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CWD型超高真空镀膜机性能的改进
1
作者
许镜明
廖燕南
《四川真空》
1989年第4期1-4,共4页
关键词
超高真空
镀膜机
集成电路
下载PDF
职称材料
微机在连续磁控溅射台上的应用
2
作者
邓时君
许镜明
《四川真空》
1991年第3期17-20,共4页
关键词
微机
真空镀膜
磁控溅射台
下载PDF
职称材料
题名
CWD型超高真空镀膜机性能的改进
1
作者
许镜明
廖燕南
出处
《四川真空》
1989年第4期1-4,共4页
关键词
超高真空
镀膜机
集成电路
分类号
TN440.5 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
微机在连续磁控溅射台上的应用
2
作者
邓时君
许镜明
出处
《四川真空》
1991年第3期17-20,共4页
关键词
微机
真空镀膜
磁控溅射台
分类号
TN305.9 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
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1
CWD型超高真空镀膜机性能的改进
许镜明
廖燕南
《四川真空》
1989
0
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职称材料
2
微机在连续磁控溅射台上的应用
邓时君
许镜明
《四川真空》
1991
0
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职称材料
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