碰撞性、语义安全性、消息隐藏特性和无密钥托管性. 展开更多
关键词 数字签名 基于身份的体制 密钥托管 变色龙hash函数 变色龙签名
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一种分布式自治信任计算模型 被引量:2
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作者 詹阳 庞辽军 +1 位作者 朱晓妍 王育民 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期469-473,共5页
为了解决对等网络中节点信任值的计算问题,在综合利用直接经验和第三方推荐的基础之上,提出一种信任值的自治计算模型,其中的推荐信任合成权重取决于接收推荐者对推荐者的信任程度,推荐信任值和直接信任值都随着时间间隔的增加而递减.... 为了解决对等网络中节点信任值的计算问题,在综合利用直接经验和第三方推荐的基础之上,提出一种信任值的自治计算模型,其中的推荐信任合成权重取决于接收推荐者对推荐者的信任程度,推荐信任值和直接信任值都随着时间间隔的增加而递减.最后给出了所需数据结构和对应的信任值迭代更新计算方法. 展开更多
关键词 网络安全 分布式 信任 声誉 对等网络
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子宫肌壁间小叶样分割性平滑肌瘤5例临床病理分析 被引量:4
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作者 詹阳 潘静 +6 位作者 谷玉春 阴赪宏 支文雪 宋菡姝 徐汉武 徐飞 朱力 《诊断病理学杂志》 2017年第1期3-6,10,共5页
目的探讨子宫肌壁间小叶样分割性平滑肌瘤(CDL)的临床病理学特征、诊断与鉴别诊断及预后。方法对5例子宫肌壁间小叶样分割性平滑肌瘤病例的临床表现、病理学、免疫组化特征进行回顾性分析并复习相关文献。结果 5例患者均因阴道异常出血... 目的探讨子宫肌壁间小叶样分割性平滑肌瘤(CDL)的临床病理学特征、诊断与鉴别诊断及预后。方法对5例子宫肌壁间小叶样分割性平滑肌瘤病例的临床表现、病理学、免疫组化特征进行回顾性分析并复习相关文献。结果 5例患者均因阴道异常出血和/或盆腔包块就诊,年龄平均44.8岁。大体表现为肌壁间结节状肿物分界不清,质地较软。镜下肿瘤性平滑肌细胞束形成大小不等的微结节状,边缘可以呈"舌状"或"指状"突起伸入正常平滑肌组织中,表现为"分割样"形态。免疫组化:SMA、actin和PR均(+),ER(+)/弱(+),CD10、HMB45、CD34和CD117均(-),Ki-67阳性指数低。随访17~61个月,均未发现肿瘤复发和转移。结论子宫肌壁间小叶样分割性平滑肌瘤是一种罕见的子宫肿瘤,好发于生育晚期及围绝经期女性,预后良好。分隔样生长方式是重要的病理特点,免疫组化有助于鉴别诊断,手术是有效的治疗手段。 展开更多
关键词 小叶样分割性平滑肌瘤 子宫肌壁间 分割样 病理学 免疫组化
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低度恶性纤维黏液样肉瘤 被引量:5
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作者 詹阳 崔全才 《诊断病理学杂志》 CSCD 2004年第3期193-195,i017,共4页
低度恶性纤维黏液样肉瘤(LGFMS)是少见的软组织肉瘤,日常工作中容易误诊。现就IGFMS的临床病理特点、鉴别诊断及分子生物学研究做一介绍。
关键词 低度恶性纤维黏液样肉瘤 鉴别诊断 免疫组化 分子生物学
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专科医院病理科住院医师规范化培训第二阶段考试面临的问题及解决方案 被引量:2
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作者 詹阳 金玉兰 +1 位作者 阴赪宏 何春燕 《中国医刊》 CAS 2021年第9期1042-1044,共3页
住院医师规范化培训第二阶段考试是医师考核的必经之路,专科医院病理科住院医师在规范化培训第二阶段考试中因专业方向所限存在病理标本种类局限、知识面狭窄等问题,另外全国住院医师第一阶段规范化培养方式及考核标准不一,导致部分住... 住院医师规范化培训第二阶段考试是医师考核的必经之路,专科医院病理科住院医师在规范化培训第二阶段考试中因专业方向所限存在病理标本种类局限、知识面狭窄等问题,另外全国住院医师第一阶段规范化培养方式及考核标准不一,导致部分住院医师能力参差不齐。本文结合首都医科大学附属北京妇产医院病理科的培训经验提出利用现有的学习条件从严格教学管理制度、多种途径进行病理教学与实践等方面制订有效的解决方案,并提出了一种可在未来病理科住院医师培训中应用的新型培养模式,旨在更好地解决专科医院病理科住院医师规范化培训第二阶段考试面临的问题。 展开更多
关键词 专科医院 住院医师 规范化培训第二阶段考试 问题 解决方案
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现代足球防守战术原理及运用研究 被引量:16
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作者 詹阳 《成都体育学院学报》 CSSCI 北大核心 2010年第7期56-59,共4页
采用文献资料法对现代足球防守战术原理进行研究,在足球运动训练和比赛的实践基础上,对现代足球的防守原理进行归纳和总结,并对其进行运用研究,为教练员和运动员在训练和比赛实践中能遵守并加以灵活运用足球防守战术的原理提供借鉴。
关键词 足球比赛 防守战术 足球战术原理
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在越位新规则下裁判员如何提高判罚能力 被引量:2
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作者 詹阳 唐峭峻 《成都体育学院学报》 CSSCI 北大核心 2008年第3期56-58,共3页
越位规则是足球竞赛规则中重要的规定之一,随着现代足球运动的发展,国际足联对越位条文也作出了一定的修改,但在世界各国的足球比赛中有关越位问题的争议仍然颇多,不同地区的裁判员对越位规则修改后的"新精神"领会与执行有所... 越位规则是足球竞赛规则中重要的规定之一,随着现代足球运动的发展,国际足联对越位条文也作出了一定的修改,但在世界各国的足球比赛中有关越位问题的争议仍然颇多,不同地区的裁判员对越位规则修改后的"新精神"领会与执行有所不同,通过对欧亚优秀裁判员的比赛判罚观察与分析,论述了越位"新精神"对足球比赛的影响及意义。 展开更多
关键词 裁判 越位 新精神 位置
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胎儿软骨发育不全14例临床病理分析 被引量:1
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作者 詹阳 李宝珠 +1 位作者 谷玉春 朱力 《诊断病理学杂志》 CSCD 2011年第6期414-419,共6页
目的探讨胎儿软骨发育不全(ACH)的临床病理特征。方法对14例软骨发育不全胎儿尸检的临床病理资料进行回顾性分析并随访。结果 14例胎儿均无家族史,属新发病例,未发现明显引起基因突变的原因。胎儿ACH具有特征性的临床病理表现,胎儿长骨... 目的探讨胎儿软骨发育不全(ACH)的临床病理特征。方法对14例软骨发育不全胎儿尸检的临床病理资料进行回顾性分析并随访。结果 14例胎儿均无家族史,属新发病例,未发现明显引起基因突变的原因。胎儿ACH具有特征性的临床病理表现,胎儿长骨明显短于正常值。组织病理学,骨、软骨连接处凹凸不平,软骨黏液变性,软骨内毛细血管不规则增生;增殖的软骨细胞成熟和钙化异常,缺乏正常的柱状排列,同源细胞成片分布。结论 ACH是一种罕见的软骨内成骨骨化异常,病理检查可以确诊。该病变可以伴发其他畸形,病因有待于进一步研究。 展开更多
关键词 软骨发育不全 尸检 临床病理 基因突变
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卵巢高级别浆液性癌在宫颈液基细胞学中的临床细胞病理学特征 被引量:1
16
作者 詹阳 阴赪宏 +5 位作者 陈天宝 朱力 万金慧 樊蓓 康连杰 潘静 《北京医学》 CAS 2016年第11期1140-1143,共4页
目的总结卵巢高级别浆液性癌在宫颈液基细胞学中的临床细胞病理学特征。方法回顾性总结2013年5月至2016年3月首都医科大学附属北京妇产医院病理科宫颈液基细胞学诊断为非典型腺细胞及以上病变、组织病理学诊断为卵巢高级别浆液性癌的9... 目的总结卵巢高级别浆液性癌在宫颈液基细胞学中的临床细胞病理学特征。方法回顾性总结2013年5月至2016年3月首都医科大学附属北京妇产医院病理科宫颈液基细胞学诊断为非典型腺细胞及以上病变、组织病理学诊断为卵巢高级别浆液性癌的9例病例的临床资料以及细胞病理学特点。结果 9例中宫颈细胞学诊断腺癌7例,非典型腺细胞倾向瘤变2例。原发病例的细胞涂片特征为:干净的背景中可见异型显著的三维立体细胞团,细胞活跃,核/浆比增大,可见明显的核仁,染色质增粗,部分细胞浆内可见空泡样改变。而阴道残端复发病例中可见肿瘤素质及较多散在异型明显的腺细胞。结论卵巢高级别浆液性癌在宫颈液基细胞学中有其征性细胞学特点。原发病例宫颈细胞学阳性者均伴有腹水,提示患者卵巢高级别浆液性癌进展至晚期。宫颈液基细胞学是发现卵巢高级别浆液性癌的途径之一,更是肿瘤术后随访、发现残端复发的有效方法。 展开更多
关键词 宫颈液基细胞学 卵巢高级别浆液性癌 细胞病理学
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第13届欧洲杯足球赛决赛阶段西班牙队比赛进攻特点 被引量:6
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作者 詹阳 《成都体育学院学报》 CSSCI 北大核心 2009年第1期53-55,共3页
西班牙队在第13届欧洲杯足球赛上比赛阵容稳定,阵型以4-4-2和4-5-1为主。全队采用全攻全守的打法,进攻采用中边结合的方式,多以中路为主,强调短传渗透,注重对中场的控制,以地面传、接球的配合为主,传球成功率高,反击快速坚决。
关键词 第13届欧洲杯 足球 西班牙队 进攻
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卵巢透明细胞癌研究进展 被引量:1
18
作者 詹阳 金玉兰 朱力 《中国医刊》 CAS 2019年第9期945-949,共5页
卵巢透明细胞癌与其他组织类型卵巢上皮性癌不同,具有特异的形态学及免疫表型以及特异的分子生物学改变,与子宫内膜异位症相关,流行病学具有种族倾向性。近年来,其临床病理特征及分子生物学研究有了一定的进展,本文从这两个方面为主线,... 卵巢透明细胞癌与其他组织类型卵巢上皮性癌不同,具有特异的形态学及免疫表型以及特异的分子生物学改变,与子宫内膜异位症相关,流行病学具有种族倾向性。近年来,其临床病理特征及分子生物学研究有了一定的进展,本文从这两个方面为主线,综述卵巢透明细胞癌的诊治研究进展。 展开更多
关键词 卵巢透明细胞癌 临床病理特征 分子生物学 子宫内膜异位症 LYNCH综合征
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FXYD蛋白与Na,K-ATP酶 被引量:2
19
作者 詹阳 朱力 《国际病理科学与临床杂志》 CAS 2011年第3期264-268,共5页
Na,K-ATP酶最初被描述为一种能量转换的离子泵。近期研究显示Na,K-ATP酶有更多的生物学功能,特别是它参与一些信号转导通路,导致了一些生长相关基因表达的改变,最终影响细胞生长。FXYD蛋白家族成员是小分子膜蛋白,因其都有FXYD氨基酸序... Na,K-ATP酶最初被描述为一种能量转换的离子泵。近期研究显示Na,K-ATP酶有更多的生物学功能,特别是它参与一些信号转导通路,导致了一些生长相关基因表达的改变,最终影响细胞生长。FXYD蛋白家族成员是小分子膜蛋白,因其都有FXYD氨基酸序列而得名,7个家族成员具有与Na,K-ATP酶相关的组织或同功酶特异性,可调节其运输特性。 展开更多
关键词 FXYD蛋白 NA K-ATP酶 调节 肿瘤
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层间介质(ILD)CMP工艺分析 被引量:3
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作者 詹阳 周国安 +2 位作者 王东辉 杨元元 胡兴臣 《电子工业专用设备》 2016年第6期40-44,共5页
论述了层间介质(ILD)的类型及其在集成电路设计中的作用。以典型层间介质SiO_2为例,分析其CMP(化学机械平坦化)工艺过程的化学和机械作用机理,并在此基础上阐述影响CMP工艺的各项关键因素。结合分析得出以SiO_2作为层间介质进行CMP的技... 论述了层间介质(ILD)的类型及其在集成电路设计中的作用。以典型层间介质SiO_2为例,分析其CMP(化学机械平坦化)工艺过程的化学和机械作用机理,并在此基础上阐述影响CMP工艺的各项关键因素。结合分析得出以SiO_2作为层间介质进行CMP的技术要求,工艺流程和设备结构需求。 展开更多
关键词 层间介质 平整度 抛光垫 修整器
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