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新型MEMS流量传感器的设计与制作 被引量:2
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作者 许奎伟 李经民 +2 位作者 李名扬 丁来钱 郭利华 《机电技术》 2020年第5期18-21,共4页
根据鱼类机械侧线感知系统,设计了一种基于压电效应的新型MEMS流量传感器;利用分析软件进行流-固耦合仿真,优化了纤毛的关键尺寸和分布方式;利用微纳加工工艺制作了流量传感器的样机,并对传感器样机进行了初步测试。该微型MEMS传感器的... 根据鱼类机械侧线感知系统,设计了一种基于压电效应的新型MEMS流量传感器;利用分析软件进行流-固耦合仿真,优化了纤毛的关键尺寸和分布方式;利用微纳加工工艺制作了流量传感器的样机,并对传感器样机进行了初步测试。该微型MEMS传感器的可以实现微流体的流速测定,在水下机器人、生物医学和微流体设备的检测等领域,具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 人工侧线 流体感知 压电效应 MEMS传感器
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基于卡拉胶的电场敏感性水凝胶制备及其性能表征 被引量:1
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作者 李名扬 李经民 +2 位作者 许奎伟 丁来钱 郭利华 《机电技术》 2020年第4期47-50,共4页
针对目前电场敏感性凝胶响应电压集中于几伏到几千伏之间,缺少低电压响应凝胶的现状,研制了一种新型电场敏感性凝胶。该凝胶是由天然高分子I型卡拉胶(IC)以及新型纳米材料纤维素纳米晶(CNCs)混合而成。使用红外光谱、扫描电镜对其进行... 针对目前电场敏感性凝胶响应电压集中于几伏到几千伏之间,缺少低电压响应凝胶的现状,研制了一种新型电场敏感性凝胶。该凝胶是由天然高分子I型卡拉胶(IC)以及新型纳米材料纤维素纳米晶(CNCs)混合而成。使用红外光谱、扫描电镜对其进行了结构表征;在电场敏感性实验中发现,IC/CNCs共混凝胶具有优良的电场响应特性——在4 mV/cm中的电场中能够发生变形,相比于之前报道的电场敏感性凝胶,制备过程简单、响应电压低。为电场敏感性凝胶的研制提供了新的思路。 展开更多
关键词 水凝胶 电场敏感 I型卡拉胶 纤维素纳米晶
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