多光束激光干涉光刻图样

利用电磁理论,研究了多光束激光干涉图样的产生原理,结合计算机数值模拟和相关实验结果,分析了干涉图样的影响因素。研究结果表明:多光束激光干涉图样可以看成是多组余弦分布的平行线条纹的叠加;相干光束的偏振方向、入射方向、光束间相位差是干涉图样的重要影响因素,改变这些因素,余弦分布的平行线条纹的振幅、位置、周期和方向发生变化,图样也随之变化。

光栅干法刻蚀与湿法刻蚀的研究

在光栅的制作中有两种方法:其中一个是湿法,另外一个是干法。本文分别就湿法和干法的实验结果,进行比较。用于法刻蚀方法做出了比较好的一级光栅,证明了干法刻蚀优于湿法刻蚀。

一维金属光栅的透射光学特性

利用时域有限差分法模拟了一维金属光栅的透射光场的分布及光栅厚度等因素对透射光谱的影响 .结果表明 :特定波长的光通过金属光栅中的亚波长狭缝时有异常大的透过率增强 .分析其物理起源 ,认为是类Fabry Perot(F P)腔作用的结果 .基底介电常量对类F P腔长度的调制导致了对透射光谱的影响 .金属光栅表面激发的表面等离子体激元波与多缝干涉一样 ,对透射光谱有一定的影响 。