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光反射干涉谱新方法测试薄膜厚度和光学常数
被引量:
2
1
作者
廖荣
张海燕
+3 位作者
杨铁铮
谈锬
范宇
王道然
《中国测试》
CAS
北大核心
2013年第6期10-13,共4页
依据测量薄膜和光之间相互作用可确定薄膜特性的原理,并基于光反射干涉谱与德国最新研发薄膜分析软件SCOUT的新方法可测量已知或未知材料的多层薄膜厚度及其折射率n、消光系数k。通过实际测试证明:该方法可测试单晶硅、玻璃、ITO玻璃基...
依据测量薄膜和光之间相互作用可确定薄膜特性的原理,并基于光反射干涉谱与德国最新研发薄膜分析软件SCOUT的新方法可测量已知或未知材料的多层薄膜厚度及其折射率n、消光系数k。通过实际测试证明:该方法可测试单晶硅、玻璃、ITO玻璃基底上沉积薄膜的厚度,样品基本不需要特别准备,对样品无破坏性,测试精准。理论上可以测量所有透光或半透光薄膜的厚度和光学常数,操作非常简便,适合于镀膜行业的在线检测和实时监控,且SCOUT软件在多层膜及多种材料的研发、制备等方面具有应用潜力。
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关键词
纳米薄膜
光反射干涉谱
薄膜厚度
折射率
消光系数
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职称材料
题名
光反射干涉谱新方法测试薄膜厚度和光学常数
被引量:
2
1
作者
廖荣
张海燕
杨铁铮
谈锬
范宇
王道然
机构
广东工业大学材料与能源学院
华南理工大学电子与信息学院
出处
《中国测试》
CAS
北大核心
2013年第6期10-13,共4页
基金
广东省自然科学基金项目(9251009001000006)
广东省大学生创新实验项目(1056112024)
国家级大学生创新创业训练计划项目(201210561042)
文摘
依据测量薄膜和光之间相互作用可确定薄膜特性的原理,并基于光反射干涉谱与德国最新研发薄膜分析软件SCOUT的新方法可测量已知或未知材料的多层薄膜厚度及其折射率n、消光系数k。通过实际测试证明:该方法可测试单晶硅、玻璃、ITO玻璃基底上沉积薄膜的厚度,样品基本不需要特别准备,对样品无破坏性,测试精准。理论上可以测量所有透光或半透光薄膜的厚度和光学常数,操作非常简便,适合于镀膜行业的在线检测和实时监控,且SCOUT软件在多层膜及多种材料的研发、制备等方面具有应用潜力。
关键词
纳米薄膜
光反射干涉谱
薄膜厚度
折射率
消光系数
Keywords
nanometer film
optical reflection interference spectrum
film thickness
refractive index
extinction coefficient
分类号
O484.5 [理学—固体物理]
O435.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
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被引量
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1
光反射干涉谱新方法测试薄膜厚度和光学常数
廖荣
张海燕
杨铁铮
谈锬
范宇
王道然
《中国测试》
CAS
北大核心
2013
2
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职称材料
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