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In^+离子注入蓝宝石(α-A1_2O_3单晶)的表面改性研究 被引量:1
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作者 谢东珠 朱德彰 +3 位作者 曹建清 曹德新 潘浩昌 徐洪杰 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 1998年第9期513-518,共6页
研究了<0001<和<1210>晶向蓝宝石(α-Al2O3单晶)在注入360keV.1×10 ̄16cm ̄-2或100keV、6×10 ̄16cm ̄-2的In ̄+后产生的损伤、注入层的性能变化和退火行为。实验结果... 研究了<0001<和<1210>晶向蓝宝石(α-Al2O3单晶)在注入360keV.1×10 ̄16cm ̄-2或100keV、6×10 ̄16cm ̄-2的In ̄+后产生的损伤、注入层的性能变化和退火行为。实验结果表明,退火过程中损伤的恢复和In的分布与退火气氛有关:在100keV、6×10 ̄16cm ̄-2的In ̄+注入时,注入层电阻率降低了10个量级,大小为6.8×10 ̄3·cm,表面损伤层的显微硬度提高了92%;在360keV,1×10 ̄16cm ̄-2的In+注入时,其表面损伤层的显微硬度提高了45%,在空气中不同温度下退火后,其显微硬度的变化和损伤的变化具有相同的规律。 展开更多
关键词 离子注入 蓝宝石 晶格损伤 表面改性
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硫对注入YSZ单晶的金属铂在退火过程中结晶的影响
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作者 谢东珠 朱德彰 +2 位作者 曹德新 潘浩昌 徐洪杰 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期143-146,共4页
用卢瑟福背散射-沟道技术(RBS-C)和X射线衍射技术(XRD)研究了Pt和S注入YSZ(Y2O3稳定的ZrO2)后产生的损伤和退火过程中损伤的恢复及注入Pt的晶化。RBS-C分析表明YSZ在室温下注入存在较强自退火... 用卢瑟福背散射-沟道技术(RBS-C)和X射线衍射技术(XRD)研究了Pt和S注入YSZ(Y2O3稳定的ZrO2)后产生的损伤和退火过程中损伤的恢复及注入Pt的晶化。RBS-C分析表明YSZ在室温下注入存在较强自退火效应;XRD分析结果示出硫对铂的晶化产生很大影响。 展开更多
关键词 离子注入 氧化钇 单晶 晶格损伤 YSZ 氧化锆
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高剂量铂和钇离子注入Al_2O_3单晶的表面改性
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作者 谢东珠 朱德彰 +2 位作者 潘浩昌 曹德新 徐洪杰 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 1999年第4期213-217,共5页
研究了<0001>和<1210>晶向α-Al2O3单晶在高剂量的Y、Pt离子注入后产生的损伤,注入层的性能变化和退火行为。实验结果表明,在室温,171keV、1×1017/cm2Y离子注入的<1210>α-Al2O3单晶的表面层约有139nm厚被无定形化。而... 研究了<0001>和<1210>晶向α-Al2O3单晶在高剂量的Y、Pt离子注入后产生的损伤,注入层的性能变化和退火行为。实验结果表明,在室温,171keV、1×1017/cm2Y离子注入的<1210>α-Al2O3单晶的表面层约有139nm厚被无定形化。而158keV、9×1017/cm2Pt离子注入的<0001>α-Al2O3单晶的表面层不产生无定形,且实际离子注入进衬底的剂量只有2.65×1016/cm2,绝大部分在注入过程中被溅射掉。注入后其表面层的硬度提高了大约50%。表面层的电阻率降低了12个数量级。在空气中退火后形成了随机取向的纳米量级大小的Pt微晶,表面层的硬度也有所降低,但仍稍高于未注入的单晶硬度。 展开更多
关键词 离子注入 晶格损伤 表面改性 氧化铝单晶
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铂和硫双离子注入YSZ单晶的损伤及其热退火行为
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作者 谢东珠 朱德彰 《青岛大学学报(自然科学版)》 CAS 1997年第A00期308-308,共1页
关键词 离子注入 YSZ单晶 铂离子 损伤 硫离子 热退火
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PZT薄膜的结晶特性及红外特性
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作者 谢东珠 任玉磊 《上海师范大学学报(自然科学版)》 2008年第6期587-591,共5页
采用电子柬蒸发方法在n—Si(100)衬底上制备Pb(ZrxTi1-x)O3(简记为PZT)多晶薄膜.用X射线衍射分析了PZT薄膜的结晶择优取向与Zr/Ti成分比、生长温度、退火气氛和退火温度的关系.结果表明不同Zr/Ti比的薄膜在真空中退火都形成(... 采用电子柬蒸发方法在n—Si(100)衬底上制备Pb(ZrxTi1-x)O3(简记为PZT)多晶薄膜.用X射线衍射分析了PZT薄膜的结晶择优取向与Zr/Ti成分比、生长温度、退火气氛和退火温度的关系.结果表明不同Zr/Ti比的薄膜在真空中退火都形成(110)择优取向;而在空气中退火后薄膜的择优方向与Zr/Ti成分比有关,Zr/Ti比值小时为(101)择优取向,Zr/Ti大时为(100)择优取向.红外吸收光谱的测量结果表明(100)和(110)择优取向的PZT薄膜在长红外波段(8~12um)存在较强的吸收峰,而(101)择优取向的PZT薄膜在这一波段没有明显的吸收峰. 展开更多
关键词 PZT材料 择优取向 X射线衍射 红外吸收光谱
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Si纳米结构的制备及其热稳定性
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作者 谢东珠 B.K.A.Ngoi 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第11期833-836,共4页
研究了纳米尺寸Si结构的热稳定性。采用Ga聚焦离子束技术在单晶硅表面刻蚀出纳米尺寸的条形光栅结构,在流动的Ar气氛保护下进行恒温热退火,用扫描电子显微镜和原子力显微镜分析了热退火后的结构变化。实验结果表明在较高的退火温度下纳... 研究了纳米尺寸Si结构的热稳定性。采用Ga聚焦离子束技术在单晶硅表面刻蚀出纳米尺寸的条形光栅结构,在流动的Ar气氛保护下进行恒温热退火,用扫描电子显微镜和原子力显微镜分析了热退火后的结构变化。实验结果表明在较高的退火温度下纳米尺寸的硅结构是不稳定的,其尺寸由于热扩散而变小,同时在Si表面有镓析出并形成纳米颗粒。 展开更多
关键词 聚焦离子束 纳米结构 热稳定性
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聚焦离子束刻蚀多晶TiNi薄膜的表面形貌
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作者 谢东珠 《上海师范大学学报(自然科学版)》 2005年第3期42-45,共4页
报道了TiNi薄膜的聚焦离子束刻蚀特征及刻蚀后的表面形貌.测量结果表明薄膜的表面粗糙度随刻蚀深度呈非线性变化,当刻蚀深度等于0.1μm时,表面粗糙度为最小(5.26nm,刻蚀前为14.88nm);刻蚀深度小于0.1μm时,表面粗糙度随刻蚀深度的增大... 报道了TiNi薄膜的聚焦离子束刻蚀特征及刻蚀后的表面形貌.测量结果表明薄膜的表面粗糙度随刻蚀深度呈非线性变化,当刻蚀深度等于0.1μm时,表面粗糙度为最小(5.26nm,刻蚀前为14.88nm);刻蚀深度小于0.1μm时,表面粗糙度随刻蚀深度的增大而减小;当刻蚀深度大于0.1μm时表面粗糙度随刻蚀深度增大而增大,其原因是刻蚀深度大于0.1μm后表面出现了清晰的周期性条纹结构.此外,表面粗糙度随聚焦离子束流的增大而减小,当离子束流为2.5nA时,表面粗糙度从刻蚀前的14.88nm减小到4.67nm. 展开更多
关键词 形状记忆合金 离子束刻蚀 表面形貌
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斜辐照激光等离子体辐射X光子特性 被引量:5
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作者 王瑞荣 陈伟民 谢东珠 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期387-390,共4页
在神光Ⅱ高功率激光装置上,实验研究了激光斜辐照形成的激光等离子体辐射X射线光子的特性及真空喷射热等离子体流的方向。采用针孔X射线相机测量了钕玻璃激光(基频1.053μm)辐照铝靶形成的激光铝等离子体辐射的X射线光子的空间分布,并... 在神光Ⅱ高功率激光装置上,实验研究了激光斜辐照形成的激光等离子体辐射X射线光子的特性及真空喷射热等离子体流的方向。采用针孔X射线相机测量了钕玻璃激光(基频1.053μm)辐照铝靶形成的激光铝等离子体辐射的X射线光子的空间分布,并针对正入射和入射激光斜辐照情况下测得的X射线光子量及特性进行了分析和比较。结果发现:入射激光斜辐照固体平面靶产生的向真空喷射热等离子体流的方向是垂直靶面(即法线方向);正入射和斜入射激光叠加驱动靶时,一定程度上能改善激光辐照的均匀性,但等离子体源辐射的X射线光子数并未发现显著地增加;当激光斜辐照与靶相互作用时,激光能量被等离子体吸收下降。 展开更多
关键词 斜辐照 等离子体喷射 均匀性 X射线光子
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弛豫铁电0.74Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-0.26PbTiO_3薄膜的微结构和光学性能(英文) 被引量:1
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作者 田玥 唐艳学 +10 位作者 周丹 胡志娟 王飞飞 陈心满 刘锋 王涛 谢东珠 孙大志 石旺舟 胡古今 孔伟金 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期289-293,共5页
采用磁控溅射法,选用LaNi O3作为缓冲层,在硅基片上制备出了0.74Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.26PbTiO3弛豫铁电薄膜.研究了沉积温度对薄膜的微结构和光学性能的影响.其中,沉积温度为500oC时制备的薄膜,不仅具有纯的钙钛矿结构,高度(110)择优取... 采用磁控溅射法,选用LaNi O3作为缓冲层,在硅基片上制备出了0.74Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.26PbTiO3弛豫铁电薄膜.研究了沉积温度对薄膜的微结构和光学性能的影响.其中,沉积温度为500oC时制备的薄膜,不仅具有纯的钙钛矿结构,高度(110)择优取向、致密、无裂纹的形貌、而且具有最大的剩余极化,大小为17.2μC/cm2.使用柯西模型进行拟合反射谱,分析得到薄膜的折射率和消光系数.在波长为633 nm时,500oC沉积的薄膜的折射率大小为2.41.另外,薄膜的光学带隙在2.97~3.22 eV范围内.并初步讨论了这些薄膜的光学性能的差异. 展开更多
关键词 PMN-0.26PT铁电薄膜 折射率 消光系数
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PZT薄膜的制备及特性
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作者 任玉磊 谢东珠 忻云龙 《上海师范大学学报(自然科学版)》 2007年第5期37-40,共4页
用电子束蒸发法在n-Si(100)衬底上制备了Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3(PZT)多晶薄膜,研究了薄膜的表面形貌、结晶特性、红外吸收特性随生长温度和退火温度的变化关系,发现较高的生长温度有利于(101)方向晶粒的择优生长,较高的退火温度能促... 用电子束蒸发法在n-Si(100)衬底上制备了Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3(PZT)多晶薄膜,研究了薄膜的表面形貌、结晶特性、红外吸收特性随生长温度和退火温度的变化关系,发现较高的生长温度有利于(101)方向晶粒的择优生长,较高的退火温度能促进(101)方向的晶粒向(110)方向的晶粒转变,(110)择优方向的薄膜对长红外波段的吸收比(101)择优方向的薄膜明显增强。 展开更多
关键词 PZT材料 表面形貌 择优生长 SEM X射线衍射
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扫描电子显微镜的扫描电路研制
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作者 涂晶晶 忻云龙 谢东珠 《上海师范大学学报(自然科学版)》 2012年第2期122-127,共6页
报导了采用高速、高精度、低噪声的数模转换器设计扫描电子显微镜的扫描电路,其扫描速率可达到每秒106像素,讨论了电路中的噪声对图像分辨率的影响,提出了一种矫正扫描线圈电感所引起的电流非线性的方法,应用到扫描电子显微镜DXP-10中,... 报导了采用高速、高精度、低噪声的数模转换器设计扫描电子显微镜的扫描电路,其扫描速率可达到每秒106像素,讨论了电路中的噪声对图像分辨率的影响,提出了一种矫正扫描线圈电感所引起的电流非线性的方法,应用到扫描电子显微镜DXP-10中,得到了较好的扫描图像. 展开更多
关键词 电子显微镜 模拟电路 噪声抑制
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带耦合光栅的量子阱红外探测器研制
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作者 谢东珠 郭献东 +6 位作者 刘天东 周传鸿 沈潜 李宁珍 余晓中 魏永乐 李洪发 《红外技术》 CSCD 北大核心 2002年第6期77-80,85,共5页
报导了带二维衍射光栅的 12 8元线列GaAs/AlGaAs多量子阱长波红外焦平面探测器的研究成果。探测器光吸收峰值波长λP=8.9μm ,采用垂直入射光耦合的工作模式 ,在 80K工作温度下其平均黑体电压响应率为 2 .75× 10 4 V/W ,平均黑体... 报导了带二维衍射光栅的 12 8元线列GaAs/AlGaAs多量子阱长波红外焦平面探测器的研究成果。探测器光吸收峰值波长λP=8.9μm ,采用垂直入射光耦合的工作模式 ,在 80K工作温度下其平均黑体电压响应率为 2 .75× 10 4 V/W ,平均黑体探测率为 2 .5 2× 10 9cmHz1/ 2 /W ;电压响应率和探测率的非均匀性分别 5 .2 %和 8.3%。 12 8元线列探测器与 6 4元CMOS读出电路对接后与光学系统、扫描系统、数据采集系统和图像显示系统等组成红外成像演示系统 。 展开更多
关键词 耦合光栅 量子阱 红外探测器 分子束外延 焦平面器件 衍射光栅
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Isospin dependence of nuclear multifragmentation in statistical model
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作者 张蕾 谢东珠 +1 位作者 张艳萍 高远 《Chinese Physics C》 SCIE CAS CSCD 2011年第6期567-571,共5页
The evolution of nuclear disintegration mechanisms with increasing excitation energy, from compound nucleus to multifragmentation, has been studied by using the Statistical Multifragmentation Model (SMM) within a mi... The evolution of nuclear disintegration mechanisms with increasing excitation energy, from compound nucleus to multifragmentation, has been studied by using the Statistical Multifragmentation Model (SMM) within a micro-canonical ensemble. We discuss the observable characteristics as functions of excitation energy in multifragmentation, concentrating on the isospin dependence of the model in its decaying mechanism and break-up fragment configuration by comparing the A0 = 200, Z0 = 78 and A0 = 200, Z0 = 100 systems. The calculations indicate that the neutron-rich system (Z0 = 78) translates to a fission-like process from evaporation later than the symmetric nucleus at a lower excitation energy, but gets a larger average multiplicity as the excitation energy increases above 1.0 MeV/u. 展开更多
关键词 statistical model MULTIFRAGMENTATION microcanonical ensemble isospin dependence
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