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等离子清洗在光电阴极辅件处理中的应用研究
1
作者
许有毅
李廷涛
+2 位作者
郑林涛
许灵吉
宋奇庚
《云光技术》
2013年第1期24-28,共5页
以实际应用为例,阐述了等离子清洗技术工作机理及优势特点,在洁净度要求很高的光电阴极辅件处理中等离子清洗技术的应用研究。
关键词
等离子清洗
像增强器
等离子体
超声波清洗
下载PDF
职称材料
题名
等离子清洗在光电阴极辅件处理中的应用研究
1
作者
许有毅
李廷涛
郑林涛
许灵吉
宋奇庚
机构
北方夜视技术股份有限公司
出处
《云光技术》
2013年第1期24-28,共5页
文摘
以实际应用为例,阐述了等离子清洗技术工作机理及优势特点,在洁净度要求很高的光电阴极辅件处理中等离子清洗技术的应用研究。
关键词
等离子清洗
像增强器
等离子体
超声波清洗
分类号
TN45 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
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1
等离子清洗在光电阴极辅件处理中的应用研究
许有毅
李廷涛
郑林涛
许灵吉
宋奇庚
《云光技术》
2013
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